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Hafniumoxid (HfO2) Sputtertargets

Hafnium Oxide (HfO2) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here.

Hafnium Oxide (HfO2) General Information

Hafniumoxid ist eine anorganische Verbindung mit der chemischen Formel HfO2. Es hat eine Dichte von 9,68 g/cm³, einen Schmelzpunkt von 2.758 °C und einen Dampfdruck von 10-4 Torr bei 2.500 °C. Es ist cremefarben und gilt allgemein als eine der stabileren Hafniumverbindungen. Hafniumoxid wurde in den letzten Jahren vermehrt in Computerchips eingesetzt, um die Geschwindigkeit und Effizienz von Prozessoren zu verbessern. Es wird auch für optische Beschichtungen und in der Halbleiterfertigung unter Vakuum verdampft..

Hafnium Oxide (HfO2) Specifications

WerkstofftypHafniumoxid
SymbolHfO2
Farbe und AussehenWeißer, kristalliner Feststoff
Schmelzpunkt (°C)2.758
Theoretische Dichte (g/cm³)9,68
Z-Verhältnis**1,00
SputterRF, RF-R
Max. Leistungsdichte*
(Watt/Quadratzoll)
20*
Art des BondingIndium, Elastomer
Exportkontrolle (ECCN) 1C231
BemerkungenHfO-Schicht.

* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.

* Suggested maximum power densities are based on using a sputter up orientation with optimal thermal transfer from target to the sputter cathode cooling well. Using other sputtering orientations or if there is a poor thermal interface between target to sputter cathode cooling well may require a reduction in suggested maximum power density and/or application of a thermal transfer paste. Please contact techinfo@lesker.com for specific power recommendations.

** Das Z-Verhältnis ist unbekannt. Daher empfehlen wir die Verwendung von 1,00 oder einen experimentell bestimmten Wert. Bitte klicken Sie hier, um Anweisungen zum Bestimmen dieses Werts zu erhalten.

Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Hinweise:
  • Für diese Materialien wird ein Bonding empfohlen. Viele Materialien haben Eigenschaften, die für Sputtern nicht geeignet sind, wie z. B. Sprödigkeit und geringe Wärmeleitfähigkeit. Um mehr Informationen zu erhalten, klicken Sie bitte hier.
  • Dieses Material kann spezielle Verfahren zum Hochfahren und Runterfahren erfordern. Dieser Vorgang kann bei anderen Materialien entfallen. Targets mit geringer Wärmeleitfähigkeit sind anfällig für Temperaturschocks. Bitte klicken Sie hier, für nähere Informationen zum Rampenverfahrenn für die Konditionierung keramischer Targets.

Hazard Notes:
  • Export Controlled: Es handelt sich um einen Werkstoff, dessen Export kontrolliert wird. Es können Einschränkungen gelten.
SDS
Click here for the Hafnium Oxide SDS.
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FAQ zu den Depositionsmaterialien
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Process Equipment Expertise
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By staying on the leading edge of engineering and technology, we offer our customers the advantage of unparalleled knowledge and expertise in the manufacturing of TORUS® Magnetron Sputtering Cathodes and Thin Film Deposition Vacuum Systems.

Bestelltabelle

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Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Hafniumoxid EUDF Hafniumoxid Target, HfO2, 99,95 % REIN EX Zr, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTHFOX351A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Hafniumoxid EUDF Hafniumoxid Target, HfO2, 99,95 % REIN EX Zr, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTHFOX351A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Hafniumoxid EUDF Hafniumoxid Target, HfO2, 99,95 % REIN EX Zr, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTHFOX352A2 $646,00 Auf Lager
Hafniumoxid EUDF Hafniumoxid Target, HfO2, 99,95 % REIN EX Zr, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTHFOX352A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Hafniumoxid EUDF Hafniumoxid Target, HfO2, 99,95 % REIN EX Zr, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTHFOX353A2 Auf Anfrage Auf Lager
Hafniumoxid EUDF Hafniumoxid Target, HfO2, 99,95 % REIN EX Zr, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTHFOX353A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Hafniumoxid EUDF Hafniumoxid Target, HfO2, 99,95 % REIN EX Zr, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTHFOX354A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Hafniumoxid EUDF Hafniumoxid Target, HfO2, 99,95 % REIN EX Zr, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTHFOX354A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Hafniumoxid EUDF Hafniumoxid Target, HfO2, 99,95 % PURE (Ex. Zr), 6,00" DURCHMESSER X 0,25" DICKE, +/-0,010" ALLE 6,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTHFOX356A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.

Bestelltabelle für gebondete Baugruppen

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Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Hafniumoxid EUDF Hafniumoxid Target, HfO2, 99,95 % REIN EX Zr, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Indium 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUHFOX351A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Hafniumoxid EUDF Hafniumoxid Target, HfO2, 99,95 % REIN EX Zr, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Indium 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUHFOX352A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Hafniumoxid EUDF Hafniumoxid Target, HfO2, 99,95 % REIN EX Zr, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,092" DICKE, +/-0,010" DM, +0/-0,010" DICK, FÜR TORUS 2 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Indium 2,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Standard TORUS 2 EJUHFOX352T4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Hafniumoxid EUDF Hafniumoxid Target, HfO2, 99,95 % REIN EX Zr, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR TORUS MAG KEEPER 2, PRO ZEICHNUNG 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Elastomer 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 2 2 EJUHFOX352TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Hafniumoxid EUDF Hafniumoxid Target, HfO2, 99,95 % REIN EX Zr, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,092" DICKE, +/-0,010" DM, +0/-0,010" DICK, FÜR TORUS 3 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Indium 3,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Standard TORUS 3 EJUHFOX353T4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Hafniumoxid EUDF Hafniumoxid Target, HfO2, 99,95 % REIN EX Zr, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR 3" TORUS MAG KEEPER 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 3 2 EJUHFOX353TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Hafniumoxid EUDF Hafniumoxid Target, HfO2 99,95% REIN EX Zr, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 4,00" DURCHMESSER X 0,092" DICKE, +/-0,010" ALLE, FÜR TORUS 4 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Elastomer 4,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Standard TORUS 4 EJUHFOX354T4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Hafniumoxid EUDF Hafniumoxid Target, HfO2, 99,95 % REIN EX Zr, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Indium 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUHFOX353A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
2.
Gebundene Baugruppen zur Verwendung in TORUS Mag Keeper Pistolen erfordern Elastomer-Verbindungen.
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