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Blog


The Effect of Sputter Cathode Design on Deposition Parameters: Design Enhancements Expand Capabilities for the Magnetron Sputtering of Thin Films

22. Juli 2019 | Verfasser: KJLC Innovate |

Sputtering is a relatively mature approach for the deposition of a variety of thin film materials. Initial publications on the process date to the early 1800s. In its simplest form sputtering provides a route to manufacture high quality reflective coatings for mirrors and potato chip bags; and at the extreme end, for creating the most advanced semiconductor computing devices in the world.

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Schlagwörter: Allgemein | Depositionsverfahren | INNOVATE | Systeme | Vakuumwissenschaft



A Positive Kick Enhances the High Power Impulse Magnetron Sputter Process

18. Januar 2019 | Verfasser: KJLC Innovate | No Comments

High impulse power magnetron sputtering, either HIPIMS or HiPMS, was first reported in 1999 by Dr. Vladimir Kouznetsov, et al. from Linköping University’s Department of Physics. HIPIMS is distinct from classical direct current magnetron sputtering, or dcMS, because it utilizes a rapid series of pulses at very high voltage, on the order of 2000V, and high current density approaching 10A/cm2. In addition, HIPIMS also exhibits some degree of self-sputtering, where sputter target adatoms are ionized with some recycling of process gas and ionized target material to the surface of the target.

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No CommentsSchlagwörter: INNOVATE | Vakuumwissenschaft



Weitere Untersuchungen zur Speichenentwicklung in Sputterplasmen unter Verwendung eines linearen Magnetrons in DC- und HIPIMS-Modi

11. April 2018 | Verfasser: KJLC Innovate |

Die Forscher Dr. André Anders und Dr. Yuchen Yang haben ihre bisherigen Bildgebungsarbeiten an linearen Magnetronkathoden erweitert. In ihrer jüngsten Arbeit mit dem Titel „Plasma studies of a linear magnetron operating in the range from DC to HIPIMS“ geben die Autoren zusätzliche Informationen über die Entwicklung und Speichenbewegung bei verschiedenen Depositionswerkstoffen und Entladungsbedingungen.

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Schlagwörter: INNOVATE | Vakuumwissenschaft



Quellen und Lösungen für Kontaminationsprobleme in Weltraumsimulationssystemen (TVAC)

23. März 2018 | Verfasser: KJLC Innovate |

Der derzeitige Drang zur Kommerzialisierung der Raumfahrt hat zu einer neuen Nachfrage geführt, Objekte und sogar Menschen in die Erdumlaufbahn oder in den Weltraum zu katapultieren. Unternehmen wie SpaceX, Blue Origin und Rocket Lab haben die Fähigkeit unter Beweis gestellt, bestimmte Teile einer Trägerrakete wiederverwendbar zu machen, was die Kosten für den Weltraumeinsatz dramatisch verändern kann. Echte Raketenschifffabriken entstehen, die in einem Fall jeden Monat ein paar ausgewachsene Trägerraketen herausbringen können!

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Schlagwörter: Allgemein | Depositionsverfahren | INNOVATE | Systeme | Vakuumwissenschaft



KJLC® erhält ein Patent für sein Atomic-Layer-Depositionssystem und -Prozess

28. November 2017 | Verfasser: KJLC Innovate |

Die Kurt J. Lesker Company® (KJLC®), ein globaler Hersteller von Vakuumsystemen, Dünnschichtdepositions-Tools und Vakuumkomponenten, gab heute bekannt, dass das amerikanische Patent- und Markenamt die US-Patentnummer 9.695.510 „Atomic Layer Deposition Apparatus and Process“ („Apparate und Prozesse der Atomschichtdeposition“) erteilt hat, die den Aufbau eines Atomschichtdepositionssystems und den Prozess zur Verwendung dieses Systems zur Deposition von hochpräzisen und konformen dünnen Schichten umfasst. Diese geschützte Technologie reduziert die Wechselwirkung verschiedener Precursor-Moleküle mit den inneren Oberflächen der Reaktionskammer wesentlich und ermöglicht eine tatsächliche Fokussierung von Gasströmen, um die Oberfläche von beliebig großen Substraten wirksamer zu beschichten.

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Schlagwörter: Allgemein | Depositionsverfahren | INNOVATE | Systeme | Vakuumwissenschaft



KJLC auf der 70 Jahreskonferenz Gaseous Electronics

28. November 2017 | Verfasser: KJLC Blog |

Am 6 November 2017 hielten Jason Hrebik und J. R. Gaines Präsentationen auf der 70th Jahreskonferenz Gaseous Electronics (GEC2017), die im Doubletree Hotel, Green Tree, PA stattfand. Hrebik stellte seine Expertise durch eine Präsentation über die Fähigkeiten und Vorteile des HiPIMs-Prozesses vor (High Power Impulse Sputtern) und gab dem Publikum eine Einführung in das neue Netzgerät KJLC Impulse™. Bei der Konferenz gab es eine Reihe von Präsentationen von Industrieunternehmen, darunter LAM Research, Applied Materials und Tokyo Electron. Gaines beendete die Nachmittagssitzung mit einem Rückblick auf die praktischen Probleme, die mit der Integration und Anwendung von Plasmen bei der Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD) verbunden sind.

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Schlagwörter: Allgemein | Depositionsverfahren | Vakuumwissenschaft



Neue Erkenntnisse über den Elektronenfluss durch direkte Beobachtung der Speichenentwicklung beim Magnetron-Sputtern

25. Oktober 2017 | Verfasser: KJLC Innovate |

In einer Veröffentlichung im Juli 2017 liefern die Drs. André Anders und Yuchen Yang eine verbesserte Beschreibung der Elektronenflüsse und -energien an der Oberfläche einer Magnetron-Sputterkathode. Durch die Kombination eines einzigartigen Bildgebungsverfahrens und einer linearen Kathode (Target) konnten die Forscher eine Reihe von Zeit/Raum-Bildern erzeugen, die Plasmainstabilitäten zeigen, die durch die Bewegung von Elektronen im Magnetfeld der Kathode angetrieben werden. Die Bilder zeigen die Auswirkungen auf den Plasmastrom sowohl beim herkömmlichen DC-Magnetron-Sputtern (dcMS), als auch für das Hochleistungsimpuls-Magnetron-Sputtern (HiPIMS). Die vollständige Veröffentlichung ist online verfügbar unter http://aip.scitation.org/doi/10.1063/1.4994192.

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Schlagwörter: Allgemein | Depositionsverfahren | INNOVATE | Vakuumwissenschaft



Branchenführende Wasserkühlung

15. Mai 2017 | Verfasser: KJLC Blog |

Mit dem dramatischen Wachstum, das in vielen Industriezweigen erwartet wird, welche Hochtemperatur-Vakuumsysteme benötigen, wie beispielsweise Weltraumsimulationssysteme, 3D-Druck von Metallkomponenten, die Herstellung von Einkristallen für die LED- und Halbleiterindustrie uvm. , können Alternativen zu traditionellen Wasserkühlungsansätzen Leistungssteigerungen bei reduzierten Kosten bieten. Die Temperaturkontrolle für diese Anwendungen kann verschiedene Formen annehmen. Im Fall der Weltraumsimulation ist das Vakuumsystem so ausgelegt, dass es die Extreme von Temperatur (und Druck) verdoppelt, die Satelliten in der Erdumlaufbahn oder darüber hinaus erleben, was einen schnellen Durchlauf von -130 °C bis +130 °C erfordern kann. Für das Kristallzüchtungsverfahren kann mit Hilfe von Verfahren wie dem Kyropoulos-Verfahren, bei dem ein Kristall aus einer Materialschmelze wie Silizium „herausgezogen“ wird, eine Innentemperatur im Vakuumsystem von +1.450 °C erreicht werden. In einem Fall ist das Temperatursteuersystem für die Vakuumkammer so ausgelegt, dass es ein benutzerspezifisches Profil von kalt bis warm bereitstellt, und in einem anderen muss das System nach außen hin hohe Temperatur abschwächen können und die Vakuumkammer vor der extremen Temperatur schützen, die zur Verflüssigung von Silizium erforderlich ist.

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Schlagwörter: Allgemein | Vakuumwissenschaft



Neue Designs für Depositionssysteme für die Dünnschicht-Materialforschung

25. Januar 2017 | Verfasser: KJLC Innovate |

Vakuum-Depositions-Systeme der nächsten Generation müssen weiterentwickelt werden, um mit der fortschreitenden Entwicklung von Dünnschichtwerkstoffen und -geräten Schritt zu halten. Forscher, die neue Bereiche wie biomedizinische Geräte, 2D-Werkstoffe wie spezielle magnetische und Oxid-basierte Schichten erschließen wollen, brauchen neue Werkzeuge für ihre Arbeit. Die Grenzen der Materialwissenschaft, insbesondere an der Schnittstelle von Biologie und Dünnschichtdeposition, haben neue Materialien in den Vakuumraum gebracht, die dort nie erwartet waren.

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Schlagwörter: Allgemein | Depositionsverfahren | INNOVATE | Systeme | Vakuumwissenschaft



Wir stellen vor: KJLC 704-T Diffusionspumpenöl für harte Einsatzbedingungen

30. Dezember 2016 | Verfasser: KJLC Blog |

Anwender von Diffusionspumpen für Prozesse unter widrigen Bedingungen oder in nicht optimierten Vakuumsystemen erleben möglicherweise Kristallisation von Feststoffen in ihrer Pumpenflüssigkeit. Diese Kristallisation resultiert aus der Zersetzung von Flüssigkeiten aufgrund von übermäßiger Einwirkung von Sauerstoff bei hohen Temperaturen. Dieser Abbau verändert die Viskosität der Pumpenflüssigkeit und kann auch Strömungsdurchgänge verstopfen. Ferner kann der Aufbau von Feststoffen und Kristallen an inneren Oberflächen zu einer ineffizienten Wärmeleitung führen, was den Betrieb der Pumpe instabil machen kann.

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Schlagwörter: Allgemein | Vakuumflüssigkeiten und Schmierstoffe | Vakuumwissenschaft



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