Magnesium (Mg) Pellets Aufdampfmaterialien

Magnesium (Mg) Pellets Overview

Wir verkaufen Pellets und Stückchen für die Verdampfung in Depositionsprozessen nach Stückgewicht. Die ungefähren Werkstoffpreise werden bereitgestellt, um Presiabschätzungen im Rahmen von Budgetplanungen zu ermöglichen. Actual prices can vary and may be higher or lower, as determined by availability and market fluctuations. To speak to someone directly about current pricing, please click here .

Magnesium (Mg) General Information

Magnesium ist ein grauweißes Erdalkalimetall mit einem Schmelzpunkt von 649 °C, einer Dichte von 1,74 g/cc und einem Dampfdruck von 10^-4 Torr bei 327 °C. Es ist hochentzündlich, besonders in Pulverform, und Brände sind schwer zu löschen. Magnesium ist auch ein wesentliches Lebenselement. Magnesium ist verantwortlich für die Regulierung der Nervenfunktion, des Blutdrucks und des Nährstoffgehalts im menschlichen Körper. Es wird in großem Umfang bei der Herstellung von Flugzeugen, Triebwerksgehäusen, Laptops, Mobiltelefonen und Kameras eingesetzt. Magnesium und seine Legierungen werden unter Vakuum für die Entwicklung von magnetischen Speichermedien, optischen Speichermedien und Halbleitern verdampft.

Magnesium (Mg) Specifications

Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

• Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
• Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
• Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
• Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
• Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
• Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
• Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Thermische Verdampfung von Magnesium (Mg)

Wir empfehlen die Verwendung eines Wolframschiffchens wie unser EVS8B005W, um Magnesium thermisch zu verdampfen. Bei etwa 430 °C erwarten wir gute Depositionsraten durch thermische Verdampfung.

Das Reinigen von "versprühtem/übergekochtem" Material ist für viele Anwender, die Magnesiumschichten verdampfen, ein Problem. Richtige Reinigungsverfahren sind unerlässlich, um eine Verunreinigung der Schichten zu vermeiden. Magnesium hat einen relativ hohen Dampfdruck gegenüber Temperatur. Bei einer Prozesskammer mit Substratheizung besteht bei Temperaturen über 250 °C die Gefahr der Verunreinigung durch Restmagnesium. Der Dampfdruck von Magnesium liegt bei dieser Temperatur um 2 X 10^-6 Torr. In der Regel sind Systeme, die zur Abscheidung von Magnesium verwendet werden, aufgrund dieser hohen Dampfdruck-Temperatur-Kurve einzig für die Arbeit mit Magnesiumfilmen ausgelegt.

Ein weiteres Problem ist der pyrophore Charakter von Magnesium-Resten. Die versprühten Reste ("Overspray") sind stets körnig und können in Abhängigkeit vom Oberflächen-Volumen-Verhältnis spontan an der Luft verbrennen. Wasser kann ebenso dazu beitragen, dass Magnesiumflocken sich entzünden und stellt somit ein ein weiteres Problem dar. Für weitere Informationen zur Vermeidung und Löschung von Magnesiumbränden wenden Sie sich bitte an Ihren Laborsicherheitsbeauftragten.

Elektronenstrahlverdampfung von Magnesium (Mg)

We recommend a FABMATE®, graphite, or tungsten crucible liner when e-beam evaporating magnesium. Bei diesem Verfahren sind hohe Depositionsraten möglich.

Ein wichtiger Prozesshinweis beim Elektronenstrahlverdampfen ist die Beachtung des richtigen Füllvolumens. Wir stellen fest, dass der Schmelzpegel des Aufdampfmaterials im Tiegel direkten Einfluss auf den Erfolg der Verwendung des Tiegeleinsatzes hat. Ein Überfüllen des Tiegels führt dazu, dass der Werkstoff überläuft und einen elektrischen Kurzschluss zwischen Liner und Heizer erzeugt. Das Resultat ist die Entstehung von Rissen im Tiegel. Dies ist die häufigste Ursache für den Ausfall von Tiegeleinsätzen. Den Tiegeleinsatz zu wenig zu befüllen oder zu viel zu verdampfen bevor wieder nachgefüllt wird, kann für den Prozess ebenso nachteilig sein. Wenn der Schmelzpegel unter 30 % fällt, trifft der Elektronenstrahl mit hoher Wahrscheinlichkeit Boden oder Wände des Tiegels, was sofort zu einem Bruch führt. Unsere Empfehlung ist, den Tiegel zwischen 2/3 und 3/4 zu füllen, um diese Schwierigkeiten zu verhindern. Die Tiegeleinsätze sollten an einem kühlen, trockenen Ort gelagert und immer mit Handschuhen oder Pinzetten gehandhabt werden.

Das Reinigen von "versprühtem/übergekochtem" Material ist für viele Anwender, die Magnesiumschichten verdampfen, ein Problem. Richtige Reinigungsverfahren sind unerlässlich, um eine Verunreinigung der Schichten zu vermeiden. Magnesium hat einen relativ hohen Dampfdruck gegenüber Temperatur. Bei einer Prozesskammer mit Substratheizung besteht bei Temperaturen über 250 °C die Gefahr der Verunreinigung durch Restmagnesium. Der Dampfdruck von Magnesium liegt bei dieser Temperatur um 2 X 10^-6 Torr. In der Regel sind Systeme, die zur Abscheidung von Magnesium verwendet werden, aufgrund dieser hohen Dampfdruck-Temperatur-Kurve einzig für die Arbeit mit Magnesiumfilmen ausgelegt.

Ein weiteres Problem ist der pyrophore Charakter von Magnesium-Resten. Die versprühten Reste ("Overspray") sind stets körnig und können in Abhängigkeit vom Oberflächen-Volumen-Verhältnis spontan an der Luft verbrennen. Wasser kann ebenso dazu beitragen, dass Magnesiumflocken sich entzünden und stellt somit ein ein weiteres Problem dar. Für weitere Informationen zur Vermeidung und Löschung von Magnesiumbränden wenden Sie sich bitte an Ihren Laborsicherheitsbeauftragten.