Molybdänoxid (MoO₃) Pellets Aufdampfmaterialien

Molybdenum Oxide (MoO₃) Pellets Overview

Wir verkaufen Pellets und Stückchen für die Verdampfung in Depositionsprozessen nach Stückgewicht. Die ungefähren Werkstoffpreise werden bereitgestellt, um Presiabschätzungen im Rahmen von Budgetplanungen zu ermöglichen. Actual prices can vary and may be higher or lower, as determined by availability and market fluctuations. To speak to someone directly about current pricing, please click here .

Molybdenum Oxide (MoO₃) General Information

Molybdänoxid ist eine chemische Verbindung mit der chemischen Formel MoO₃. Es ist weiß bis hellgelb mit einem Schmelzpunkt von 795 °C, einer Dichte von 4,69 g/cc und einem Dampfdruck von 10^-4 Torr bei ~900 °C. Es wird hauptsächlich zur Herstellung von reinem Molybdänmetall verwendet. Es wird unter Vakuum verdampft, um transparente Elektroden für Photovoltaikzellen herzustellen.

Molybdenum Oxide (MoO₃) Specifications

**** Suggestion based on previous experience but could vary by process. Contact local KJLC Sales Manager for further information

Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

• Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
• Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
• Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
• Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
• Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
• Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
• Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Thermische Verdampfung von Molybdänoxid (MoO₃)

Molybdänoxid hat einen Dampfdruck von 10^-4 Torr bei ~900 °C. Es tritt ein leichter O₂-Verlust während der Verdampfung auf, so dass zusätzlicher Sauerstoff erforderlich sein kann. Wir empfehlen, zuerst ohne Sauerstoff zu verdampfen, um eine Grundlinie zu erhalten und dann den Sauerstoffgehalt nach Bedarf anzupassen.

Molybdänoxid kann mit einem Molybdänschiffchen thermisch verdampft werden. Wir empfehlen unser EVS8B005MO oder EVS20A010MO bei Verwendung eines KJLC^©-Systems.

Elektronenstrahlverdampfung von Molybdänoxid (MoO₃)

Molybdänoxid hat einen Dampfdruck von 10^-4 Torr bei ~900 °C. Es tritt ein leichter O₂-Verlust während der Verdampfung auf, so dass zusätzlicher Sauerstoff erforderlich sein kann. Wir empfehlen, zuerst ohne Sauerstoff zu verdampfen, um eine Grundlinie zu erhalten und dann den Sauerstoffgehalt nach Bedarf anzupassen.

We have not yet qualified a suitable crucible liner material for e-beam evaporating molybdenum oxide, so we would recommend starting with a FABMATE® liner since it is compatible with most materials.

Ein wichtiger Prozesshinweis beim Elektronenstrahlverdampfen ist die Beachtung des richtigen Füllvolumens. Wir stellen fest, dass der Schmelzpegel des Aufdampfmaterials im Tiegel direkten Einfluss auf den Erfolg der Verwendung des Tiegeleinsatzes hat. Ein Überfüllen des Tiegels führt dazu, dass der Werkstoff überläuft und einen elektrischen Kurzschluss zwischen Liner und Heizer erzeugt. Das Resultat ist die Entstehung von Rissen im Tiegel. Dies ist die häufigste Ursache für den Ausfall von Tiegeleinsätzen. Den Tiegeleinsatz zu wenig zu befüllen oder zu viel zu verdampfen bevor wieder nachgefüllt wird, kann für den Prozess ebenso nachteilig sein. Wenn der Schmelzpegel unter 30 % fällt, trifft der Elektronenstrahl mit hoher Wahrscheinlichkeit Boden oder Wände des Tiegels, was sofort zu einem Bruch führt. Unsere Empfehlung ist, den Tiegel zwischen 2/3 und 3/4 zu füllen, um diese Schwierigkeiten zu verhindern.

Die Tiegeleinsätze sollten an einem kühlen, trockenen Ort gelagert und immer mit Handschuhen oder Pinzetten gehandhabt werden.