Kombinatorisches Magnetron-Sputtern (CMS) hat sich als ein praktikables Werkzeug für die schnelle Entwicklung von großen Bibliotheken komplexer Werkstoffe herausgestellt. Forscher am Joint Center for Artificial Photosynthesis, California Institute of Technology (Cal Tech) und Kurt J. Lesker Company® (KJLC®) [1] haben kürzlich Arbeiten zum kombinatorischen Magnetron-Sputtern (CMS) unter Verwendung einer neuartigen robotergesteuerten Dünnschichtdepositions-Kathode und eines Substratmanipulationsmechanismus veröffentlicht. Kombinationen aus Metalllegierungen, gemischten Metalloxiden und -Nitriden wurden mit dem System als Grundlage für ein Vorhersagemodell demonstriert, das von Cal Tech entwickelt wurde, um das Design neuer Werkstoffe für bestimmte kritische Anwendungen zu rationalisieren.
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Fortschritte im kombinatorischen Magnetron-Sputtern mit neuen Werkzeugen und neuen Vorhersagetechniken
19. Januar 2016 | Verfasser: KJLC Innovate
Schlagwörter:
INNOVATE
Systeme
Vakuumwissenschaft
Depositionsverfahren