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Aluminumoxid (Al2O3) Sputtertargets

Aluminum Oxide (Al2O3) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here .

Aluminum Oxide (Al2O3) General Information

Aluminiumoxid ist eine chemische Verbindung mit der chemischen Formel Al2O3. Es ist im Allgemeinen weiß oder klar mit einem Schmelzpunkt von 2.072 °C, einem Dampfdruck von 10-4 Torr bei 1.550 °C und einer Dichte von 3,97 g/cm³. Es wird am häufigsten in der Natur als Mineral Korund gefunden, aus dem sich Rubin und Saphir ableiten. Aluminiumoxid wird weithin als Schleifmittel verwendet und auch in verschiedenen anderen industriellen Anwendungen. Es kann auch in Farben, Kosmetika und chirurgischen Implantaten vorgefunden werden. Es wird unter Vakuum verdampft, um dielektrische Schichten für die Halbleiterindustrie zu erzeugen und spiegelähnliche Schutzschichten für optische Beschichtungen.

Aluminum Oxide (Al2O3) Specifications

WerkstofftypAluminiumoxid
SymbolAl2O3
Farbe und AussehenWeißer, kristalliner Feststoff
Schmelzpunkt (°C)2.072
Theoretische Dichte (g/cm³)3,97
Z-Verhältnis0,336
SputterRF-R
Max. Leistungsdichte*
(Watt/Quadratzoll)
20*
Art des BondingIndium, Elastomer
BemerkungenSaphir ist ausgezeichnet für das Elektronenstrahlverdampfen; es bildet glatte, harte Schichten. Das thermische Verdampfen ist kaum möglich.

* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.


Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Hinweise:
  • Für diese Materialien wird ein Bonding empfohlen. Viele Materialien haben Eigenschaften, die für Sputtern nicht geeignet sind, wie z. B. Sprödigkeit und geringe Wärmeleitfähigkeit. Um mehr Informationen zu erhalten, klicken Sie bitte hier.
  • Dieses Material kann spezielle Verfahren zum Hochfahren und Runterfahren erfordern. Dieser Vorgang kann bei anderen Materialien entfallen. Targets mit geringer Wärmeleitfähigkeit sind anfällig für Temperaturschocks. Bitte klicken Sie hier, für nähere Informationen zum Rampenverfahrenn für die Konditionierung keramischer Targets.

SDS
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FAQ zu den Depositionsmaterialien
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Process Equipment Expertise
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By staying on the leading edge of engineering and technology, we offer our customers the advantage of unparalleled knowledge and expertise in the manufacturing of TORUS® Magnetron Sputtering Cathodes and Thin Film Deposition Vacuum Systems.

Bestelltabelle

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Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,99 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALOX401A2 $383,00 Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,999 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALOX501A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,99 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALOX401A4 $408,00 Auf Lager
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,999 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALOX501A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,99 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/- 0,010" ALLE 2,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALOX402A2 $424,00 Auf Lager
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,999 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALOX502A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,99 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/- 0,010" ALLE 2,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALOX402A4 $459,00 Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,999 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALOX502A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,99 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/- 0,010" ALLE 3,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALOX403A2 $541,00 Auf Lager
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,999 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALOX503A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,99 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/- 0,010" ALLE 3,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALOX403A4 $674,00 Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,999 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALOX503A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,99 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/- 0,010" ALLE 4,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALOX404A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,999 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALOX504A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,99 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/- 0,010" ALLE 4,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALOX404A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,999 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALOX504A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,99 % REIN, 6,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/- 0,010" ALLE 6,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALOX406A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,999 % REIN, 6,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 6,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALOX506A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,5 % REIN, 6,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 6,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,5 % die meisten Standardkanonen 1 Begrenzte Verfügbarkeit und besonders günstig. EJTALOX256A4 Auf Anfrage Auf Lager
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,99 % REIN, 6,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/- 0,010" ALLE, PRO ZEICHNUNG 6,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALOX406A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,999 % REIN, 6,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 6,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALOX506A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,5 % REIN, 8,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 8,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,5 % die meisten Standardkanonen 1 Begrenzte Verfügbarkeit und besonders günstig. EJTALOX258A2 Auf Anfrage Auf Lager
Aluminiumoxid Aluminiumoxid-Zirkular-Sputtertarget (8,0") Durchmesser x 0,125" Dicke, 99,99 % rein) 8,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALOX408A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,5 % REIN, 8,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 8,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,5 % die meisten Standardkanonen 1 Begrenzte Verfügbarkeit und besonders günstig. EJTALOX258A4 Auf Anfrage Auf Lager
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,99 % REIN, 8,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,015" ALLE 8,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALOX408A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,999 % REIN, 8,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 8,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALOX508A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
Begrenzte Verfügbarkeit und besonders günstig.

Bestelltabelle für gebondete Baugruppen

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Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,99 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/- 0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Indium 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUALOX402A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,99 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/- 0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,092" DICKE, +/-0,010" DM, +0/-0,010" DICK, FÜR TORUS 2 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Indium 2,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Standard TORUS 2 EJUALOX402T4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,99 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/- 0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT SCHLÜSSEL, FÜR TORUS MAG KEEPER 2 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Elastomer 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 2 2 EJUALOX402TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,99 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Indium 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUALOX403A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,99 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/- 0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT SCHLÜSSEL, 6-32 SCHRAUBE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke US-Pistolen EJUALOX403K4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,99 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,092" DICKE, +/-0,010" DM, +0/-0,010" DICK, FÜR TORUS 3 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Indium 3,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Standard TORUS 3 EJUALOX403T4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,99 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/- 0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR 3" TORUS MAG KEEPER 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 3 2 EJUALOX403TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,99 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/- 0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Indium 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUALOX404A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,999 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % Indium 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUALOX502A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,999 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,092" DICKE, +/-0,010" DM, +0/-0,010" DICK, FÜR TORUS 2 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % Indium 2,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Standard TORUS 2 EJUALOX502T4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,999 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR TORUS MAG KEEPER 2, PRO ZEICHNUNG 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % Elastomer 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 2 2 EJUALOX502TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,999 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % Indium 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUALOX503A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,999 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUALOX503E4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,999 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE ELASTOMERE SIND MIT DER KUPFERTRÄGERPLATTE VERBUNDEN., OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR 3" TORUS MAG KEEPER 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 3 2 EJUALOX503TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminiumoxid ALUMINIUMOXID-TARGET, Al2O3, 99,999 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 4,00" DURCHMESSER X 0,100" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT SCHLÜSSEL, 8-32 SCHRAUBE 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % Elastomer 4,00" Durchmesser x 0,100" Dicke US-Pistolen EJUALOX504K4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
2.
Gebundene Baugruppen zur Verwendung in TORUS Mag Keeper Pistolen erfordern Elastomer-Verbindungen.
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