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Einführung in den Geschäftsbereich Fertigung von Keramikwerkstoffen


Datenblatt über Sputtertargets Zum Herunterladen des Datenblatts zu diesem Produkt klicken Sie bitte hier.

Der Geschäftsbereich Fertigung von Keramikwerkstoffen der Kurt J. Lesker Company stellt fortschrittliche Metalloxidkeramikwerkstoffe her, die für eine Reihe von Anwendungen, einschließlich der Speicherung von Energie und Information, Energieumwandlung, Optik und Elektronik verwendet werden. Diese Werkstoffe werden für eine Vielzahl von Dünnschicht-Verfahren (PVD) wie Sputtern, Laserablation und Verdampfung verwendet. Sie können auch als Tinten, Suspensionen und Aufschlämmungen verpackt werden, die zur Herstellung von Nicht-Vakuumbeschichtungen für gedruckte Elektronik und als Feinchemikalien für Endverbraucher verwendet werden, die ihre eigene Massenkeramikherstellung durchführen.

Herstellungsverfahren, verfügbare Größen und Formen

Mit mehr als zwanzig Jahren Fertigungserfahrung werden Metalloxid-Keramik-Targets von KJLC aus Pulvern hergestellt, die intern synthetisiert und unter Verwendung einer urheberrechtlich geschützten spannungsarmen Technik verdichtet werden. Targets, die mit dem KJLC-Verfahren hergestellt werden, haben eine bessere mechanische Homogenität, als ein heißgepresstes oder uniaxial gepresstes und gesintertes Teil. Das bedeutet, dass der Kunde weniger Risse und eine größere Targetausnutzung mit unserem Produkt erhält, als mit Targets, die mit anderen Verfahren hergestellt wurden. Die resultierende Keramik ist dadurch auch vollständig oxidiert im Vergleich zu heißgepressten Produkten mit Sauerstoffdefizit. Das Verfahren stellt ein hochgradig gleichförmiges, dichtes Produkt sicher, das zur Verwendung beim Sputtern, bei der Laserablation oder als Verdampferquelle geeignet ist.

Target-Werkstoffe sind in einer umfassenden Auswahl an Größen erhältlich, von Verdampfungsstücken von 3–6 mm, bis zu runden Scheiben von 1" Durchmesser x Dicke 0,125", bis zu 13" Durchmesser x Dicke 0,5", sowie Kacheln mit Kantenlänge bis 8" und -breite 8" und Dicke 0,5". Dies deckt die Anforderungen der gängigsten Depositionswerkzeuge.

Keramiksynthese

KJLC verwendet hochreine Metalloxid-Ausgangsstoffe bei der Herstellung seines Portfolios keramischer Pulver. Die Vorprodukte werden unter Verwendung einer Reihe von Hochenergiegemischen, Kalzinierungen und Partikelgrößenmessprozessen synthetisiert, die ein stöchiometrisches Material sicherstellen, das zur Verdichtung geeignet ist. Keramiken, die von KJLC hergestellt werden, sind typischerweise in einer Reihe von chemischen Verunreinigungen von 99,9 % bis 99,999 % verfügbar. Der typische Werkstoff des Unternehmens wird stöchiometrisch hergestellt, aber kundenspezifische Formulierungen sind auf Anfrage ebenfalls erhältlich.

Qualität

KJLC hat ein umfassendes In-Prozess-Qualitätskontrollsystem entwickelt, das die Einheitlichkeit und Homogenität jedes Teils mit unseren starren Zielspezifikationen sicherstellt. Das Endprodukt wird auch unter Verwendung einer Vielzahl von Verfahren charakterisiert, um die Phasenreinheit, die chemische Reinheit, die Teilchengröße und die mechanische Kompatibilität mit den beliebtesten Depositionsgeräten sicherzustellen. GDMS-, XRD-, ICP- und Partikelgrößenanalyse werden regelmäßig angewendet, um zu verifizieren, dass die Prozessparameter die gewünschten Produkteigenschaften ergeben. KJLC führt im Rahmen der normalen Managementkontrollen regelmäßige Audits und Tests durch.

Die Standard-Maßtoleranzen für keramische Targets von KJLC liegen bei +/- 0,010" im Durchmesser und der Dicke.

Optionen beim Targetbonden

Wir empfehlen dringend, die von der Kurt J. Lesker Company hergestellten Keramik-Targets mit einer Trägerplatte zu bonden, um die Kühlung und die mechanische Stabilität des Targets während der Deposition zu verbessern. Targets können mit zwei technisch unterschiedlichen Verfahren gebondet werden. Die Bonding-Alternativen sind einmal ein Elastomer-Bonding, typischerweise verwendet für nicht-leitende Materialien und Metall-Bonding aus reinem Indium. Wenden Sie sich an Ihren Vertriebsingenieur, um zu entscheiden, welche Bonding-Alternative für Ihre Anwendung am besten geeignet ist.

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