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Weitere Untersuchungen zur Speichenentwicklung in Sputterplasmen unter Verwendung eines linearen Magnetrons in DC- und HIPIMS-Modi

11. April 2018 | Verfasser: KJLC Innovate

Die Forscher Dr. André Anders und Dr. Yuchen Yang haben ihre bisherigen Bildgebungsarbeiten an linearen Magnetronkathoden erweitert. In ihrer jüngsten Arbeit mit dem Titel „Plasma studies of a linear magnetron operating in the range from DC to HIPIMS“ geben die Autoren zusätzliche Informationen über die Entwicklung und Speichenbewegung bei verschiedenen Depositionswerkstoffen und Entladungsbedingungen.

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Schlagwörter:
INNOVATE Vakuumwissenschaft



     
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