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High Power Impulse Magnetron Sputtering (HIPIMS)

30. August 2016 | Verfasser: KJLC Innovate

High Power Pulsed Magnetron Sputtering (HPPMS) oder Hochimpuls-Magnetronsputtern (HIPIMS) ist eine Art von Magnetronsputtertechnik, bei der Hochleistungsimpulse von Hunderten von Mikrosekunden an das Magnetron-Target bei Frequenzen im Bereich von wenigen Hz bis mehreren kHz angelegt werden.

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Schlagwörter:
INNOVATE Systeme Vakuumwissenschaft



     
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