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Cobalt (Co) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here .

Cobalt (Co) General Information

Cobalt ist eines der bekanntesten Metalle der Welt. Es hat eine Dichte von 8,9 g/cm³, einem Schmelzpunkt von 1.495 °C und einen Dampfdruck von 10-4 Torr bei 1.200 °C. Es ist ein glänzendes, hartes Metall, das grau aussieht und charakteristisch ferromagnetisch ist. Eine der beliebtesten Anwendungen für dieses Metall ist die Verwendung als blaues Pigment in Farbe, Schmuck und Glas. Es wird oft mit anderen Metallen legiert, um Motorteile und Schneidwerkzeuge herzustellen. Seine beiden Hauptvakuumanwendungen sind die Verwendung als ferromagnetische Schicht bei der Herstellung magnetischer Speichermedien und als Übergangsschicht bei der Batterieherstellung.

Cobalt (Co) Specifications

WerkstofftypCobalt †
SymbolCo
Atomares Gewicht58,933195
Ordnungszahl27
Farbe und AussehenGlänzend, metallisch, gräulich
Wärmeleitfähigkeit100 W/m.K
Schmelzpunkt (°C)1.495
Wärmeausdehnungskoeffizient13,0 x 10-6/K
Theoretische Dichte (g/cm³)8,9
FerromagnetischMagnetischer Werkstoff
Z-Verhältnis0,343
SputterGleichspannung
Max. Leistungsdichte*
(Watt/Quadratzoll)
80*
BemerkungenLegiert mit W/Ta/Mo.

* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.


Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Hinweis:
  • Ferromagnetische Materialien erfordern eine zusätzliche Berücksichtigung bei der Auswahl der Konfiguration/Dicke. Hochfeste Magnete oder dünnere Targets können erforderlich sein. Ein Bonding dieser Materialien muss zusätzlich bedacht werden, da sich dadurch der Abstand zum Magneten vergrößert. Für weitere Informationen wenden Sie sich bitte an Ihren Magnetron-Sputterkathodenlieferanten oder lesen Sie Ihr Gerätehandbuch. For more information on TORUS sputter source and target sizes, click here.

SDS
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FAQ zu den Depositionsmaterialien
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Process Equipment Expertise
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By staying on the leading edge of engineering and technology, we offer our customers the advantage of unparalleled knowledge and expertise in the manufacturing of TORUS® Magnetron Sputtering Cathodes and Thin Film Deposition Vacuum Systems.

Bestelltabelle

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Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,95 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,0625" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,0" Durchmesser x 0,0625" Dicke 99,95 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXX351A1 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,99 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,0625" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,0" Durchmesser x 0,0625" Dicke 99,99 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXX401A1 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,95 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/- 0,010 ALLE 1,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXX351A2 $91,00 Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,99 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXX401A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,95 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/- 0,010" ALLE 1,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXX351A4 $102,00 Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,95 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,0625" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,0" Durchmesser x 0,0625" Dicke 99,95 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXX352A1 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,99 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,0625" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,0" Durchmesser x 0,0625" Dicke 99,99 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXX402A1 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,95 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +0/-0,010" ALLE 2,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXX352A2 $124,00 Auf Lager
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,99 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXX402A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,95 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXX352A4 $118,00 Auf Lager
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,99 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,99 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXX402A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,95 % REIN, 2,00" DIAMETER X 1 MM THICK, +/-0,010" ALLE 2,0" Dia. x 1 mm Thick 99,95 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXXSPL36 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,99 % REIN, 2,00" DIAMETER X 2 MM THICK, +/- 0,010" ALLE 2,0" Dia. x 2 mm Thick 99,99 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXXSPL19 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,95 % REIN, 2,00" DIAMETER X 2 MM THICK, +/- 0,010" ALLE 2,0" Dia. x 2 mm Thick 99,95 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXXSPL22 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,95 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,0625" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,0" Durchmesser x 0,0625" Dicke 99,95 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXX353A1 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,95 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,080" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,0" Durchmesser x 0,080" Dicke 99,95 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXX3532M Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,99 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,080" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,0" Durchmesser x 0,080" Dicke 99,99 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXXSPL38 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,95 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXX353A2 $144,00 Auf Lager
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,99 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXX403A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,95 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXX353A4 $175,00 Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,99 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,99 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXX403A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,95 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,100" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,0" Durchmesser x 0,100" Dicke 99,95 % TORUS Mag Keeper 4 1 EJTCOXX354A.100 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,95 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXX354A2 $240,00 Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,99 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXX404A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,95 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXX354A4 $245,00 Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,95 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0.5 MM DICKE, +/-0,010" DURCHMESSER, +/-0.125 MM THICKNESS 4,0" Dia. x 0,5 mm Thick 99,95 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXXSPL37 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,95 % REIN, 57 MM DURCHMESSER X 0.1 MM DICKE, +/-0.25 MM DM, +/-0,02.125 MM THICKNESS 57 mm Dia. x 0,1 mm Thick 99,95 % EJTCO57X.1M+ Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,99 % REIN, 57 MM DURCHMESSER X 0.1 MM DICKE, +/-0.25 MM DM, +0.125MM/-0 THICK 57 mm Dia. x 0,1 mm Thick 99,99 % EJTCOXX4057M Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,99 % REIN, 57 MM DURCHMESSER X 0.3 MM DICKE, +/-0.25 MM DM, +0.125MM/-0 DICKE 57 mm Dia. x 0,3 mm Thick 99,99 % KJL81069 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,95 % REIN, 6,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 6,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXX356A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,95 % REIN, 6,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 6,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXX356A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET,Co, 99,95 % REIN 8,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE +/- 0,010" ALLE 8,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXX358A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Kobalt KOBALT TARGET, Co, 99,95 % REIN, 8,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 8,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % Siehe Handbuch für Sputterpistolen EJTCOXX358A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Gebundene Baugruppen zur Verwendung in TORUS Mag Keeper Pistolen erfordern Elastomer-Verbindungen.

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