Schließen

Bitte wählen Sie das von Ihnen gewünschte Land oder die Region aus,
um auf die entsprechende Website von Lesker weitergeleitet zu werden.

Palladium Pd Evaporation Process Notes


Palladium (Pd) General Information

Palladium ist ein silbrig weißes Edelmetall, das eine starke Ähnlichkeit mit Platin aufweist. Es hat einen Schmelzpunkt von 1.554 °C, eine Dichte von 12,038 g/cc und einen Dampfdruck von 10-4 Torr bei 1.192 °C. Es gehört im Periodensystem zur Platingruppe der Metalle. Es hat den niedrigsten Schmelzpunkt der Elemente dieser Gruppe und ist am wenigsten dicht. Palladium ist bemerkenswert formbar, duktil und korrosionsbeständig. Wie Platin wird es in der Industrie vor allem als Katalysator eingesetzt. Es findet sich auch in Schmuck und chirurgischen Instrumenten. Palladium wird unter Vakuum für die Herstellung von Halbleitern, Sensoren und Datenspeichern verdampft.

Palladium Pd Specifications

WerkstofftypPalladium
SymbolPd
Atomares Gewicht106,42
Ordnungszahl46
Farbe und AussehenSilbrig weiß, metallisch
Wärmeleitfähigkeit72 W/m.K
Schmelzpunkt (°C)1.554
Wärmeausdehnungskoeffizient11,8 x 10-6/K
Theoretische Dichte (g/cm³)12,02
SputterGleichspannung
Max. Leistungsdichte*
(Watt/Quadratzoll)
100*
Art des BondingIndium, Elastomer
Z-Verhältnis0,357
ElektronenstrahlExzellent
Thermische Verdampfungstechniken Boot:  W***
Spule:  W
Korb:  W
Tiegel:  Al2O3
Elektronenstrahlverdampfer Material TiegeleinsatzFABMATE®, Graphite, Tungsten
Temp. (°C) für gegebenen Dampfdruck Druck (Torr) 10-8:  842
10-6:  992
10-4:  1.192
BemerkungenLegiert mit hochschmelzenden Metallen.

*** mit Aluminiumoxid beschichtet.

* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.

Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Contact Us - Palladium Pd Evaporation Process Notes
Powered by Translations.com GlobalLink OneLink SoftwarePowered By OneLink