Palladium (Pd) Pellets Aufdampfmaterialien

Palladium (Pd) Pellets Overview

Wir verkaufen Pellets und Stückchen für die Verdampfung in Depositionsprozessen nach Stückgewicht. Die ungefähren Werkstoffpreise werden bereitgestellt, um Presiabschätzungen im Rahmen von Budgetplanungen zu ermöglichen. Actual prices can vary and may be higher or lower, as determined by availability and market fluctuations. To speak to someone directly about current pricing, please click here .

Palladium (Pd) General Information

Palladium ist ein silbrig weißes Edelmetall, das eine starke Ähnlichkeit mit Platin aufweist. Es hat einen Schmelzpunkt von 1.554 °C, eine Dichte von 12,038 g/cc und einen Dampfdruck von 10^-4 Torr bei 1.192 °C. Es gehört im Periodensystem zur Platingruppe der Metalle. Es hat den niedrigsten Schmelzpunkt der Elemente dieser Gruppe und ist am wenigsten dicht. Palladium ist bemerkenswert formbar, duktil und korrosionsbeständig. Wie Platin wird es in der Industrie vor allem als Katalysator eingesetzt. Es findet sich auch in Schmuck und chirurgischen Instrumenten. Palladium wird unter Vakuum für die Herstellung von Halbleitern, Sensoren und Datenspeichern verdampft.

Palladium (Pd) Specifications

*** mit Aluminiumoxid beschichtet.

Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

• Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
• Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
• Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
• Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
• Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
• Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
• Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Thermische Verdampfung von Palladium (Pd)

Wenn man die Möglichkeiten des Vakuumsystems und der Stromversorgung bedenkt, ist die thermische Verdampfung von Palladium schwierig, wenn nicht gar unmöglich.

Palladium ist bekannt dafür "überzukochen", bzw. zu "spritzen. Es wird empfohlen, vor Beginn der Beschichtung und dem Öffnen des Shutters, die Leistung langsam zu steigern und den Prozess einzufahren. Stufenweise Leistungssteigerungen und anschließendes Halten bei einer Temperatur helfen, eingeschlossene Gase auszustoßen und ein Spritzen zu reduzieren.

Palladium weist einen Dampfdruck von 10^-2 Torr bei ~1.500 °C auf und ist sehr reaktiv gegenüber Refraktärmetallen. Sobald Palladium flüssig wird, legiert es mit einem herkömmlichen Wolfram-Verdampferschiffchen und zerstört es. Wir empfehlen ein mit Aluminiumoxid beschichtetes Wolframschiffchen wie unser EVS9AAOW (bei Verwendung eines KJLC^®-Systems) zur thermischen Verdampfung von Palladium. Unter Verwendung dieses Schiffchens konnten wir eine Schicht mit einer Dicke von etwa 3.000 Angström in einem Durchgang aufbringen. Der Energiebedarf für die Deposition von Palladium aus unserem EVS9AAOW liegt an der Obergrenze einer einzelnen Kepco^®-Stromversorgung. Bei 100 % Leistung liegt die Spannung bei 4V und der Strom bei 230A. Bis zu 5 Minuten können erforderlich sein, um das Palladium zum Schmelzen zu bringen und mit der Deposition zu beginnen.

Das Verdampfen von Palladium aus einem mit Aluminiumoxid beschichteten Schiffchen belastet die Aluminiumoxidbeschichtung bis an ihre Grenzen. Da Aluminiumoxid einen Dampfdruck von 10^-4 Torr bei 1.550 °C aufweist und die Verdampfungstemperatur von Palladium etwa 1.500 °C beträgt, besteht die Gefahr, dass in so abgeschiedenen Schichten Aluminiumoxid auftritt. Die Wahrscheinlichkeit einer Aluminiumoxidverunreinigung in Filmen ist relativ hoch, aber in welchem Ausmaß, ist unbekannt.

Es ist auch wichtig zu beachten, dass ein EVS9AAOW-Schiffchen nur für einen Depositionslauf geeignet ist. Wir haben festgestellt, dass das Palladium das Schiffchen angreift und zerbricht, wenn ein zweiter Durchgang versucht wird. Daher führt die thermische Verdampfung nur zu begrenztem Erfolg. Die Elektronenstrahlverdampfung ist das bevorzugte Verfahren zur Deposition von Palladiumschichten.

Elektronenstrahlverdampfung von Palladium (Pd)

Die Elektronenstrahlverdampfung ist das bevorzugte Verfahren zur Deposition von Palladium, da es für dieses Verfahren hervorragend geeignet ist. Palladium ist bekannt dafür "überzukochen", bzw. zu "spritzen. Es wird empfohlen, vor Beginn der Beschichtung und dem Öffnen des Shutters, die Leistung langsam zu steigern und den Prozess einzufahren. Stufenweise Leistungssteigerungen und anschließendes Halten bei einer Temperatur helfen, eingeschlossene Gase auszustoßen und ein Spritzen zu reduzieren.

We recommend using a FABMATE®, graphite, or tungsten crucible liner for e-beam evaporating palladium. Ein wichtiger Prozesshinweis ist die Berücksichtigung des Füllvolumens in der Elektronenstrahl-Anwendung. Wir stellen fest, dass der Schmelzpegel des Werkstoffs im Tiegel direkten Einfluss auf den Erfolg der Verwendung des Tiegeleinsatzes hat. Ein Überfüllen des Tiegels führt dazu, dass der Werkstoff überläuft und einen elektrischen Kurzschluss zwischen Liner und Heizer erzeugt. Das Resultat ist die Entstehung von Rissen im Tiegel. Dies ist die häufigste Ursache für den Ausfall von Tiegeleinsätzen. Wenn zu wenig Material in den Tiegel gegeben wird oder der Schmelzpegel zu niedrig wird, kann dies ebenfalls nachteilig sein. Wenn der Schmelzpegel unter 30 % fällt, trifft der Elektronenstrahl mit hoher Wahrscheinlichkeit Boden oder Wände des Tiegels, was sofort zu einem Bruch führt. Unsere Empfehlung ist, den Tiegel zwischen 2/3 und 3/4 zu füllen, um diese Schwierigkeiten zu verhindern.

Die Tiegeleinsätze sollten an einem kühlen, trockenen Ort gelagert und immer mit Handschuhen oder Pinzetten gehandhabt werden.

Palladium kann auch direkt aus der Tasche der Elektronenkanone heraus betrieben werden. Aus diesem Grund bevorzugen einige Kunden einen passend geschmolzenen Block (oder Starterquelle), der direkt in die Tasche eingesetzt wird. Die beiden Hauptvorteile des Einsatzes einer Starterquelle sind die einfache Handhabung und hohe Packungsdichte. Da der Verzicht auf einen Tiegeleinsatz nicht immer eine Option ist, insbesondere bei gemeinsam genutzten Systemen, verwenden einige Kunden Tiegeleinsätze aus Kupfer, anstatt das Material direkt im Pocket zu betreiben.

KJLC^® kann diese Starterquellen herstellen. Contact us by clicking here with your e-gun manufacturer, pocket size, and number of pockets in order for us to produce a quote.