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Kohlenstoff (Graphit) (C) Sputtertargets

Carbon (Graphite) (C) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here .

Carbon (Graphite) (C) General Information

Standard carbon graphite targets can be very difficult to sputter. Carbon has one of the lowest sputter yields of all elements which is attributed to its Sp2 microstructure as well as its anisotropic electrical characteristics. Due to open spaces in Carbon's structural lattice, sputter rates are low and the process is very time-consuming. Standard carbon graphite targets are typically produced by hot-pressing. These targets are generally highly porous and contain randomly oriented grains which results in different localized effects, contributing to the low sputter yield.

On the other hand, Pyrolytic Graphite sputtering targets are much more directional and may have the ability to sputter at higher rates. Pyrolytic Graphite targets are made by chemical vapor deposition (CVD) and are grown atom-by-atom. The resulting material has better thermal, electrical and chemical properties. Due to the nature of the deposition process by CVD, Pyrolytic Graphite material approaches the theoretical density and is essentially non-porous so outgassing occurs quickly.

Carbon (Graphite) (C) Specifications

WerkstofftypKohlenstoff
SymbolC
Atomares Gewicht12,0107
Ordnungszahl6
Farbe und AussehenSchwarz, nicht-metallisch
Wärmeleitfähigkeit140 W/m.K
Schmelzpunkt (°C)~3.652
Wärmeausdehnungskoeffizient7,1 x 10-6/K
Theoretische Dichte (g/cm³)2,25
Z-Verhältnis3,26
SputterPDC
Max. Leistungsdichte*
(Watt/Quadratzoll)
80*
Art des BondingIndium, Elastomer
BemerkungenElektronenstrahl bevorzugt. Lichtbogenverdampfung. Schlechte Filmhaftung.

* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.


Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Hinweise:
  • Für diese Materialien wird ein Bonding empfohlen. Viele Materialien haben Eigenschaften, die für Sputtern nicht geeignet sind, wie z. B. Sprödigkeit und geringe Wärmeleitfähigkeit. Um mehr Informationen zu erhalten, klicken Sie bitte hier.
  • Dieses Material kann spezielle Verfahren zum Hochfahren und Runterfahren erfordern. Dieser Vorgang kann bei anderen Materialien entfallen. Targets mit geringer Wärmeleitfähigkeit sind anfällig für Temperaturschocks. Bitte klicken Sie hier, für nähere Informationen zum Rampenverfahrenn für die Konditionierung keramischer Targets.

SDS
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FAQ zu den Depositionsmaterialien
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Process Equipment Expertise
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By staying on the leading edge of engineering and technology, we offer our customers the advantage of unparalleled knowledge and expertise in the manufacturing of TORUS® Magnetron Sputtering Cathodes and Thin Film Deposition Vacuum Systems.

Bestelltabelle

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Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Kohlenstoff (Graphit) KOHLENSTOFF-GRAPHIT-TARGET, C, 99,999 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCXXX501A2 $72,00 Auf Lager
Kohlenstoff (Graphit) KOHLENSTOFF-GRAPHIT-TARGET, C, 99,999 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCXXX501A4 $100,00 Contact KJLC for Availability
Kohlenstoff (Graphit) KOHLENSTOFF-GRAPHIT-TARGET, C, 99,999 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCXXX502A2 $79,00 Auf Lager
Kohlenstoff (Graphit) KOHLENSTOFF-GRAPHIT-TARGET, C, 99,999 % REIN, 2,00"DURCHMESSER X 0,250"DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCXXX502A4 $143,00 Auf Lager
Kohlenstoff (Graphit) KOHLENSTOFF-GRAPHIT-TARGET, C, 99,999 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCXXX503A2 $150,00 Auf Lager
Kohlenstoff (Graphit) KOHLENSTOFF-GRAPHIT-TARGET, C, 99,999 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCXXX503A4 $212,00 Auf Lager
Kohlenstoff (Graphit) KOHLENSTOFF-GRAPHIT-TARGET, C, 99,999 % REIN, 4,00"DURCHMESSER X 0,125"DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCXXX504A2 $215,00 Contact KJLC for Availability
Kohlenstoff (Graphit) KOHLENSTOFF-GRAPHIT-TARGET, C, 99,999 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,250"DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCXXX504A4 $223,00 Contact KJLC for Availability
Kohlenstoff (Graphit) KOHLENSTOFF-GRAPHIT-TARGET, C 99,999 % PURE, 54 MM DIAMETER X 1 MM THICK +/-0.25 MM ALL 54 mm Durchmesser x 1 mm Dicke 99,999 % EJTCXXXSPL16 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kohlenstoff (Graphit) CARBON TARGET, C, 99,999 % REIN, 57 MM DURCHMESSER X 0.5 MM DICKE, +/-0,004" ALLE 57 mm Dia. x 0,5 mm Thick 99,999 % KJL81080 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kohlenstoff (Graphit) KOHLENSTOFF-GRAPHIT-TARGET, C 99,999 % PURE, 57 MM DIA X 2 MM THICK +/-0.25 MM ALL 57 mm Durchmesser x 2 mm Dicke 99,999 % KJL81067 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kohlenstoff (Graphit) KOHLENSTOFF-GRAPHIT-TARGET, C, 99,999 % REIN, 6,00" DURCHMESSER X 0,125"DICKE, +/-0,010" ALLE 6,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCXXX506A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kohlenstoff (Graphit) KOHLENSTOFF-GRAPHIT-TARGET, C, 99,999 % REIN, 6,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 6,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCXXX506A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kohlenstoff (Graphit) KOHLENSTOFF-GRAPHIT-TARGET, C, 99,999 % REIN, 8,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 8,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 Begrenzte Verfügbarkeit und besonders günstig. EJTCXXX508A4 Auf Anfrage Auf Lager
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
Begrenzte Verfügbarkeit und besonders günstig.

Bestelltabelle für gebondete Baugruppen

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Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Kohlenstoff KOHLENSTOFF-GRAPHIT-TARGET, C, 99,999 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % Indium 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUCXXX501A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kohlenstoff KOHLENSTOFF-GRAPHIT-TARGET, C, 99,999 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % Indium 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUCXXX502A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kohlenstoff KOHLENSTOFF-GRAPHIT-TARGET, C, 99,999 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR TORUS MAG KEEPER 2, PRO ZEICHNUNG 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % Elastomer 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 2 2 EJUCXXX502TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kohlenstoff KOHLENSTOFF-GRAPHIT-TARGET, C, 99,999 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % Indium 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUCXXX503A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kohlenstoff KOHLENSTOFF-GRAPHIT-TARGET, C, 99,999 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR 3" US MAK PISTOLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke US-Pistolen EJUCXXX503K4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kohlenstoff KOHLENSTOFF-GRAPHIT-TARGET, C, 99,999 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,092" DICKE, +/-0,010" DM, +0/-0,010" DICK 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % Indium 3,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Standard TORUS 3 EJUCXXX503T4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kohlenstoff KOHLENSTOFF-GRAPHIT-TARGET, C, 99,999 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR 3" TORUS MAG KEEPER 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 3 2 EJUCXXX503TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kohlenstoff KOHLENSTOFF-GRAPHIT-TARGET, C, 99,999 % REIN, 4,00"DURCHMESSER X 0,125"DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 4,00" DURCHMESSER X 0,092" DICKE, +/-0,010" DM, +0/-0,010" DICK, FÜR TORUS 4 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % Indium 4,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Standard TORUS 4 EJUCXXX504T4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kohlenstoff KOHLENSTOFF-GRAPHIT-TARGET, C, 99,999 % REIN, 4,00"DURCHMESSER X 0,125"DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR 4" TORUS MAG KEEPER 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % Elastomer 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 4 2 EJUCXXX504TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
2.
Gebundene Baugruppen zur Verwendung in TORUS Mag Keeper Pistolen erfordern Elastomer-Verbindungen.
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