Yttriumoxid (Y₂O₃) Stücke Aufdampfmaterialien

Yttrium Oxide (Y₂O₃) Pieces Overview

Wir verkaufen Pellets und Stückchen für die Verdampfung in Depositionsprozessen nach Stückgewicht. Die ungefähren Werkstoffpreise werden bereitgestellt, um Presiabschätzungen im Rahmen von Budgetplanungen zu ermöglichen. Actual prices can vary and may be higher or lower, as determined by availability and market fluctuations. To speak to someone directly about current pricing, please click here .

Yttrium Oxide (Y₂O₃) General Information

Yttriumoxid ist eine chemische Verbindung mit der chemischen Formel Y₂O₃. Es ist weiß mit einem Schmelzpunkt von 2.410 °C, einer Dichte von 5,01 g/cc und einem Dampfdruck von 10^-4 Torr bei ~2.000 °C. Es gilt als die wichtigste Yttriumverbindung. Yttriumoxid wird zur Herstellung von Leuchtstoffen verwendet, die die Farbe Rot in Fernsehern liefern. Yttrium-Eisen-Granate sind ein wichtiges Element von Mikrowellenfiltern. Es wird unter Vakuum für die Herstellung von Halbleitern und passiven Bauelementen verdampft.

Yttrium Oxide (Y₂O₃) Specifications

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Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

• Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
• Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
• Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
• Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
• Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
• Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
• Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Thermische Verdampfung von Yttriumoxid (Y₂O₃)

Für die Deposition von Yttriumoxidschichten wird die thermische Verdampfung nicht empfohlen. Die Temperaturen, die erforderlich sind, um eine angemessene Depositionsrate zu erreichen, werden wahrscheinlich die der meisten Vakuumkammern übersteigen. Die Elektronenstrahlverdampfung ist die empfohlene Methode zur Deposition von Yttriumoxidschichten.

Wenn thermisches Verdampfen die einzige Option darstellt, würden wir ein Wolframmuldenschiffchen wie unser EVS20A015W empfehlen. Der Druck sollte überwacht werden, um sicherzustellen, dass die Ausgasung auf einem akzeptablen Niveau ist, bevor die Leistung erhöht wird. Bei einer Verdampfungstemperatur von ~2.400 °C, gehen wir von einer Depositionsrate von 1-2 Angström pro Sekunde aus. Es wird ein Partialdruck von O₂ bei 5-8 X 10^-5 Torr empfohlen. Die Verdampfungstemperaturen übersteigen wahrscheinlich die Temperaturen, die durch Widerstandsheizung zu verdampfen sind.

Elektronenstrahlverdampfung von Yttriumoxid (Y₂O₃)

Die Elektronenstrahlverdampfung ist die bevorzugte Methode zur Deposition von Yttriumoxidschichten. Yttrium oxide can be e-beam evaporated from a graphite, FABMATE®, or tungsten crucible liner.

Wir empfehlen, den Elektronenstrahl mit geringer Leistung zu rastern (sweep), um die Entstehung von Löchern zu vermeiden. Der Druck sollte überwacht werden, um sicherzustellen, dass die Ausgasung auf einem akzeptablen Niveau ist, bevor die Leistung erhöht wird. Bei einer Verdampfungstemperatur von ~2.400 °C, gehen wir von einer Depositionsrate von 1-2 Angström pro Sekunde aus. Es wird ein Partialdruck von O₂ bei 5-8 X 10^-5 Torr empfohlen. Unter diesen Parametern erwarten wir typischerweise amorphe Filme mit guter Haftung.

Ein weiterer wichtiger Prozesshinweis ist die Berücksichtigung des Füllvolumens beim Elektronenstrahlverdampfen, da wir feststellen, dass das Schmelzniveau eines Materials im Tiegel direkt den Erfolg des Tiegeleinsatzes beeinflusst. Ein Überfüllen des Tiegels führt dazu, dass der Werkstoff überläuft und einen elektrischen Kurzschluss zwischen Liner und Heizer erzeugt. Das Resultat ist die Entstehung von Rissen im Tiegel. Dies ist die häufigste Ursache für den Ausfall von Tiegeleinsätzen. Den Tiegeleinsatz zu wenig zu befüllen oder zu viel zu verdampfen bevor wieder nachgefüllt wird, kann für den Prozess ebenso nachteilig sein. Wenn der Schmelzpegel unter 30 % fällt, trifft der Elektronenstrahl mit hoher Wahrscheinlichkeit Boden oder Wände des Tiegels, was sofort zu einem Bruch führt. Unsere Empfehlung ist, den Tiegel zwischen 2/3 und 3/4 zu füllen, um diese Schwierigkeiten zu verhindern.

Die Tiegeleinsätze sollten an einem kühlen, trockenen Ort gelagert und immer mit Handschuhen oder Pinzetten gehandhabt werden.