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Indium (In) Sputtertargets

Übersicht

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. Kontaktieren Sie international@lesker.com für aktuelle Preise oder für ein Angebot über Sputtertargets und andere nicht aufgeführte Depositionsprodukte.


Allgemein

Indium ist ein Übergangsmetall mit galliumähnlichen Eigenschaften. Es ist weich und metallisch-grau in der Farbe. Es hat eine Dichte von 7,3 g/cm³, einen Schmelzpunkt von 157 °C und einen Dampfdruck von 10-4 Torr bei 742 °C. Eine seiner bemerkenswerten Eigenschaften ist seine Fähigkeit, sich an Glas und anderen ähnlichen Oberflächen festzuhalten. Indiumverbindungen werden unter Vakuum zu dünnen Schichten bei der Herstellung von Elektronik- und Photovoltaikzellen verdampft. Reines Indium wird als Filmschicht in Halbleitern verwendet.


Spezifikationen

WerkstofftypIndium
SymbolIN
Atomares Gewicht114,818
Ordnungszahl49
Farbe und AussehenSilbrig glänzend grau, metallisch
Wärmeleitfähigkeit82 W/m.K
Schmelzpunkt (°C)157
Wärmeausdehnungskoeffizient32,1 x 10-6/K
Theoretische Dichte (g/cm³)7,3
Z-Verhältnis0,841
SputterGleichspannung
Art des BondingElastomer
BemerkungenBenetzt W und Cu. Verwenden Sie Mo-Tiegel. Werkstoffe mit niedrigem Schmelzpunkt sind nicht ideal fürs Sputtern.

Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.


Werkstoffhinweise

HINWEIS: Für diese Materialien wird ein „Elastomer-Bonding“ empfohlen. Viele Materialien haben Eigenschaften, die für Sputtern nicht geeignet sind, wie z. B. Sprödigkeit und geringe Wärmeleitfähigkeit. Um mehr Informationen zu erhalten, klicken Sie bitte hier.

SDS
Klicken Sie hier für Indium SDS.
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Sie können die Größe oder den Werkstoff, die/den Sie brauchen, nicht finden? Bitte nutzen Sie unser Werkstoffangebotsformular, um eine Bestellung aufzugeben.
FAQ zu den Depositionsmaterialien
Klicken Sie hier für Antworten auf einige der häufigsten Fragen, die uns gestellt werden.
Kontakt
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Bestelltabelle

Werkstoff Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb
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Werkstoff Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb
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Indium 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTINXX401A2 Auf Anfrage Call for Availability
Indium 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTINXX501A2 Auf Anfrage Call for Availability
Indium 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTINXX401A4 $179,00 Call for Availability
Indium 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTINXX501A4 $269,00 Call for Availability
Indium 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTINXX402A2 $223,00 Call for Availability
Indium 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTINXX502A2 $416,00 Call for Availability
Indium 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTINXX402A4 $290,00 Call for Availability
Indium 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTINXX502A4 $439,00 Auf Lager
Indium 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTINXX403A2 $412,00 Call for Availability
Indium 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTINXX503A2 $520,00 Call for Availability
Indium 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTINXX403A4 $473,00 Auf Lager
Indium 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTINXX503A4 $663,00 Call for Availability
Indium 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTINXX404A2 $525,00 Call for Availability
Indium 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTINXX504A2 Auf Anfrage Call for Availability
Indium 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTINXX404A4 Auf Anfrage Call for Availability
Indium 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTINXX504A4 Auf Anfrage Call for Availability
Indium 6,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTINXX406A2 Auf Anfrage Call for Availability
Indium 6,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTINXX506A2 Auf Anfrage Call for Availability
Indium 6,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTINXX406A4 Auf Anfrage Call for Availability
Indium 6,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTINXX506A4 Auf Anfrage Call for Availability
Indium 8,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTINXX408A2 Auf Anfrage Call for Availability
Indium 8,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTINXX508A2 Auf Anfrage Call for Availability
Indium 8,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTINXX408A4 Auf Anfrage Call for Availability
Indium 8,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTINXX508A4 Auf Anfrage Call for Availability

 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.

Bestelltabelle für gebondete Baugruppen

Werkstoff Target-
Größe
Reinheit Art des Bonding Rückplatte
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Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Artikelnr. Preis Auf Lager Zum Warenkorb
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Werkstoff Target-
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Reinheit Art des Bonding Rückplatte
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Indium 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Elastomer 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUINXX401A4 Auf Anfrage Call for Availability
Indium 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Elastomer 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUINXX402A4 Auf Anfrage Call for Availability
Indium 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUINXX403A4 Auf Anfrage Call for Availability
Indium 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke US-Pistolen - EJUINXX403K4 Auf Anfrage Call for Availability
Indium 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Elastomer 2,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Standard TORUS 2 - EJUINXXSPL01 Auf Anfrage Call for Availability
Indium 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % Elastomer 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUINXX502A4 Auf Anfrage Call for Availability
Indium 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % Elastomer 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 2 2 EJUINXX502TK4 Auf Anfrage Call for Availability
Indium 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUINXX503A4 Auf Anfrage Call for Availability
Indium 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 3 2 EJUINXX503TK4 Auf Anfrage Call for Availability

 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
2.
Gebundene Baugruppen zur Verwendung in TORUS Mag Keeper Pistolen erfordern Elastomer-Verbindungen.
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