Schließen

Bitte wählen Sie das von Ihnen gewünschte Land oder die Region aus,
um auf die entsprechende Website von Lesker weitergeleitet zu werden.

Iron Fe Evaporation Process Notes


Iron (Fe) General Information

Eisen ist das am häufigsten verwendete Metall weltweit. Es ist metallisch-grau, duktil, ferromagnetisch und rostet leicht, wenn es Sauerstoff ausgesetzt wird. Es hat einen Schmelzpunkt von 1.535 °C, eine Dichte von 7,86 g/cc und einen Dampfdruck von 10-4 Torr bei 1.180 °C. Eisen findet sich in einer Vielzahl von Produkten, darunter Werkzeuge, Automobile und Maschinen. Durch die Legierung mit Kohlenstoff entsteht Stahl, der ein wesentlicher Bestandteil im Bauwesen und in der Automobilherstellung ist. Eisen hat auch eine biologische Bedeutung, da es für den Sauerstofftransport im Blut verantwortlich ist. Es wird unter Vakuum zu Schichten bei der Herstellung von Halbleitern, magnetischen Speichermedien und Brennstoffzellen verdampft, um nur einige zu nennen.

Iron Fe Specifications

WerkstofftypEisen †
SymbolFe
Atomares Gewicht55,845
Ordnungszahl26
Farbe und AussehenGlänzend, metallisch, gräulich
Wärmeleitfähigkeit80 W/m.K
Schmelzpunkt (°C)1.535
Wärmeausdehnungskoeffizient11,8 x 10-6/K
Theoretische Dichte (g/cm³)7,86
SputterGleichspannung
Max. Leistungsdichte*
(Watt/Quadratzoll)
50*
FerromagnetischMagnetischer Werkstoff
Z-Verhältnis0,349
ElektronenstrahlExzellent
Thermische Verdampfungstechniken Schiffchen:  W
Spule:  W
Korb:  W
Tiegel:  Al2O3
Elektronenstrahlverdampfer Material TiegeleinsatzFABMATE®‡
Temp. (°C) für gegebenen Dampfdruck Druck (Torr) 10-8:  858
10-6:  998
10-4:  1.180
BemerkungenGreift Wolfram an. Schichten hart, glatt. Heizen Sie den Werkstoff zum Ausgasen sanft vor.

† Magnetischer Werkstoff (benötigt spezielle Sputterquelle).

‡ Nur ein Durchlauf.

* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.

Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Contact Us - Iron Fe Evaporation Process Notes
Powered by Translations.com GlobalLink OneLink SoftwarePowered By OneLink