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Cerium (Ce) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here .

Cerium (Ce) Specifications

WerkstofftypCerium
SymbolCe
Atomares Gewicht140,116
Ordnungszahl58
Farbe und AussehenSilbrig weiß, metallisch
Wärmeleitfähigkeit11 W/m.K
Schmelzpunkt (°C)798
Wärmeausdehnungskoeffizient6,3 x 10-6/K
Theoretische Dichte (g/cm³)~6,70
Z-Verhältnis**1,00
SputterDC, RF
Max. Leistungsdichte*
(Watt/Quadratzoll)
20*
UN-Nummer 1333

* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.

** Das Z-Verhältnis ist unbekannt. Daher empfehlen wir die Verwendung von 1,00 oder einen experimentell bestimmten Wert. Bitte klicken Sie hier, um Anweisungen zum Bestimmen dieses Werts zu erhalten.

Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Hinweise:
  • Bei diesem Material ist kein Bonding Service möglich.
  • Aufgrund der hohen Reaktivität dieser Materialien ist eine Einlagerung in Öl erforderlich, die das Risiko von Oxidation oder anderen Reaktionen verringert. Klicken Sie bitte hier, um den empfohlenen Reinigungsvorgang zu lesen.
  • Dieser Werkstoff ist ein gefährlicher Versandgegenstand. Dieses Produkt muss von der US-Hauptniederlassung auf den vom Kunden bereitgestellten Fed-Ex-Account aufgeben werden.

Hazard Notes:
  • Hazardous Materials: Es können Gebühren für das Versenden von Gefahrengut anfallen.
SDS
Click here for the Cerium SDS.
Kostenvoranschlag erhalten
Sie können die Größe oder den Werkstoff, die/den Sie brauchen, nicht finden? Bitte nutzen Sie unser Werkstoffangebotsformular, um eine Bestellung aufzugeben.
FAQ zu den Depositionsmaterialien
Click here for answers to some of the most common questions we are asked.
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Process Equipment Expertise
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By staying on the leading edge of engineering and technology, we offer our customers the advantage of unparalleled knowledge and expertise in the manufacturing of TORUS® Magnetron Sputtering Cathodes and Thin Film Deposition Vacuum Systems.

Bestelltabelle

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Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
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Cerium Zerium Target, Ce, 99,9 % REIN TREM, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, IN MINERALÖL VERPACKT, KANN KEINE VERKLEBUNG ANBIETEN, GEFAHRGUTTRANSPORT 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCEXX301A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Cerium Zerium Target, Ce, 99,9 % REIN TREM, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, IN MINERALÖL VERPACKT, KANN KEINE VERKLEBUNG ANBIETEN, GEFAHRGUTTRANSPORT 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCEXX301A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Cerium Zerium Target, Ce, 99,9 % REIN TREM, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, IN MINERALÖL VERPACKT, KANN KEINE VERKLEBUNG ANBIETEN, GEFAHRGUTTRANSPORT 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCEXX302A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Cerium Zerium Target, Ce, 99,9 % REIN TREM, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, IN MINERALÖL VERPACKT, KANN KEINE VERKLEBUNG ANBIETEN, GEFAHRGUTTRANSPORT 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCEXX302A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Cerium Zerium Target, Ce, 99,9 % REIN TREM, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, IN MINERALÖL VERPACKT, KANN KEINE VERKLEBUNG ANBIETEN, GEFAHRGUTTRANSPORT, MIT SCHLÜSSEL, FÜR 2" TORUS MAG KEEPER, HALTER SEPARAT VERPACKT 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % TORUS Mag Keeper 2 2 EJTCEXX302TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Cerium Zerium Target, Ce, 99,9 % REIN TREM, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, IN MINERALÖL VERPACKT, KANN KEINE VERKLEBUNG ANBIETEN, GEFAHRGUTTRANSPORT 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCEXX303A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Cerium Zerium Target, Ce, 99,9 % REIN TREM, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, IN MINERALÖL VERPACKT, KANN KEINE VERKLEBUNG ANBIETEN, GEFAHRGUTTRANSPORT 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCEXX303A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Cerium Zerium Target, Ce, 99,9 % REIN TREM, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, IN MINERALÖL VERPACKT, KANN KEINE VERKLEBUNG ANBIETEN, GEFAHRGUTTRANSPORT 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCEXX304A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Cerium Zerium Target, Ce, 99,9 % REIN TREM, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, IN MINERALÖL VERPACKT, KANN KEINE VERKLEBUNG ANBIETEN, GEFAHRGUTTRANSPORT 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCEXX304A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Cerium Zerium Target, Ce, 99,9 % REIN TREM, 6,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, IN MINERALÖL VERPACKT, KANN KEINE VERKLEBUNG ANBIETEN, GEFAHRGUTTRANSPORT 6,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCEXX306A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
2.
Gebundene Baugruppen zur Verwendung in TORUS Mag Keeper Pistolen erfordern Elastomer-Verbindungen.

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