Magnesiumfluorid (MgF₂) Stück Aufdampfmaterialien

Magnesiumfluorid (MgF₂)-Stücke Überblick

Wir verkaufen Pellets und Stückchen für die Verdampfung in Depositionsprozessen nach Stückgewicht. Die ungefähren Werkstoffpreise werden bereitgestellt, um Presiabschätzungen im Rahmen von Budgetplanungen zu ermöglichen. Die tatsächlichen Preise können, je nach Verfügbarkeit und Marktschwankungen, höher oder niedriger sein. Klicken Sie bitte hier, wenn Sie direkt mit uns über die aktuellen Preise sprechen möchten.

Magnesiumfluorid (MgF₂) Allgemeine Informationen

Magnesiumfluorid ist eine anorganische chemische Verbindung mit der chemischen Formel MgF₂. Es ist weiß oder kristallin mit einem Schmelzpunkt von 1.261 °C, einer Dichte von 3,18 g/cc und einem Dampfdruck von 10^-4 Torr bei 1.000 °C. Die Hauptanwendung von Magnesiumfluorid liegt in der Optik, aufgrund seiner ausgeprägten Transparenz über einen weiten Wellenlängenbereich. Es wird unter Vakuum zu Antireflexschichten verdampft.

Magnesiumfluorid (MgF₂)-Spezifikationen

**** Empfehlung basierend auf früheren Erfahrungen, kann aber je nach Prozess variieren. Kontaktieren Sie bitte Ihren lokalen KJLC Sales Manager für weitere Informationen

Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

• Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
• Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
• Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
• Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
• Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
• Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
• Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Thermische Verdampfung von Magnesiumfluorid (MgF₂)

Magnesiumfluorid kann aus Molybdän- oder Tantalschiffchen wie unseren EVS8B005MO oder EVS8B005TA thermisch verdampft werden. Es können auch Tantal-Korbverdampfer verwendet werden. Ein wichtiger Hinweis ist, dass die Substrattemperatur die Schichtdichte und -härte erheblich beeinflusst.

Bei einer Verdampfungstemperatur von ~950 °C und einem Basisdruck für die Verdampfung von 10^-6 Torr erwarten wir Depositionsraten von bis zu 20 Angström pro Sekunde.

Elektronenstrahlverdampfung von Magnesiumfluorid (MgF₂)

Magnesiumfluorid ist hervorragend für die Elektronenstrahlverdampfung geeignet. Wir empfehlen die Verwendung eines Graphit-, FABMATE^®- oder Molybdän-Tiegeleinsatzes. Ein wichtiger Hinweis ist, dass die Substrattemperatur die Schichtdichte und -härte erheblich beeinflusst.

Wir empfehlen, den Elektronenstrahl bei geringer Leistung zu rastern (sweep), um das Material gleichmäßig zu schmelzen und die Bildung von Lächern ("hole drilling") zu vermeiden. Eine geringe Elektronenstrahlleistung wird empfohlen, um Materialdissoziation zu vermeiden. Bei einer Verdampfungstemperatur von ~950 °C und einem Basisdruck für die Verdampfung von 10^-6 Torr erwarten wir Depositionsraten von bis zu 20 Angström pro Sekunde. Wir erwarten eine gute Haftung auf den meisten Untergründen. Yttriumoxid (Y₂O₃) kann bei Bedarf als dünne Haftschicht verwendet werden.

Ein weiterer wichtiger Prozesshinweis ist die Berücksichtigung des Füllvolumens in der Elektronenstrahl-Anwendung, da wir feststellen, dass das Schmelzniveau eines Materials in einem Tiegel direkt den Erfolg der Tiegelauskleidung beeinflusst. Ein Überfüllen des Tiegels führt dazu, dass der Werkstoff überläuft und einen elektrischen Kurzschluss zwischen Liner und Heizer erzeugt. Das Resultat ist die Entstehung von Rissen im Tiegel. Dies ist die häufigste Ursache für den Ausfall von Tiegeleinsätzen. Wenn zu wenig Material in den Tiegel gegeben wird oder der Schmelzpegel zu niedrig wird, kann dies ebenfalls nachteilig sein. Wenn der Schmelzpegel unter 30 % fällt, trifft der Elektronenstrahl mit hoher Wahrscheinlichkeit Boden oder Wände des Tiegels, was sofort zu einem Bruch führt. Unsere Empfehlung ist, den Tiegel zwischen 2/3 und 3/4 zu füllen, um diese Schwierigkeiten zu verhindern.

Die Tiegeleinsätze sollten an einem kühlen, trockenen Ort gelagert und immer mit Handschuhen oder Pinzetten gehandhabt werden.