Hinweise zum Kobalt (Co)-Verdampfungsprozess

Thermisches Verdampfen von Cobalt (Co)

Cobalt neigt wie Nickel sehr zur Legierung mit Refraktärmetallen. Der Versuch, Cobalt aus einem Wolframschiffchen (oder sogar einem dickwandigen Schiffchen) thermisch zu verdampfen, hat sich als zwecklos erwiesen. Wenn sich das Schiffchen aufheizt und das Cobalt zu schmelzen beginnt, legiert das flüssige Cobalt mit dem Schiffchen und bewirkt sofort, dass es brüchig wird und schließlich reißt. Infolgedessen gibt es, wenn überhaupt, nur sehr geringe Depositionen.

Wir konnten Kobalt erfolgreich aus einem mit Aluminiumoxid beschichteten Wolframschiffchen wie unserem EVS9AAOW thermisch verdampfen. Mit diesem Schiffchen konnten wir einen Film mit einer durchschnittlichen Dicke von 3.790 Angström abscheiden, bei einer durchschnittlichen Depositionsrate von 6 Angström pro Sekunde, unter Verwendung von (1) 1/4" X 1/4" Kobaltpellets und 272 Ampere-Leistung. Wir schätzen die durchschnittliche Lebensdauer des Schiffchens auf etwa 1-3 Läufe. Das Halten des Stroms bei einem konstanten Wert führt jedoch zu einer abnehmenden Depositionsrate im Laufe der Zeit. Das liegt an der geringen Größe des Schiffchens und dem geringen Materialeinsatz. Um die Abscheidungsrate aufrechtzuerhalten, müssen während des gesamten Prozesses höhere Leistungen aufgebracht werden. Wenn das Schiffchen einen Verdampfungsdurchlauf überlebt, ist es wichtig, das Schiffchen beim Nachladen nicht zu berühren oder Last auszuüben. Es wird empfohlen, neue Pellets vorsichtig in das Schiffchen zu legen und zu vermeiden, die Klammern zu berühren oder Druck auf das Schiffchen auszuüben.

Elektronenstrahlverdampfung von Kobalt (Co)

Kobalt wird als „ausgezeichnet“ für die Elektronenstrahlverdampfung eingestuft. Wir haben noch kein geeignetes Tiegelauskleidungsmaterial für Kobalt qualifiziert und empfehlen generell, es direkt aus dem Kupfertasche der Elektronenkanone zu verdampfen. Aus diesem Grund bevorzugen einige Kunden einen passend geschmolzenen Block (oder Starterquelle), der direkt in die Tasche eingesetzt wird. Die beiden Hauptvorteile des Einsatzes einer Starterquelle sind die einfache Handhabung und hohe Packungsdichte.

Da der Verzicht auf eine Tiegelauskleidung nicht immer eine Option ist, insbesondere bei gemeinsam verwendeten Systemen, verwenden einige Kunden einen Kupfertiegel als Einsatz für die Starterquelle anstatt sie direkt in den Tasche zu legen. Die Tiegeleinsätze sollten an einem kühlen, trockenen Ort gelagert und immer mit Handschuhen oder Pinzetten gehandhabt werden.

KJLC^® kann diese Starterquellen herstellen. Kontaktieren Sie uns, indem Sie hier klicken, und geben Sie Ihren Elektronenkanonenhersteller und die Taschengröße und -Anzahl an, damit wir Ihnen ein Angebot erstellen können.

Füllmengenrechner für Tiegeleinsätze für Elektronenstrahlverdampfer

Anleitung:
Geben Sie das Volumen des Tiegeleinsatzes ein, wählen Sie den Werkstoff (falls nicht im Menü verfügbar, geben Sie die Materialdichte manuell in g/cm³ein) und tragen Sie die Füllrate in % ein.

KJLC empfiehlt eine Füllrate zwischen 67-75 %. Ein Überfüllen des Tiegels führt dazu, dass der Werkstoff überläuft und einen elektrischen Kurzschluss zwischen dem Liner und dem Heizer verursacht, wodurch der Tiegel reißt. Wenn zu wenig Material in den Tiegel gegeben wird oder der Schmelzpegel zu niedrig wird, kann dies ebenfalls nachteilig sein. Wenn der Schmelzpegel unter 30 % fällt, trifft der Elektronenstrahl mit hoher Wahrscheinlichkeit Boden oder Wände des Tiegels, was sofort zu einem Bruch führt.

Die obige Füllrate setzt voraus, dass der Werkstoff vollständig geschmolzen ist und berücksichtigt nicht die Packungsdichte. Es ist anzumerken, dass der Tiegeleinsatz möglicherweise mehrmals befüllt, angeschmolzen und nachgefüllt werden muss, um den endgültig gewünschten Schmelzpegel bzw. die Füllrate zu erreichen. Wenn Sie den Tiegel neu beladen, befüllen Sie ihn nicht mehr als bis 80 % der Höhe des Tiegeleinsatzes.

Dieser Rechner dient nur zu Schätzzwecken.

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Volumen des Tiegeleinsatzes (in cc):

Werkstoff:
-- Bitte auswählen -- Aluminium Aluminiumantimonid Aluminumarsenid Aluminiumbromid Aluminiumcarbid Aluminumfluorid Aluminumnitrid Aluminiumoxid Aluminiumphosphid Aluminum, 1 % Kupfer Aluminium, 1 % Silicium Antimon Antimonoxid Antimonselenid Antimonsulfid Antimontellurid Arsen Arsenoxid Arsenselenid Arsensulfid Arsentellurid Barium Bariumchlorid Bariumfluorid Bariumoxid Bariumsulfid Bariumtitanat Beryllium Berylliumcarbid Berylliumchlorid Berylliumfluorid Berylliumoxid Bismut Bismutfluorid Bismutoxid Bismutselenid Bismutsulfid Bismuttellurid Bismuttitanat Bor Borcarbid Bornitrid Boroxid Borsulfid Cadmium Cadmiumantimonid Cadmiumarsenid Cadmiumbromid Cadmiumchlorid Cadmiumfluorid Cadmiumiodid Cadmiumoxid Cadmiumselenid Cadmiumsulfid Cadmiumtellurid Calcium Calciumfluorid Calciumoxid Calciumsilikat Calciumsulfid Calciumtitanat Calciumwolframat Kohlenstoff Cerium Cerium-(III)-Oxide Cerium-(IV)-Oxide Ceriumfluorid Caesium Caesiumbromid Caesiumchlorid Caesiumfluorid Caesiumhydroxid Caesiumiodid Chiolit Chrom Chrom-(II)-bromid Chrombromid Chromcarbid Chromchlorid Chromoxid Chromsilizid Cobalt † Cobaltbromid Cobaltchlorid Cobaltoxid Kupfer Kupferchlorid Kupferoxid Kupfersulfid Kryolith Dysprosium Dysprosiumfluorid Dysprosiumoxid Erbium Erbiumfluorid Erbiumoxid Europium Europiumfluorid Europiumoxid Europiumsulfid Gadolinium † Gadoliniumcarbid Gadoliniumoxid Gallium Galliumantimonid Galliumarsenid Galliumnitrid Galliumoxid Galliumphosphid Germanium Germanium-(II)-oxid Germanium-(III)-oxid Germaniumnitrid Germaniumtellurid Glass, Schott^® 8329 Gold Hafnium Hafniumborid Hafniumcarbid Hafniumnitrid Hafniumoxid Hafniumsilizid Holmium Holmiumfluorid Holmiumoxid Inconel^® Indium Indium-(I)-oxid Indium-(I)-sulfid Indium-(II)-sulfid Indium-(II)-tellurid Indium-(III)-oxid Indium-(III)-sulfid Indium-(III)-tellurid Indiumantimonid Indiumarsenid Indiumnitrid Indiumphosphid Indiumselenid Indiumzinnoxid Iridium Eisen-(II)-oxid Eisen-(III)-oxid Eisen † Eisenbromid Eisenchlorid Eiseniodid Eisensulfid Kanthal Lanthan Lanthanborid Lanthanbromid Lanthanfluorid Lanthanoxid Blei Bleibromid Bleichlorid Bleifluorid Bleiiodid Bleioxid Bleiselenid Bleistannat Bleisulfid Bleitellurid Bleititanat Lithium Lithiumbromid Lithiumchlorid Lithiumfluorid Lithiumiodid Lithiumniobat Lithiumoxid Lutetium Lutetiumoxid Magnesium Magnesiumaluminat Magnesiumbromid Magnesiumchlorid Magnesiumfluorid Magnesiumiodid Magnesiumoxid Mangan Mangan-(II)-oxid Mangan-(III)-oxid Mangan-(IV)-oxid Manganbromid Manganchlorid Mangansulfid Quecksilber Quecksilbersulfid Molybdän Molybdänborid Molybdäncarbid Molybdänoxid Molybdänsilizid Molybdänsulfid Neodym Neodymfluorid Neodymoxid Nickelchrom IV^® Nickel † Nickelbromid Nickelchlorid Nickeloxid Nickel/Eisen † Nimendium † Niob Niob-(II)-oxid Niob-(III)-oxid Niob-(V)-oxid Niobborid Niobcarbid Niobnitrid Niobtellurid Niobzinn Osmium Osmiumoxid Palladium Palladiumoxid Parylen Permalloy^® † Phosphor Phosphornitrid Platin Platinoxid Plutonium Polonium Potassium Potassiumbromid Potassiumchlorid Potassiumfluorid Potassiumhydroxid Potassiumiodid Praseodym Praseodymoxid PTFE Radium Rhenium Rheniumoxid Rhodium Rubidium Rubidiumchlorid Rubidiumiodid Ruthenium Samarium Samariumoxid Samariumsulfid Scandium Scandiumoxid Selen Silizium Silicium-(II)-oxid Silicium-(IV)-dioxid Silicium (N-Typ) Silicium (P-Typ) Siliciumborid Siliciumcarbid Siliziumnitrid Siliciumselenid Siliciumsulfid Siliciumtellurid Silber Silberbromid Silberchlorid Silberiodid Natrium Natriumbromid Natriumchlorid Natriumcyanid Natriumfluorid Natriumhydroxid Spinell Strontium Strontiumchlorid Strontiumfluorid Strontiumoxid Strontiumsulfid Strontiumtitanat Schwefel Supermalloy^® † Tantal Tantalborid Tantalcarbid Tantalnitrid Tantalpentoxid Tantalsulfid Technetium Tellur Terbium Terbiumfluorid Terbiumoxid Terbiumperoxid Thallium Thalliumbromid Thalliumchlorid Thalliumiodid Thalliumoxid Thorium Thoriumbromid Thoriumcarbid Thoriumfluorid Thoriumoxid Thoriumoxyfluorid Thoriumsulfid Thulium Thuliumoxid Zinn Zinnoxid Zinnselenid Zinnsulfid Zinntellurid Titan Titan-(II)-oxid Titan-(III)-oxid Titan-(IV)-oxid Titanborid Titancarbid Titannitrid Wolfram Wolframborid Wolframcarbid Wolframdisulfid Wolframoxid Wolframselenid Wolframsilizid Wolframtellurid Uran Uran-(II)-sulfid Uran-(III)-oxid Uran-(IV)-oxid Uran-(IV)-sulfid Urancarbid Uranfluorid Uranphosphat Vanadium Vanadium-(IV)-oxid Vanadium-(V)-oxid Vanadiumborid Vanadiumcarbid Vanadiumnitrid Vanadiumsilizid Ytterbium Ytterbiumfluorid Ytterbiumoxid Yttrium Ytterbiumaluminiumoxid Yttriumfluorid Yttriumoxid Zink Zinkantimonid Zinkbromid Zinkfluorid Zinknitrid Zinkoxid Zinkselenid Zinksulfid Zinktellurid Zirkonium Zirconiumborid Zirkoniumcarbid Zirkoniumnitrid Zirkoniumoxid Zirconiumsilikat Zirconiumsilizid
- oder –
Dichte des Materials in g/cm³:

Füllrate %:

Ergebnis

Die Ihrer Berechnung entsprechenden Ergebnisse sind in der untenstehenden Tabelle markiert.

Materialmenge zur Deposition einer Schichtdicke von 1 µm

Anleitung:
Geben Sie den Quellentyp, den Abstand von der Quelle zum Substrat an, und wählen Sie das Material (falls nicht im Menü verfügbar, geben Sie die Materialdichte in kg/m³manuell ein).

Dieser Rechner dient nur zu Schätzzwecken. Die geschätzte Masse ist diejenige, die benötigt wird, um eine gewünschte Filmdicke (in diesem Fall 1 Micron) auf einem flachen Substrat an einem Punkt direkt über der Quelle zu erzeugen, wobei die ungefähre Verteilung der Abgasfahne des gewählten Quellentyps berücksichtigt wird. Diese berücksichtigt nicht die zu erwartenden Unregelmäßigkeiten in der Dicke über eine größere Substratfläche. Komplexere Geometrien, z. B. solche mit versetzten bzw. geneigten Quellen, können einen höheren Materialbedarf aufweisen. Die veranschlagte Masse bezieht sich nur auf die Deposition des Films. Es sollte ein zusätzlicher Spielraum eingeplant werden, um den Verlust beim Hochfahren, Einbrennen, Stabilisieren und Herunterfahren zu berücksichtigen.

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Quelle:
Point Gerichtet – Schiffchen Gerichtet – Elektronenstrahl Gerichtet – LTE/HTE

Abstand zwischen Quelle und Substrat (in cm):

Werkstoff:
-- Bitte auswählen -- Aluminium Aluminiumantimonid Aluminumarsenid Aluminiumbromid Aluminiumcarbid Aluminumfluorid Aluminumnitrid Aluminiumoxid Aluminiumphosphid Aluminum, 1 % Kupfer Aluminium, 1 % Silicium Antimon Antimonoxid Antimonselenid Antimonsulfid Antimontellurid Arsen Arsenoxid Arsenselenid Arsensulfid Arsentellurid Barium Bariumchlorid Bariumfluorid Bariumoxid Bariumsulfid Bariumtitanat Beryllium Berylliumcarbid Berylliumchlorid Berylliumfluorid Berylliumoxid Bismut Bismutfluorid Bismutoxid Bismutselenid Bismutsulfid Bismuttellurid Bismuttitanat Bor Borcarbid Bornitrid Boroxid Borsulfid Cadmium Cadmiumantimonid Cadmiumarsenid Cadmiumbromid Cadmiumchlorid Cadmiumfluorid Cadmiumiodid Cadmiumoxid Cadmiumselenid Cadmiumsulfid Cadmiumtellurid Calcium Calciumfluorid Calciumoxid Calciumsilikat Calciumsulfid Calciumtitanat Calciumwolframat Kohlenstoff Cerium Cerium-(III)-Oxide Cerium-(IV)-Oxide Ceriumfluorid Caesium Caesiumbromid Caesiumchlorid Caesiumfluorid Caesiumhydroxid Caesiumiodid Chiolit Chrom Chrom-(II)-bromid Chrombromid Chromcarbid Chromchlorid Chromoxid Chromsilizid Cobalt † Cobaltbromid Cobaltchlorid Cobaltoxid Kupfer Kupferchlorid Kupferoxid Kupfersulfid Kryolith Dysprosium Dysprosiumfluorid Dysprosiumoxid Erbium Erbiumfluorid Erbiumoxid Europium Europiumfluorid Europiumoxid Europiumsulfid Gadolinium † Gadoliniumcarbid Gadoliniumoxid Gallium Galliumantimonid Galliumarsenid Galliumnitrid Galliumoxid Galliumphosphid Germanium Germanium-(II)-oxid Germanium-(III)-oxid Germaniumnitrid Germaniumtellurid Glass, Schott^® 8329 Gold Hafnium Hafniumborid Hafniumcarbid Hafniumnitrid Hafniumoxid Hafniumsilizid Holmium Holmiumfluorid Holmiumoxid Inconel^® Indium Indium-(I)-oxid Indium-(I)-sulfid Indium-(II)-sulfid Indium-(II)-tellurid Indium-(III)-oxid Indium-(III)-sulfid Indium-(III)-tellurid Indiumantimonid Indiumarsenid Indiumnitrid Indiumphosphid Indiumselenid Indiumzinnoxid Iridium Eisen-(II)-oxid Eisen-(III)-oxid Eisen † Eisenbromid Eisenchlorid Eiseniodid Eisensulfid Kanthal Lanthan Lanthanborid Lanthanbromid Lanthanfluorid Lanthanoxid Blei Bleibromid Bleichlorid Bleifluorid Bleiiodid Bleioxid Bleiselenid Bleistannat Bleisulfid Bleitellurid Bleititanat Lithium Lithiumbromid Lithiumchlorid Lithiumfluorid Lithiumiodid Lithiumniobat Lithiumoxid Lutetium Lutetiumoxid Magnesium Magnesiumaluminat Magnesiumbromid Magnesiumchlorid Magnesiumfluorid Magnesiumiodid Magnesiumoxid Mangan Mangan-(II)-oxid Mangan-(III)-oxid Mangan-(IV)-oxid Manganbromid Manganchlorid Mangansulfid Quecksilber Quecksilbersulfid Molybdän Molybdänborid Molybdäncarbid Molybdänoxid Molybdänsilizid Molybdänsulfid Neodym Neodymfluorid Neodymoxid Nickelchrom IV^® Nickel † Nickelbromid Nickelchlorid Nickeloxid Nickel/Eisen † Nimendium † Niob Niob-(II)-oxid Niob-(III)-oxid Niob-(V)-oxid Niobborid Niobcarbid Niobnitrid Niobtellurid Niobzinn Osmium Osmiumoxid Palladium Palladiumoxid Parylen Permalloy^® † Phosphor Phosphornitrid Platin Platinoxid Plutonium Polonium Potassium Potassiumbromid Potassiumchlorid Potassiumfluorid Potassiumhydroxid Potassiumiodid Praseodym Praseodymoxid PTFE Radium Rhenium Rheniumoxid Rhodium Rubidium Rubidiumchlorid Rubidiumiodid Ruthenium Samarium Samariumoxid Samariumsulfid Scandium Scandiumoxid Selen Silizium Silicium-(II)-oxid Silicium-(IV)-dioxid Silicium (N-Typ) Silicium (P-Typ) Siliciumborid Siliciumcarbid Siliziumnitrid Siliciumselenid Siliciumsulfid Siliciumtellurid Silber Silberbromid Silberchlorid Silberiodid Natrium Natriumbromid Natriumchlorid Natriumcyanid Natriumfluorid Natriumhydroxid Spinell Strontium Strontiumchlorid Strontiumfluorid Strontiumoxid Strontiumsulfid Strontiumtitanat Schwefel Supermalloy^® † Tantal Tantalborid Tantalcarbid Tantalnitrid Tantalpentoxid Tantalsulfid Technetium Tellur Terbium Terbiumfluorid Terbiumoxid Terbiumperoxid Thallium Thalliumbromid Thalliumchlorid Thalliumiodid Thalliumoxid Thorium Thoriumbromid Thoriumcarbid Thoriumfluorid Thoriumoxid Thoriumoxyfluorid Thoriumsulfid Thulium Thuliumoxid Zinn Zinnoxid Zinnselenid Zinnsulfid Zinntellurid Titan Titan-(II)-oxid Titan-(III)-oxid Titan-(IV)-oxid Titanborid Titancarbid Titannitrid Wolfram Wolframborid Wolframcarbid Wolframdisulfid Wolframoxid Wolframselenid Wolframsilizid Wolframtellurid Uran Uran-(II)-sulfid Uran-(III)-oxid Uran-(IV)-oxid Uran-(IV)-sulfid Urancarbid Uranfluorid Uranphosphat Vanadium Vanadium-(IV)-oxid Vanadium-(V)-oxid Vanadiumborid Vanadiumcarbid Vanadiumnitrid Vanadiumsilizid Ytterbium Ytterbiumfluorid Ytterbiumoxid Yttrium Ytterbiumaluminiumoxid Yttriumfluorid Yttriumoxid Zink Zinkantimonid Zinkbromid Zinkfluorid Zinknitrid Zinkoxid Zinkselenid Zinksulfid Zinktellurid Zirkonium Zirconiumborid Zirkoniumcarbid Zirkoniumnitrid Zirkoniumoxid Zirconiumsilikat Zirconiumsilizid
- oder –
Dichte des Materials in kg/m³:

Multiplikator:

Masse für Filmdicke 1µm