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Aluminiumnitrid (AlN) Sputtertargets

Aluminum Nitride (AlN) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. Kontaktieren Sie international@lesker.com für aktuelle Preise oder für ein Angebot über Sputtertargets und andere nicht aufgeführte Depositionsprodukte.

Aluminum Nitride (AlN) Specifications

WerkstofftypAluminumnitrid
SymbolAlN
Farbe und AussehenWeißblau, kristalliner Feststoff
Schmelzpunkt (°C)>2.200
Theoretische Dichte (g/cm³)3,26
Z-Verhältnis**1,00
SputterRF-R
Max. Leistungsdichte*
(Watt/Quadratzoll)
20*
Art des BondingElastomer
BemerkungenZerfällt. Reaktive Verdampfung in 10-3 T N2 mit Glimmentladung.

* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.

** Das Z-Verhältnis ist unbekannt. Daher empfehlen wir die Verwendung von 1,00 oder einen experimentell bestimmten Wert. Bitte klicken Sie hier, um Anweisungen zum Bestimmen dieses Werts zu erhalten.

Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Werkstoffhinweise

HINWEIS:

  • Für diese Materialien wird ein „Elastomer-Bonding“ empfohlen. Viele Materialien haben Eigenschaften, die für Sputtern nicht geeignet sind, wie z. B. Sprödigkeit und geringe Wärmeleitfähigkeit. Um mehr Informationen zu erhalten, klicken Sie bitte hier.
  • Dieses Material kann spezielle Verfahren zum Hochfahren und Runterfahren erfordern. Dieser Vorgang kann bei anderen Materialien entfallen. Targets mit geringer Wärmeleitfähigkeit sind anfällig für Temperaturschocks. Bitte klicken Sie hier, für nähere Informationen zum Rampenverfahrenn für die Konditionierung keramischer Targets.

SDS
Klicken Sie hier für Aluminumnitrid SDS.
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FAQ zu den Depositionsmaterialien
Klicken Sie hier für Antworten auf einige der häufigsten Fragen, die uns gestellt werden.
Kontakt
Um direkt mit jemandem zu sprechen, rufen Sie bitte +1 412 387 9200 oder senden Sie eine E-Mail an international@lesker.com.
Process Equipment Expertise
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By staying on the leading edge of engineering and technology, we offer our customers the advantage of unparalleled knowledge and expertise in the manufacturing of TORUS® Magnetron Sputtering Cathodes and Thin Film Deposition Vacuum Systems.

Bestelltabelle

Werkstoff Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb
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Werkstoff Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb
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Aluminumnitrid 1,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,8 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALNX281A2 Auf Anfrage Call for Availability
Aluminumnitrid 1,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,8 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALNX281A4 Auf Anfrage Call for Availability
Aluminumnitrid 2,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,8 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALNX282A2 $603,00 Auf Lager
Aluminumnitrid 2,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,8 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALNX282A4 $757,00 Call for Availability
Aluminumnitrid 3,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,8 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALNX283A2 $712,00 Call for Availability
Aluminumnitrid 3,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,8 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALNX283A4 $944,00 Call for Availability
Aluminumnitrid 4,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,8 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALNX284A2 Auf Anfrage Call for Availability
Aluminumnitrid 4,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,8 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALNX284A4 Auf Anfrage Call for Availability

 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.

Bestelltabelle für gebondete Baugruppen

Werkstoff Target-
Größe
Reinheit Art des Bonding Rückplatte
Größe
Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Artikelnr. Preis Auf Lager Zum Warenkorb
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Werkstoff Target-
Größe
Reinheit Art des Bonding Rückplatte
Größe
Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Artikelnr. Preis Auf Lager Zum Warenkorb
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Aluminumnitrid 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,8 % Elastomer 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUALNX281A4 Auf Anfrage Call for Availability
Aluminumnitrid 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,8 % Elastomer 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUALNX282A4 Auf Anfrage Call for Availability
Aluminumnitrid 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,8 % Elastomer 2,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Standard TORUS 2 - EJUALNX282T4 Auf Anfrage Call for Availability
Aluminumnitrid 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,8 % Elastomer 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 2 2 EJUALNX282TK4 Auf Anfrage Call for Availability
Aluminumnitrid 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,8 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUALNX283A4 Auf Anfrage Call for Availability
Aluminumnitrid 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,8 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke US-Pistolen - EJUALNX283K4 Auf Anfrage Call for Availability
Aluminumnitrid 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,8 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 3 2 EJUALNX283TK4 Auf Anfrage Call for Availability
Aluminumnitrid 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,8 % Elastomer 4,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Standard TORUS 4 - EJUALNX284T4 Auf Anfrage Call for Availability

 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
2.
Gebundene Baugruppen zur Verwendung in TORUS Mag Keeper Pistolen erfordern Elastomer-Verbindungen.
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