Repräsentative Abbildung
Indium (In) Sputtertargets
Indium (In)-Sputtertargets Überblick
Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. Klicken Sie bitte hier, wenn Sie direkt mit jemandem über die aktuellen Preise sprechen oder ein Angebot für Sputtertargets und andere nicht aufgeführte Beschichtungsprodukte anfordern möchten.
Indium (In) Allgemeine Informationen
Indium ist ein Übergangsmetall mit galliumähnlichen Eigenschaften. Es ist weich und metallisch-grau in der Farbe. Es hat eine Dichte von 7,3 g/cm³, einen Schmelzpunkt von 157 °C und einen Dampfdruck von 10-4 Torr bei 742 °C. Eine seiner bemerkenswerten Eigenschaften ist seine Fähigkeit, sich an Glas und anderen ähnlichen Oberflächen festzuhalten. Indiumverbindungen werden unter Vakuum zu dünnen Schichten bei der Herstellung von Elektronik- und Photovoltaikzellen verdampft. Reines Indium wird als Filmschicht in Halbleitern verwendet.
Indium (In)-Spezifikationen
| Werkstofftyp | Indium |
| Symbol | IN |
| Atomares Gewicht | 114,818 |
| Ordnungszahl | 49 |
| Farbe und Aussehen | Silbrig glänzend grau, metallisch |
| Wärmeleitfähigkeit | 82 W/m.K |
| Schmelzpunkt (°C) | 157 |
| Wärmeausdehnungskoeffizient | 32,1 x 10-6/K |
| Theoretische Dichte (g/cm³) | 7.3 |
| Z-Verhältnis | 0,841 |
| Sputter | Gleichspannung |
| Art des Bonding | Elastomer |
| Bemerkungen | Benetzt W und Cu. Verwenden Sie Mo-Tiegel. Werkstoffe mit niedrigem Schmelzpunkt sind nicht ideal fürs Sputtern. |
Z-Faktoren
Empirische Bestimmung des Z-Faktors
Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:
- Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
- Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
- Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
- Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
- Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
- Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
- Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.
Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.
Bestelltabelle
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| Werkstoff | Beschreibung | Größe | Reinheit | Kompatible(s) Sputterkanonen | Hinweise | Teilenummer | Preis | Auf Lager | Zum Warenkorb hinzufügen | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Werkstoff | Beschreibung | Größe | Reinheit | Kompatible(s) Sputterkanonen | Hinweise | Teilenummer | Preis | Auf Lager | Zum Warenkorb hinzufügen | |
| Indium |
Indium Target, |
1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | 99,99 % | die meisten Standardkanonen | 1 | EJTINXX401A2 | $155,00 |
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| Indium |
Indium Target, |
1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | 99,998-99,999 % | die meisten Standardkanonen | 1 | EJTINXX501A2 | $242,00 |
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| Indium |
Indium Target, |
1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke | 99,99 % | die meisten Standardkanonen | 1 | EJTINXX401A4 | $188,00 |
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| Indium |
Indium Target, |
1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke | 99,998-99,999 % | die meisten Standardkanonen | 1 | EJTINXX501A4 | $283,00 |
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| Indium |
Indium Target, |
2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | 99,99 % | die meisten Standardkanonen | 1 | EJTINXX402A2 | $235,00 |
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| Indium |
Indium Target, |
2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | 99,998-99,999 % | die meisten Standardkanonen | 1 | EJTINXX502A2 | $437,00 |
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| Indium |
Indium Target, |
2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke | 99,99 % | die meisten Standardkanonen | 1 | EJTINXX402A4 | $305,00 |
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| Indium |
Indium Target, |
2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke | 99,998-99,999 % | die meisten Standardkanonen | 1 | EJTINXX502A4 | $461,00 |
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| Indium |
Indium Target, |
3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | 99,99 % | die meisten Standardkanonen | 1 | EJTINXX403A2 | $433,00 |
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| Indium |
Indium Target, |
3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | 99,998-99,999 % | die meisten Standardkanonen | 1 | EJTINXX503A2 | $546,00 |
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| Indium |
Indium Target, |
3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke | 99,99 % | die meisten Standardkanonen | 1 | EJTINXX403A4 | $497,00 |
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| Indium |
Indium Target, |
3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke | 99,998-99,999 % | die meisten Standardkanonen | 1 | EJTINXX503A4 | $697,00 |
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| Indium |
Indium Target, |
4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | 99,99 % | die meisten Standardkanonen | 1 | EJTINXX404A2 | $552,00 |
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| Indium |
Indium Target, |
4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | 99,998-99,999 % | die meisten Standardkanonen | 1 | EJTINXX504A2 | $724,00 |
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| Indium |
Indium Target, |
4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke | 99,99 % | die meisten Standardkanonen | 1 | EJTINXX404A4 | $748,00 |
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| Indium |
Indium Target, |
4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke | 99,998-99,999 % | die meisten Standardkanonen | 1 | EJTINXX504A4 | $837,00 |
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| Indium |
Indium Target, |
57 mm Durchmesser x 0,1 mm Dicke | 99,99 % | — | — | KJL81073 | Auf Anfrage |
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| Indium |
Indium Target, |
57 mm Durchmesser x 0,2 mm Dicke | 99,99 % | — | — | KJL81027 | Auf Anfrage |
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| Indium |
Indium Target, |
57 mm Durchmesser x 1 mm Dicke | 99,99 % | — | — | EJTINXXSPL05 | Auf Anfrage |
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| Indium |
Indium Target, |
6,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | 99,99 % | die meisten Standardkanonen | 1 | EJTINXX406A2 | Auf Anfrage |
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| Indium |
Indium Target, |
6,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | 99,998-99,999 % | die meisten Standardkanonen | 1 | EJTINXX506A2 | Auf Anfrage |
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| Indium |
Indium Target, |
6,00" Durchmesser x 0,250" Dicke | 99,99 % | die meisten Standardkanonen | 1 | EJTINXX406A4 | Auf Anfrage |
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| Indium |
Indium Target, |
6,00" Durchmesser x 0,250" Dicke | 99,998-99,999 % | die meisten Standardkanonen | 1 | EJTINXX506A4 | Auf Anfrage |
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| Indium |
Indium-Zirkular-Sputtertarget (8,0" Durchmesser x 0,125" Dicke, |
8,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | 99,99 % | die meisten Standardkanonen | 1 | EJTINXX408A2 | Auf Anfrage |
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| Indium |
Indium-Zirkular-Sputtertarget (8,0" Durchmesser x 0,125" Dicke, |
8,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | 99,998-99,999 % | die meisten Standardkanonen | 1 | EJTINXX508A2 | Auf Anfrage |
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| Indium |
Indium-Zirkular-Sputtertarget (8,0" Durchmesser x 0,250" Dicke, |
8,00" Durchmesser x 0,250" Dicke | 99,99 % | die meisten Standardkanonen | 1 | EJTINXX408A4 | Auf Anfrage |
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| Indium |
Indium-Zirkular-Sputtertarget (8,0" Durchmesser x 0,250" Dicke, |
8,00" Durchmesser x 0,250" Dicke | 99,998-99,999 % | die meisten Standardkanonen | 1 | EJTINXX508A4 | Auf Anfrage |
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Bestelltabelle für gebondete Baugruppen
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| Werkstoff | Beschreibung | Targetgröße | Reinheit | Art des Bonding | Größe der Trägerplatte | Kompatible(s) Sputterkanonen | Hinweise | Teilenummer | Preis | Auf Lager | Zum Warenkorb hinzufügen | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Werkstoff | Beschreibung | Targetgröße | Reinheit | Art des Bonding | Größe der Trägerplatte | Kompatible(s) Sputterkanonen | Hinweise | Teilenummer | Preis | Auf Lager | Zum Warenkorb hinzufügen | |
| Indium |
Indium Target, |
1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | 99,99 % | Elastomer | 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | die meisten Standardkanonen | 1 | EJUINXX401A4 | $549,00 |
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| Indium |
Indium Target, |
2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | 99,99 % | Elastomer | 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | die meisten Standardkanonen | 1 | EJUINXX402A4 | $639,00 |
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| Indium |
Indium Target, |
3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | 99,99 % | Elastomer | 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | die meisten Standardkanonen | 1 | EJUINXX403A4 | $984,00 |
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| Indium |
Indium Target, |
3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | 99,99 % | Elastomer | 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | US-Pistolen | — | EJUINXX403K4 | $1.020,00 |
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| Indium |
Indium Target, |
2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | 99,99 % | Elastomer | 2,00" Durchmesser x 0,092" Dicke | Standard TORUS 2 | — | EJUINXXSPL01 | $639,00 |
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| Indium |
Indium Target, |
2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | 99,998-99,999 % | Elastomer | 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | die meisten Standardkanonen | 1 | EJUINXX502A4 | $841,00 |
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| Indium |
Indium Target, |
2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | 99,998-99,999 % | Elastomer | 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | TORUS Mag Keeper 2 | 2 | EJUINXX502TK4 | $868,00 |
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| Indium |
Indium Target, |
3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | 99,998-99,999 % | Elastomer | 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | die meisten Standardkanonen | 1 | EJUINXX503A4 | $1.097,00 |
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| Indium |
Indium Target, |
3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | 99,998-99,999 % | Elastomer | 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | TORUS Mag Keeper 3 | 2 | EJUINXX503TK4 | $1.133,00 |
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