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Aluminum Scandium AlSc Sputtering Targets Aluminum Scandium AlSc Sputtering Targets 1

Aluminum Scandium (AlSc) Sputtering Targets

Aluminum Scandium (AlSc) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here. Aluminum Scandium (Al(x)Sc(1-x)) is available in a variety of sizes, from R&D to 13,1", as targets and as bonded assemblies.

As we move to the new 5G/6G era, in addition to bandwidth and data rate, another critical parameter is signal integrity, which requires a high Q value. The Q value is related to the piezo-electric properties of the thin film materials used in the application. Currently AlSc alloys are used, at various Sc levels, with higher Sc content leading to higher piezo-electric characteristics. KJLC® is pleased to offer AlSc targets with the Sc content as high as 43% atomic.


Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

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FAQ zu den Depositionsmaterialien
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Process Equipment Expertise
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Werkstoff Komposition Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
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Aluminum Scandium 70/30 WT % ALUMINUM/SCANDIUM TARGET, Al/Sc 70/30 WT%, 99,99 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,25" DICKE, +/-0,010" ALLE, HEIß GEPRESST, BEST EFFORTS ON APPEARANCE. 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALSCSPL06 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminum Scandium 70/30 AT % ALUMINUM/SCANDIUM TARGET, Al/Sc 70/30 AT%, 99,99 % REIN, 3,00" DIAMETER X 3 MM THICK, +/-0,010" ALLE, HEIß GEPRESST, BESTE MAßNAHMEN FÜR DAS ERSCHEINUNGSBILD GETROFFEN 3,00" Dia x 3 mm Thick 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALSCSPL11 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminum Scandium 60/40 WT % ALUMINUM/SCANDIUM TARGET, Al/Sc 60/40 WT %, 99,99 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, BESTE MAßNAHMEN FÜR DAS ERSCHEINUNGSBILD GETROFFEN 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALSC404A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminum Scandium 55/45 WT % ALUMINUM/SCANDIUM TARGET, Al/Sc, 55/45 Gewichtsprozent, 99,99 % REIN, 6,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 6,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTALSCSPL03 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Aluminum Scandium 60/40 AT % ALUMINUM/SCANDIUM TARGET, Al/Sc 60/40 AT%, 99,95 % REIN, 332 MM DURCHMESSER X 7 MM DICKE, PRO ZEICHNUNG 13,1" Durchmesser x 0,276" Dicke 99,95 % EJTALSCSPL10 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.

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