Ceriumoxid (CeO₂) Stücke Aufdampfmaterialien

Cerium Oxide (CeO₂) Pieces Overview

Wir verkaufen Pellets und Stückchen für die Verdampfung in Depositionsprozessen nach Stückgewicht. Die ungefähren Werkstoffpreise werden bereitgestellt, um Presiabschätzungen im Rahmen von Budgetplanungen zu ermöglichen. Actual prices can vary and may be higher or lower, as determined by availability and market fluctuations. To speak to someone directly about current pricing, please click here .

Cerium Oxide (CeO₂) General Information

Ceriumoxid, auch bekannt als Ceroxid, ist eine anorganische chemische Verbindung mit der chemischen Formel CeO₂. Es ist weiß oder hellgelb und hat eine Dichte von 7,13 g/cm³, einen Schmelzpunkt von ~2.600 °C und einen Dampfdruck von 10^-4 Torr bei 2.310 °C. Es wird hauptsächlich zum Polieren verwendet, kann aber auch als Sensor in Katalysatoren von Automobilen zum Einsatz kommen. Ceroxid wird unter Vakuum verdampft, um antireflektierende Schichten für optische Beschichtungen zu bilden und um als Pufferschichten in Hochtemperatursupraleitern zu dienen.

Cerium Oxide (CeO₂) Specifications

**** Suggestion based on previous experience but could vary by process. Contact local KJLC Sales Manager for further information

Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

• Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
• Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
• Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
• Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
• Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
• Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
• Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Thermisches Verdampfen von Ceroxid (CeO₂)

Da der Dampfdruck von Ceroxid unter seinem Schmelzpunkt liegt (~2.600 °C), wird es aus der festen Phase heraus sublimieren. Wir empfehlen die Verwendung eines dickwandigen Hochstrom-Wolframschiffchens, wie unser EVS20A015W. Mit einer Verdampfungstemperatur von ~2.600 °C, gehen wir von einer Ablagerungsrate von 2-5 Angstrom pro Sekunde aus. Es wird ein Partialdruck von O₂ bei 5 x 10^-5 Torr empfohlen.

E-Strahl-Verdampfen von Ceroxid (CeO₂)

Cerium oxide can be e-beam evaporated from a FABMATE®, tantalum, or graphite crucible liner.

Wenn möglich, wird die Ionen-gestützte Deposition (IAD) bevorzugt, um Ceroxid zu verdampfen. Wir empfehlen, den Elektronenstrahl zu rastern (sweep) und damit den Werkstoff vollständig zu schmelzen und die Bildung von Löchern zu vermeiden. Wir gehen von einer Depositionsrate von 2-5 Angström pro Sekunde aus, wenn die Verdampfungstemperatur bei ~2.600 °C liegt. Es wird ein Partialdruck von O₂ bei 5 x 10^-5 Torr empfohlen. Unter diesen Parametern erwarten wir spannungsarme Schichten, die säulenförmig, weich und porös sind und eine gute Haftung aufweisen. Dicke Schichten haben eine raue Oberfläche.

Ein wichtiger Prozesshinweis ist die Beachtung des richtigen Füllvolumens des Tiegeleinsatzes. Wir stellen fest, dass der Schmelzpegel des Werkstoffs im Tiegel direkten Einfluss auf den Erfolg der Verwendung des Tiegeleinsatzes hat. Ein Überfüllen des Tiegels führt dazu, dass der Werkstoff überläuft und einen elektrischen Kurzschluss zwischen Liner und Heizer erzeugt. Das Ergebnis ist die Entstehung von Rissen in den Tiegeleinsätzen. Dies ist die häufigste Ursache für den Ausfall von Tiegeleinsätzen. Den Tiegeleinsatz zu wenig zu befüllen oder zu viel zu verdampfen bevor wieder nachgefüllt wird, kann für den Prozess ebenso nachteilig sein. Wenn der Schmelzpegel unter 30 % fällt, trifft der Elektronenstrahl mit hoher Wahrscheinlichkeit Boden oder Wände des Tiegels, was sofort zu einem Bruch führt. Unsere Empfehlung ist, den Tiegel zwischen 2/3 und 3/4 zu füllen, um diese Schwierigkeiten zu verhindern.

Die Tiegeleinsätze sollten an einem kühlen, trockenen Ort gelagert und immer mit Handschuhen oder Pinzetten gehandhabt werden.