Indium (In) Draht Aufdampfmaterialien

Indium (In) Wire Overview

Wir verkaufen Pellets und Stückchen für die Verdampfung in Depositionsprozessen nach Stückgewicht. Die ungefähren Werkstoffpreise werden bereitgestellt, um Presiabschätzungen im Rahmen von Budgetplanungen zu ermöglichen. Actual prices can vary and may be higher or lower, as determined by availability and market fluctuations. To speak to someone directly about current pricing, please click here .

Indium (In) General Information

Indium ist ein Übergangsmetall mit galliumähnlichen Eigenschaften. Es ist weich und metallisch-grau in der Farbe. Es hat eine Dichte von 7,3 g/cm³, einen Schmelzpunkt von 157 °C und einen Dampfdruck von 10^-4 Torr bei 742 °C. Eine seiner bemerkenswerten Eigenschaften ist seine Fähigkeit, sich an Glas und anderen ähnlichen Oberflächen festzuhalten. Indiumverbindungen werden unter Vakuum zu dünnen Schichten bei der Herstellung von Elektronik- und Photovoltaikzellen verdampft. Reines Indium wird als Filmschicht in Halbleitern verwendet.

Indium (In) Specifications

**** Suggestion based on previous experience but could vary by process. Contact local KJLC Sales Manager for further information

Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

• Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
• Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
• Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
• Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
• Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
• Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
• Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Thermisches Verdampfen von Indium (In)

Vor der Gasphasenabscheidung eines Materials in einem Vakuumsystem sollten genaue Überlegung angestellt werden. Indium ist nicht besonders problematisch, jedoch verdampfen Reste von Indium in der Anlage auch dann, wenn bei nachfolgenden Depositionsläufen eine ausreichende Temperatur erreicht wird. Es wird empfohlen, eine geeignete Abschirmung mit Folie zu verwenden, die nach der Deposition entfernt werden kann.

Indium kann aus einem Wolframtiegelheizer mit einem Aluminiumoxid-Tiegel, wie z. B. unseren EVB8B3030W und EVC9AO, thermisch verdampft werden. Ein Sprüheffekt kann bis zu einem gewissen Grad vermieden werden, indem die Menge des in den Tiegel eingefüllten Materials reduziert wird. Die Tiegel sollten an einem kühlen, trockenen Ort gelagert und immer mit Handschuhen oder Pinzetten gehandhabt werden.

Elektronenstrahlverdampfung von Indium (In)

Indium can be e-beam evaporated from a FABMATE®, graphite, or molybdenum crucible liner and is rated excellent for e-beam evaporation. Ein wichtiger Prozesshinweis ist die Berücksichtigung des Füllvolumens in der Elektronenstrahl-Anwendung. Wir stellen fest, dass der Schmelzpegel des Werkstoffs im Tiegel direkten Einfluss auf den Erfolg der Verwendung des Tiegeleinsatzes hat. Ein Überfüllen des Tiegels führt dazu, dass der Werkstoff überläuft und einen elektrischen Kurzschluss zwischen Liner und Heizer erzeugt. Das Resultat ist die Entstehung von Rissen im Tiegel. Dies ist die häufigste Ursache für den Ausfall von Tiegeleinsätzen. Wenn zu wenig Material in den Tiegel gegeben wird oder der Schmelzpegel zu niedrig wird, kann dies ebenfalls nachteilig sein. Wenn der Schmelzpegel unter 30 % fällt, trifft der Elektronenstrahl mit hoher Wahrscheinlichkeit Boden oder Wände des Tiegels, was sofort zu einem Bruch führt. Unsere Empfehlung ist, den Tiegel zwischen 2/3 und 3/4 zu füllen, um diese Schwierigkeiten zu verhindern.

Die Tiegeleinsätze sollten an einem kühlen, trockenen Ort gelagert und immer mit Handschuhen oder Pinzetten gehandhabt werden.