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Chromium (Cr) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here .

Chromium (Cr) General Information

Chrom ist eines der beliebtesten Metalle weltweit. Chrom ist ein silbriges, glänzendes, hartes und sprödes Metall, das für seine hohe Spiegelpolier- und Korrosionsbeständigkeit bekannt ist. Es hat einen Schmelzpunkt von 1.857 °C, eine Dichte von 7,2 g/cc und einen Dampfdruck von 10-4 Torr bei 1.157 °C. Sein Name kommt vom Griechischen „chroma“, was Farbe bedeutet, weil es sehr farbenfroh ist. Es ist in der Automobilindustrie weit verbreitet, um glänzende Beschichtung auf Rädern und Stoßstangen zu erzeugen. Chrom wird in vielen Vakuumanwendungen wie z. B. in der Automobilglasbeschichtung, der Photovoltaikzellenherstellung, der Batterieherstellung sowie in dekorativen und korrosionsbeständigen Beschichtungen eingesetzt.

Chromium (Cr) Specifications

WerkstofftypChrom
SymbolCr
Atomares Gewicht51,9961
Ordnungszahl24
Farbe und AussehenSilbrig, metallisch
Wärmeleitfähigkeit94 W/m.K
Schmelzpunkt (°C)1.857
Wärmeausdehnungskoeffizient4,9 x 10-6/K
Theoretische Dichte (g/cm³)7,2
Z-Verhältnis0,305
SputterGleichspannung
Max. Leistungsdichte*
(Watt/Quadratzoll)
80*
Art des BondingIndium, Elastomer
BemerkungenSehr haftstarke Schichten. Hohe Raten möglich.

* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.


Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

SDS
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FAQ zu den Depositionsmaterialien
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Process Equipment Expertise
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By staying on the leading edge of engineering and technology, we offer our customers the advantage of unparalleled knowledge and expertise in the manufacturing of TORUS® Magnetron Sputtering Cathodes and Thin Film Deposition Vacuum Systems.

Bestelltabelle

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Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Chrom Chrom Target, Cr, 99,95 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCRXX351A2 $85,00 Auf Lager
Chrom Chrom Target, Cr, 99,95 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCRXX351A4 $92,00 Contact KJLC for Availability
Chrom Chrom Target, Cr, 99,95 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCRXX352A2 $138,00 Auf Lager
Chrom Chrom Target, Cr, 99,95 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCRXX352A4 $189,00 Auf Lager
Chrom Chrom Target, Cr, 99,95 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, D&T 2-56 ZENTRALES LOCH, 0,133" TIEF, +/-0,010" ALLE, MIT SCHLÜSSEL 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % US-Pistolen EJTCRXX352K4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Chrom Chrom Target, Cr, 99,95 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT SCHLÜSSEL, FÜR 2" TORUS MAG KEEPER 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % TORUS Mag Keeper 2 2 EJTCRXX352TK4 Auf Anfrage Auf Lager
Chrom Chrom Target, Cr, 99,95 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCRXX353A2 $199,00 Auf Lager
Chrom Chrom Target, Cr, 99,95 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCRXX353A4 $250,00 Auf Lager
Chrom Chrom Target, Cr, 99,95 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, W/ 6-32 ZENTRALES LOCH, 0,133" TIEF, MIT HALTER UND SCHRAUBE 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % US-Pistolen EJTCRXX353K4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Chrom Chrom Target, Cr, 99,95 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, , MIT SCHLÜSSEL, FÜR 3" TORUS MAG KEEPER 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % TORUS Mag Keeper 3 2 EJTCRXX353TK4 Auf Anfrage Auf Lager
Chrom Chrom Target, Cr, 99,95 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCRXX354A2 $368,00 Contact KJLC for Availability
Chrom Chrom Target, Cr, 99,95 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCRXX354A4 $424,00 Auf Lager
Chrom Chrom Target, Cr, 99,95 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, GEBOHRT UND GEWINDEGEBOHRT FÜR EIN 8-32 ZENTRALES LOCH, 0,133" TIEF, MIT HALTER UND SCHRAUBE 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % US-Pistolen EJTCRXX354K4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Chrom Chrom Target, Cr, 99,95 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT SCHLÜSSEL, FÜR 4" TORUS MAG KEEPER 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % TORUS Mag Keeper 4 2 EJTCRXX354TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Chrom Chrom Target, Cr, 99,95 % REIN, 54 MM DURCHMESSER X 1 MM DICKE, +/-0.25 MM DM, +0.5MM/-0 THICKNESS 54 mm Durchmesser x 1 mm Dicke 99,95 % EJTCRXXSPL59 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Chrom Chrom Target, Cr, 99,95 % REIN, 57 MM DURCHMESSER X 1 MM DICKE, +/-0.25 MM DM, +0.5MM/-0 THICKNESS 57 mm Durchmesser x 1 mm Dicke 99,95 % EJTCRXXSPL24 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Chrom Chrom Target, Cr, 99,95 % REIN, 57 MM DURCHMESSER X 2 MM DICKE, +/-0.25 MM ALLE 57 mm Durchmesser x 2 mm Dicke 99,95 % KJL81063 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Chrom Chrom Target, 99,95 % REIN, 57 MM DIA X 3.175 MM THICK, +/-0,010" ALLE 57 mm Dia. x 3,175 mm Thick 99,95 % KJL81030 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Chrom Chrom Target, Cr, 99,95 % PURE 57 MM DIA X 3.17 MM THICK, +/-0.25 MM ALLE 57 mm Dia. x 3,17 mm Thick 99,95 % KJL81022 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Chrom Chrom Target, Cr, 99,95 % REIN, 57 MM DURCHMESSER X 3.18 MM DICKE, +/-0.25 MM ALLE 57 mm Dia. x 3,18 mm Thick 99,95 % EJTCRXX57MM+ Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Chrom Chrom Target, Cr, 99,95 % REIN, 6,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 6,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCRXX356A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Chrom Chrom Target, Cr, 99,95 % REIN, 6,00" DURCHMESSER X 0,25" DICKE, +/-0,010" ALLE 6,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCRXX356A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Chrom Chrom Target, Cr, 99,95 % REIN, 60 MM DURCHMESSER X 3 MM DICKE, +/-0.25 MM ALLE 60 mm Durchmesser x 3 mm Dicke 99,95 % EJTCRXXSPL21 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Chrom Chrom Target, Cr, 99,95 % REIN, 8,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 8,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCRXX358A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Chrom Chrom Target, Cr, 99,95 % REIN, 8,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/- .010" ALLE 8,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTCRXX358A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
2.
Gebundene Baugruppen zur Verwendung in TORUS Mag Keeper Pistolen erfordern Elastomer-Verbindungen.

Bestelltabelle für gebondete Baugruppen

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Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Chrom Chrom Target, Cr, 99,95 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Indium 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUCRXX353A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability

 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
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