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Calcium (Ca) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here .

Calcium (Ca) General Information

Calcium im Periodensystem als Erdalkalimetall klassifiziert. Es ist silbrig-weiß und weich genug, dass es mit einem scharfen Messer geschnitten werden kann. Es oxidiert leicht, wenn es der Atmosphäre ausgesetzt wird. Calcium hat eine Dichte von 1,54 g/cm³, ein Schmelzpunkt von 839 °C und einen Dampfdruck von 10-4 Torr bei 459 °C. Calcium ist ein essentieller Baustein für das menschliche Leben, da es im menschlichen Skelett und Zähnen reichlich vorhanden ist. Calcium und seine Verbindungen werden auch verwendet, um kommerziellen Beton und Zement herzustellen. Calcium wird zusammen mit seinen Legierungen und Verbindungen unter Vakuum verdampft, um optische Speichermedien, Supraleiter und Antireflexschichten herzustellen.

Calcium (Ca) Specifications

WerkstofftypCalcium
SymbolCa
Atomares Gewicht40,078
Ordnungszahl20
Farbe und AussehenSilbrig weiß, metallisch
Wärmeleitfähigkeit200 W/m.K
Schmelzpunkt (°C)839
Wärmeausdehnungskoeffizient22,3 x 10-6/K
Theoretische Dichte (g/cm³)1,54
Z-Verhältnis2,62
SputterRF, DC
Max. Leistungsdichte*
(Watt/Quadratzoll)
20*
UN-Nummer 1401
BemerkungenKorrodiert an Luft.

* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.


Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Hinweise:
  • Bei diesem Material ist kein Bonding Service möglich.
  • Aufgrund der hohen Reaktivität dieser Materialien ist eine Einlagerung in Öl erforderlich, die das Risiko von Oxidation oder anderen Reaktionen verringert. Klicken Sie bitte hier, um den empfohlenen Reinigungsvorgang zu lesen.
  • This material has a relatively high vapor pressure at low temperatures which can cause ppm level contamination in the chamber and subsequent films. Careful consideration should be taken before this material is used in any deposition system. For this reason, some users prefer to use only dedicated vacuum chambers for deposition.

Hazard Notes:
  • Hazardous Materials: Es können Gebühren für das Versenden von Gefahrengut anfallen.
SDS
Click here for the Calcium SDS.
Kostenvoranschlag erhalten
Sie können die Größe oder den Werkstoff, die/den Sie brauchen, nicht finden? Bitte nutzen Sie unser Werkstoffangebotsformular, um eine Bestellung aufzugeben.
FAQ zu den Depositionsmaterialien
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Kontakt
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Process Equipment Expertise
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Bestelltabelle

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Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
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Calcium KALZIUM TARGET, Ca, 99,5 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, IN MINERALÖL VERPACKT, KANN KEINE VERKLEBUNG ANBIETEN, GEFAHRGUTTRANSPORT 1,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,5 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCAXX251A2 Auf Anfrage Auf Lager
Calcium KALZIUM TARGET, Ca, 99,5 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, IN MINERALÖL VERPACKT, KANN KEINE VERKLEBUNG ANBIETEN, GEFAHRGUTTRANSPORT 1,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,5 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCAXX251A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Calcium KALZIUM TARGET, Ca, 99 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, IN MINERALÖL VERPACKT, KANN KEINE VERKLEBUNG ANBIETEN, GEFAHRGUTTRANSPORT 2,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCAXX202A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Calcium KALZIUM TARGET, Ca, 99,5 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, IN MINERALÖL VERPACKT, KANN KEINE VERKLEBUNG ANBIETEN, GEFAHRGUTTRANSPORT 2,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,5 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCAXX252A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Calcium KALZIUM TARGET, Ca, 99,5 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, IN MINERALÖL VERPACKT, KANN KEINE VERKLEBUNG ANBIETEN, GEFAHRGUTTRANSPORT 2,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,5 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCAXX252A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Calcium KALZIUM TARGET, Ca, 99 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, IN MINERALÖL VERPACKT, KANN KEINE VERKLEBUNG ANBIETEN, GEFAHRGUTTRANSPORT 3,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCAXX203A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Calcium KALZIUM TARGET, Ca, 99 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, IN MINERALÖL VERPACKT, KANN KEINE VERKLEBUNG ANBIETEN, GEFAHRGUTTRANSPORT 3,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCAXX203A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Calcium KALZIUM TARGET, Ca, 99,5 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, IN MINERALÖL VERPACKT, KANN KEINE VERKLEBUNG ANBIETEN, GEFAHRGUTTRANSPORT 4,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,5 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCAXX254A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Calcium KALZIUM TARGET, Ca, 99,5 % REIN, 60 MM DURCHMESSER X 3 MM DICKE, +/-0.25 MM ALLE, IN MINERALÖL VERPACKT, KANN KEINE VERKLEBUNG ANBIETEN, GEFAHRGUTTRANSPORT 60 mm Durchmesser x 3 mm Dicke 99,5 % EJTCAXXSPL01 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.

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