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Hafniumcarbid (HfC) Sputtertargets

Hafnium Carbide (HfC) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here.

Hafnium Carbide (HfC) Specifications

WerkstofftypHafniumcarbid
SymbolHfC
Schmelzpunkt (°C)~3.890
Theoretische Dichte (g/cm³)12,2
Z-Verhältnis**1,00
SputterRF
Art des BondingIndium, Elastomer
Exportkontrolle (ECCN) 1C231

** Das Z-Verhältnis ist unbekannt. Daher empfehlen wir die Verwendung von 1,00 oder einen experimentell bestimmten Wert. Bitte klicken Sie hier, um Anweisungen zum Bestimmen dieses Werts zu erhalten.

Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Hinweise:
  • Für diese Materialien wird ein Bonding empfohlen. Viele Materialien haben Eigenschaften, die für Sputtern nicht geeignet sind, wie z. B. Sprödigkeit und geringe Wärmeleitfähigkeit. Um mehr Informationen zu erhalten, klicken Sie bitte hier.
  • Dieses Material kann spezielle Verfahren zum Hochfahren und Runterfahren erfordern. Dieser Vorgang kann bei anderen Materialien entfallen. Targets mit geringer Wärmeleitfähigkeit sind anfällig für Temperaturschocks. Bitte klicken Sie hier, für nähere Informationen zum Rampenverfahrenn für die Konditionierung keramischer Targets.

Hazard Notes:
  • Export Controlled: Es handelt sich um einen Werkstoff, dessen Export kontrolliert wird. Es können Einschränkungen gelten.
SDS
Click here for the Hafnium Carbide SDS.
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FAQ zu den Depositionsmaterialien
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Bestelltabelle

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Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Hafniumcarbid EUDF Hafniumkarbid Target, HfC, 99,5 % REIN Ex Zr, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,020" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,5 % die meisten Standardkanonen 1 EJTHFCX251A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Hafniumcarbid EUDF Hafniumkarbid Target, HfC, 99,5 % REIN Ex Zr, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,020" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,5 % die meisten Standardkanonen 1 EJTHFCX251A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Hafniumcarbid EUDF Hafniumkarbid Target, HfC, 99,5 % REIN EX Zr, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,020" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,5 % die meisten Standardkanonen 1 EJTHFCX252A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Hafniumcarbid EUDF Hafniumkarbid Target, HfC, 99,5 % REIN EX Zr, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,020" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,5 % die meisten Standardkanonen 1 EJTHFCX252A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Hafniumcarbid EUDF Hafniumkarbid Target, HfC, 99,5 % REIN EX Zr, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,020" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,5 % die meisten Standardkanonen 1 EJTHFCX253A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Hafniumcarbid EUDF Hafniumkarbid Target, HfC, 99,5 % REIN EX Zr, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,020" ALL. 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,5 % die meisten Standardkanonen 1 EJTHFCX253A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Hafniumcarbid Hafniumkarbid-Zirkular-Sputtertarget (4,0" Durchmesser x 0,125" Dicke, 99,5 % rein) 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,5 % die meisten Standardkanonen 1 EJTHFCX254A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Hafniumcarbid Hafniumkarbid-Zirkular-Sputtertarget (4,0" Durchmesser x 0,250" Dicke, 99,5 % rein) 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,5 % die meisten Standardkanonen 1 EJTHFCX254A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Hafniumcarbid Hafniumkarbid-Zirkular-Sputtertarget (6,0" Durchmesser x 0,125" Dicke, 99,5 % rein) 6,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,5 % die meisten Standardkanonen 1 EJTHFCX256A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Hafniumcarbid EUDF Hafniumkarbid Target, HfC, 99,5 % REIN EX Zr, 6,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,020" ALLE, Dichte: 60-70% DER THEORETISCHEN FARBE: DUNKLES GRAU 6,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,5 % die meisten Standardkanonen 1 EJTHFCX256A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Hafniumcarbid Hafniumkarbid-Zirkular-Sputtertarget (8,0" Durchmesser x 0,125" Dicke, 99,5 % rein) 8,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,5 % die meisten Standardkanonen 1 EJTHFCX258A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Hafniumcarbid Hafniumkarbid-Zirkular-Sputtertarget (8,0" Durchmesser x 0,250" Dicke, 99,5 % rein) 8,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,5 % die meisten Standardkanonen 1 EJTHFCX258A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.

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