Lithiumfluorid (LiF) Pulver und Stücke Aufdampfmaterialien

Lithium Fluoride (LiF) Powder & Pieces Overview

Wir verkaufen Pellets und Stückchen für die Verdampfung in Depositionsprozessen nach Stückgewicht. Die ungefähren Werkstoffpreise werden bereitgestellt, um Presiabschätzungen im Rahmen von Budgetplanungen zu ermöglichen. Actual prices can vary and may be higher or lower, as determined by availability and market fluctuations. To speak to someone directly about current pricing, please click here .

Lithium Fluoride (LiF) General Information

Lithiumfluorid ist eine anorganische Verbindung mit der Formel LiF. Es hat eine Dichte von 2,64 g/cm³, einen Schmelzpunkt von 845 °C und einen Dampfdruck von 10^-4 Torr bei 1.180 °C. Es ist kristallin im Erscheinungsbild und weiß in der Farbe. Es wird unter anderem als Bestandteil von Salzschmelzen verwendet und unter Vakuum verdampft für Antireflexschichten in der Optik.

Lithium Fluoride (LiF) Specifications

Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

• Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
• Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
• Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
• Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
• Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
• Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
• Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Thermische Verdampfung von Lithiumfluorid (LiF)

Wir empfehlen manuelle Kalibrierläufe für jedes neue Material. Auf diese Weise kann der Anwender ein Rezept entwerfen, das für seinen Prozess geeignet ist. Nach einem manuellen Start konnten wir beim thermischen Verdampfen von Lithiumfluorid eine Depositionsrate zwischen 1-2 Angström pro Sekunde erreichen.

Die Leistung sollte im Handbetrieb langsam erhöht werden, bis eine stabile Rate von einem Angström pro Sekunde erreicht ist. Der Lauf kann dann um diesen Leistungssollwert herum entworfen werden und wird zum Sollwert Rampe #2 im Rezept. Ein Beispiel für das Design wäre, die Leistung der Rampe Nr. 1 auf 65 % der Leistung der Rampe Nr. 2 mit einer Rampenzeit von fünf Minuten einzustellen. Der Wert von Regelpunkt Rampe #1 sollte für zwei Minuten gehalten werden. Danach auf den Sollwert Rampe #2 gehen und eine Minute halten. Es ist hilfreich, das Substrat auf 200-300 °C zu erwärmen.

Wir empfehlen das Verdampfen von Lithiumfluorid aus einem abgeschirmten Tantal-Tiegelheizer mit einem Aluminiumoxid-Tiegel wie unserem EVCH1 oder EVCH10 mit EVC9AO bei Verwendung eines KJLC^®-Systems. Bei der Installation des Heizelements muss sehr sorgfältig vorgegangen werden, um zu verhindern, dass sich die äußeren Schirme verziehen, was zu einem Kurzschluss im Heizelement führen und so ein Brechen der Schweißverbindungen verursachen kann. Die Heizung sollte zwischen den Kontakten zentriert sein und die äußere Abschirmung darf die Leitungen nicht berühren. Die Tiegel sollten an einem kühlen, trockenen Ort gelagert und immer mit Handschuhen oder Pinzetten gehandhabt werden.

Richtig – Tiegelheizung zentriert, äußere Abschirmung ohne Kontakt zu den Leitungen

Falsch – Tiegelheizung außerhalb der Mitte, Schirmung in Kontakt mit Leitungen/Innenschirmung

Elektronenstrahlverdampfung von Lithiumfluorid (LiF)

Es ist zu beachten, dass die Elektronenstrahlverdampfung von Nichtmetallen schwierig sein kann. In der Regel muss die Elektronenkanone mit einer niedrigeren Spannung betrieben werden. Um eine Bildung von Löchern im Material zu verhindern, muss der Strahl ausreichend um die Mitte der Tasche herum aufgeweitet werden. Lithiumfluorid wird als „gut“ für die Elektronenstrahlverdampfung eingestuft. Wir empfehlen die Verwendung eines Tiegeleinsatz aus Tantal, Wolfram oder Molybdän.

Ein wichtiger Prozesshinweis beim Elektronenstrahlverdampfen ist die Beachtung des richtigen Füllvolumens. Wir stellen fest, dass der Schmelzpegel des Aufdampfmaterials im Tiegel direkten Einfluss auf den Erfolg der Verwendung des Tiegeleinsatzes hat. Ein Überfüllen des Tiegels führt dazu, dass der Werkstoff überläuft und einen elektrischen Kurzschluss zwischen Liner und Heizer erzeugt. Das Resultat ist die Entstehung von Rissen im Tiegel. Dies ist die häufigste Ursache für den Ausfall von Tiegeleinsätzen. Wenn zu wenig Material in den Tiegel gegeben wird oder der Schmelzpegel zu niedrig wird, kann dies ebenfalls nachteilig sein. Wenn der Schmelzpegel unter 30 % fällt, trifft der Elektronenstrahl mit hoher Wahrscheinlichkeit Boden oder Wände des Tiegels, was sofort zu einem Bruch führt. Unsere Empfehlung ist, den Tiegel zwischen 2/3 und 3/4 zu füllen, um diese Schwierigkeiten zu verhindern.

Die Tiegeleinsätze sollten an einem kühlen, trockenen Ort gelagert und immer mit Handschuhen oder Pinzetten gehandhabt werden.