Cobalt (Co) Pellets Aufdampfmaterialien

Cobalt (Co) Pellets Overview

Wir verkaufen Pellets und Stückchen für die Verdampfung in Depositionsprozessen nach Stückgewicht. Die ungefähren Werkstoffpreise werden bereitgestellt, um Presiabschätzungen im Rahmen von Budgetplanungen zu ermöglichen. Actual prices can vary and may be higher or lower, as determined by availability and market fluctuations. To speak to someone directly about current pricing, please click here .

Cobalt (Co) General Information

Cobalt ist eines der bekanntesten Metalle der Welt. Es hat eine Dichte von 8,9 g/cm³, einem Schmelzpunkt von 1.495 °C und einen Dampfdruck von 10^-4 Torr bei 1.200 °C. Es ist ein glänzendes, hartes Metall, das grau aussieht und charakteristisch ferromagnetisch ist. Eine der beliebtesten Anwendungen für dieses Metall ist die Verwendung als blaues Pigment in Farbe, Schmuck und Glas. Es wird oft mit anderen Metallen legiert, um Motorteile und Schneidwerkzeuge herzustellen. Seine beiden Hauptvakuumanwendungen sind die Verwendung als ferromagnetische Schicht bei der Herstellung magnetischer Speichermedien und als Übergangsschicht bei der Batterieherstellung.

Cobalt (Co) Specifications

† Magnetischer Werkstoff (benötigt spezielle Sputterquelle).

**** Suggestion based on previous experience but could vary by process. Contact local KJLC Sales Manager for further information

Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

• Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
• Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
• Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
• Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
• Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
• Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
• Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Thermisches Verdampfen von Cobalt (Co)

Cobalt neigt wie Nickel sehr zur Legierung mit Refraktärmetallen. Der Versuch, Cobalt aus einem Wolframschiffchen (oder sogar einem dickwandigen Schiffchen) thermisch zu verdampfen, hat sich als zwecklos erwiesen. Wenn sich das Schiffchen aufheizt und das Cobalt zu schmelzen beginnt, legiert das flüssige Cobalt mit dem Schiffchen und bewirkt sofort, dass es brüchig wird und schließlich reißt. Infolgedessen gibt es, wenn überhaupt, nur sehr geringe Depositionen.

Abbildung 1 - Dickwandiges Wolframschiffchen (EVS20A015W) nach thermalen Verdampfen

Wir konnten Kobalt erfolgreich aus einem mit Aluminiumoxid beschichteten Wolframschiffchen wie unserem EVS9AAOW thermisch verdampfen. Mit diesem Schiffchen konnten wir einen Film mit einer durchschnittlichen Dicke von 3.790 Angström abscheiden, bei einer durchschnittlichen Depositionsrate von 6 Angström pro Sekunde, unter Verwendung von (1) 1/4" X 1/4" Kobaltpellets und 272 Ampere-Leistung. Wir schätzen die durchschnittliche Lebensdauer des Schiffchens auf etwa 1-3 Läufe. Das Halten des Stroms bei einem konstanten Wert führt jedoch zu einer abnehmenden Depositionsrate im Laufe der Zeit. Das liegt an der geringen Größe des Schiffchens und dem geringen Materialeinsatz. Um die Abscheidungsrate aufrechtzuerhalten, müssen während des gesamten Prozesses höhere Leistungen aufgebracht werden. Wenn das Schiffchen einen Verdampfungsdurchlauf überlebt, ist es wichtig, das Schiffchen beim Nachladen nicht zu berühren oder Last auszuüben. Es wird empfohlen, neue Pellets vorsichtig in das Schiffchen zu legen und zu vermeiden, die Klammern zu berühren oder Druck auf das Schiffchen auszuüben.

Abbildung 2 - Aluminiumoxidbeschichtetes Wolframschiffchen (EVS9AAOW) nach thermischer Verdampfung

Elektronenstrahlverdampfung von Kobalt (Co)

Kobalt wird als „ausgezeichnet“ für die Elektronenstrahlverdampfung eingestuft. Wir haben noch kein geeignetes Tiegelauskleidungsmaterial für Kobalt qualifiziert und empfehlen generell, es direkt aus dem Kupfertasche der Elektronenkanone zu verdampfen. Aus diesem Grund bevorzugen einige Kunden einen passend geschmolzenen Block (oder Starterquelle), der direkt in die Tasche eingesetzt wird. Die beiden Hauptvorteile des Einsatzes einer Starterquelle sind die einfache Handhabung und hohe Packungsdichte.

Da der Verzicht auf eine Tiegelauskleidung nicht immer eine Option ist, insbesondere bei gemeinsam verwendeten Systemen, verwenden einige Kunden einen Kupfertiegel als Einsatz für die Starterquelle anstatt sie direkt in den Tasche zu legen. Die Tiegeleinsätze sollten an einem kühlen, trockenen Ort gelagert und immer mit Handschuhen oder Pinzetten gehandhabt werden.

KJLC^® kann diese Starterquellen herstellen. Contact us by clicking here with your e-gun manufacturer, pocket size, and number of pockets in order for us to produce a quote.