Wolfram (W) Pellets und Stücke Aufdampfmaterialien

Tungsten (W) Pellets & Pieces Overview

Wir verkaufen Pellets und Stückchen für die Verdampfung in Depositionsprozessen nach Stückgewicht. Die ungefähren Werkstoffpreise werden bereitgestellt, um Presiabschätzungen im Rahmen von Budgetplanungen zu ermöglichen. Actual prices can vary and may be higher or lower, as determined by availability and market fluctuations. To speak to someone directly about current pricing, please click here .

Tungsten (W) General Information

Wolfram ist eines der dichtesten Elemente der Welt. Es hat eine Dichte von 19,3 g/cm³, einen Schmelzpunkt von 3.410 °C und einen Dampfdruck von 10^-4 Torr bei 2.757 °C. Es ist glänzend und grau-weiß. Es ist bekannt, dass es den höchsten Schmelzpunkt aller Metalle hat und seine charakteristische Härte kann es sehr schwierig machen, es in reiner Form zu bearbeiten und zu schmieden. Wolfram wird üblicherweise zur Herstellung von elektrischen Filamenten verwendet. Wolframkarbid findet man in Bohrern, Sägen und Schmuck. Wolfram wird unter Vakuum für die Herstellung von Halbleitern, Brennstoffzellen und Sensoren verdampft.

Tungsten (W) Specifications

**** Suggestion based on previous experience but could vary by process. Contact local KJLC Sales Manager for further information

Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

• Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
• Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
• Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
• Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
• Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
• Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
• Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Thermisches Verdampfen von Wolfram (W)

Wolfram lässt sich aufgrund der notwendigen hohen Temperatur zum Verdampfen des Materials kaum durch thermische Verdampfung abscheiden. Elektronenstrahlverdampfung oder Magnetron-Sputtern sind die empfohlenen Methoden für die Wolframdeposition.

Elektronenstrahlverdampfung von Wolfram (W)

Die Elektronenstrahlverdampfung von Wolfram ist möglich, erfordert aber aufgrund des hohen Leistungsbedarfs einen anderen Ansatz. We recommend using a tungsten rod in a FABMATE® crucible liner. Der Durchmesser des Stabs ist der kleinste Innendurchmesser des Tiegeleinsatzes. Der Stab ist nur in Kontakt mit dem Boden des Liners, was die Wärmeableitung in die Tasche der Elektronenkanone begrenzt. Ein fester, fokussierter Strahl sollte direkt in der Mitte des Wolframstabes verwendet und zentriert werden. Bei einer Ausgangsleistung von 5 kW erwarten wir, dass die Rate bei etwa 5-10 Angström pro Sekunde ihren Höhepunkt erreicht und schnell abfällt, wenn der Elektronenstrahl in den Stab gräbt.

Der Elektronenstrahl sollte während der Verdampfung genau überwacht werden (durch eine abgedunkelte 9 Schweißerbrille), da sich der Hochleistungs-Elektronenstrahl schnell durch den Tiegeleinsatz und die Kupfertasche der Elektronenkanone fressen kann. Der Elektronenstrahl sollte so gesteuert werden, dass er immer auf das Material fokussiert ist. Der Prozess sollte gestoppt werden, wenn Elektronenstrahl oder Material nicht gut zusammen funktionieren. Während des gesamten Verdampfungszyklus ist große Vorsicht geboten.

Wolfram kann auch direkt aus der Kupfertasche der Elektronenkanone heraus verdampft werden. Aus diesem Grund bevorzugen einige Kunden einen passend geschmolzenen Block (oder Starterquelle), der direkt in die Tasche eingesetzt wird. Die beiden Hauptvorteile des Einsatzes einer Starterquelle sind die einfache Handhabung und hohe Packungsdichte.

Da es nicht immer möglich ist, keinen Tiegeleinsatz zu verwenden, insbesondere bei gemeinsam genutzten Systemen, benutzen einige Kunden einen Kupfertiegeleinsatz, anstatt das Material direkt in the Tasche der Elektronenkanone zu geben. Die Tiegeleinsätze sollten an einem kühlen, trockenen Ort gelagert und immer mit Handschuhen oder Pinzetten gehandhabt werden.

KJLC kann diese Stäbe oder Starterquellen herstellen. Contact us by clicking here with your e-gun manufacturer, pocket size, and number of hearth pockets in order for us to produce a quote.