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Indiumzinnoxid, ITO (In2O3/SnO2 90/10 Gewichtsprozent) Sputtertargets

Indium Tin Oxide, ITO (In2O3/SnO2 90/10 wt %) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here.

Indium Tin Oxide, ITO (In2O3/SnO2 90/10 wt %) General Information

Indiumoxid/Zinnoxid (In2O3/SnO2 90/10 Gew.-%) gehört aufgrund seiner elektrischen Leitfähigkeit und optischen Transparenz zu den am häufigsten verwendeten Verbindungen in der Dünnschichtindustrie. Die Zusammensetzung 90/10 Gew.-% im Speziellen hat einen Schmelzpunkt von etwa 1.800 °C und eine Dichte von 7,14 g/cc. Die Farbe der verschiedenen ITO-Zusammensetzungen reicht von hellgelb bis dunkelgrün oder dunkelgrau. Es wird unter Vakuum verdampft oder gesputtert, um transparente leitfähige Schichten bei der Herstellung von LCDs und verschiedenen optischen Anwendungen zu erzeugen. Dünne Schichten von ITO werden für die Entwicklung von Sensoren sowie für Glasbeschichtungen in der Automobilindustrie hergestellt.

Indium Tin Oxide, ITO (In2O3/SnO2 90/10 wt %) Specifications

WerkstofftypIndiumzinnoxid
SymbolIn2O3/SnO2 90/10 Gew.-%
Schmelzpunkt (°C)1.800
Theoretische Dichte (g/cm³)7,14
SputterRF, DC
Max. Leistungsdichte*
(Watt/Quadratzoll)
20*
Art des BondingIndium, Elastomer

* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.

* Suggested maximum power densities are based on using a sputter up orientation with optimal thermal transfer from target to the sputter cathode cooling well. Using other sputtering orientations or if there is a poor thermal interface between target to sputter cathode cooling well may require a reduction in suggested maximum power density and/or application of a thermal transfer paste. Please contact techinfo@lesker.com for specific power recommendations.


Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Hinweise:
  • Für diese Materialien wird ein Bonding empfohlen. Viele Materialien haben Eigenschaften, die für Sputtern nicht geeignet sind, wie z. B. Sprödigkeit und geringe Wärmeleitfähigkeit. Um mehr Informationen zu erhalten, klicken Sie bitte hier.
  • Dieses Material kann spezielle Verfahren zum Hochfahren und Runterfahren erfordern. Dieser Vorgang kann bei anderen Materialien entfallen. Targets mit geringer Wärmeleitfähigkeit sind anfällig für Temperaturschocks. Bitte klicken Sie hier, für nähere Informationen zum Rampenverfahrenn für die Konditionierung keramischer Targets.

SDS
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FAQ zu den Depositionsmaterialien
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Process Equipment Expertise
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By staying on the leading edge of engineering and technology, we offer our customers the advantage of unparalleled knowledge and expertise in the manufacturing of TORUS® Magnetron Sputtering Cathodes and Thin Film Deposition Vacuum Systems.

Bestelltabelle

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Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Indiumzinnoxid, ITO INDIUM OXID/ZINNOXID TARGET, In2O3/SnO2 90/10 Gewichtsprozent, 99,99 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 Begrenzte Verfügbarkeit und besonders günstig. EJTITOX401A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Indiumzinnoxid, ITO INDIUM OXID/ZINNOXID TARGET, In2O3/SnO2 90/10 Gewichtsprozent, 99,99 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTITOX401A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Indiumzinnoxid, ITO INDIUM OXID/ZINNOXID TARGET, In2O3/SnO2 90/10 Gewichtsprozent, 99,99 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTITOX402A2 $298,00 Auf Lager
Indiumzinnoxid, ITO INDIUM OXID/ZINNOXID TARGET, In2O3/SnO2 90/10 Gewichtsprozent, 99,99 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTITOX402A4 $332,00 Contact KJLC for Availability
Indiumzinnoxid, ITO INDIUM OXID/ZINNOXID TARGET, In2O3/SnO2 90/10 Gewichtsprozent, 99,99 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTITOX403A2 $439,00 Auf Lager
Indiumzinnoxid, ITO INDIUM OXID/ZINNOXID TARGET, In2O3/SnO2 90/10 Gewichtsprozent, 99,99 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTITOX403A4 $577,00 Auf Lager
Indiumzinnoxid, ITO INDIUM OXID/ZINNOXID TARGET, In2O3/SnO2 90/10 Gewichtsprozent, 99,99 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTITOX404A2 Auf Anfrage Auf Lager
Indiumzinnoxid, ITO INDIUM OXID/ZINNOXID TARGET, In2O3/SnO2 90/10 Gewichtsprozent, 99,99 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTITOX404A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Indiumzinnoxid, ITO INDIUM OXID/ZINNOXID TARGET, In2O3/SnO2 90/10 Gewichtsprozent, 99,99 % REIN, 6,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 6,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTITOX406A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Indiumzinnoxid, ITO INDIUM OXID/ZINNOXID TARGET, In2O3/SnO2, 90/10 Gewichtsprozent, 99,99 % REIN, 6,00" DURCHMESSER X 0,25" DICKE, +/-0,010" ALLE 6,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTITOX406A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Indiumzinnoxid, ITO INDIUM OXID/ZINNOXID TARGET, In2O3/SnO2, 90/10 Gewichtsprozent, 99,99 % REIN, 8,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 8,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,99 % die meisten Standardkanonen 1 EJTITOX408A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
Begrenzte Verfügbarkeit und besonders günstig.

Bestelltabelle für gebondete Baugruppen

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Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Indiumzinnoxid, ITO INDIUM OXID/ZINNOXID TARGET, In2O3/SnO2 90/10 Gewichtsprozent, 99,99 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Indium 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 Begrenzte Verfügbarkeit und besonders günstig. EJUITOX401A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Indiumzinnoxid, ITO INDIUM OXID/ZINNOXID TARGET, In2O3/SnO2 90/10 Gewichtsprozent, 99,99 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKES INDIUM, DAS MIT DER KUPFERTRÄGERPLATTE VERBUNDEN IST., OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Indium 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUITOX402A4 $574,00 Contact KJLC for Availability
Indiumzinnoxid, ITO INDIUM OXID/ZINNOXID TARGET, In2O3/SnO2 90/10 Gewichtsprozent, 99,99 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,092" DICKE, +/-0,010" DM, +0/-0,010" DICK, FÜR TORUS 2 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Indium 2,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Standard TORUS 2 EJUITOX402T4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Indiumzinnoxid, ITO INDIUM OXID/ZINNOXID TARGET, In2O3/SnO2 90/10 Gewichtsprozent, 99,99 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR TORUS MAG KEEPER 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Elastomer 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 2 2 EJUITOX402TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Indiumzinnoxid, ITO INDIUM OXID/ZINNOXID TARGET, In2O3/SnO2 90/10 Gewichtsprozent, 99,99 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKES INDIUM, DAS MIT DER KUPFERTRÄGERPLATTE VERBUNDEN IST., OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Indium 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUITOX403A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Indiumzinnoxid, ITO INDIUM OXID/ZINNOXID TARGET, In2O3/SnO2 90/10 Gewichtsprozent, 99,99 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUITOX403E4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Indiumzinnoxid, ITO INDIUM OXID/ZINNOXID TARGET, In2O3/SnO2 90/10 Gewichtsprozent, 99,99 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT SCHLÜSSEL, 6-32 SCHRAUBE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke US-Pistolen EJUITOX403K4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Indiumzinnoxid, ITO INDIUM OXID/ZINNOXID TARGET, In2O3/SnO2 90/10 Gewichtsprozent, 99,99 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,092" DICKE, +/-0,010" DM, +0/-0,010" DICK, FÜR TORUS 3 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Indium 3,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Standard TORUS 3 EJUITOX403T4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Indiumzinnoxid, ITO INDIUM OXID/ZINNOXID TARGET, In2O3/SnO2 90/10 Gewichtsprozent, 99,99 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,092" DICKE, +/-0,010" DM, +0/-0,010" DICK, FÜR TORUS 3 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Standard TORUS 3 EJUITOX403TE4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Indiumzinnoxid, ITO INDIUM OXID/ZINNOXID TARGET, In2O3/SnO2 90/10 Gewichtsprozent, 99,99 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR TORUS MAG KEEPER 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 3 2 EJUITOX403TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Indiumzinnoxid, ITO INDIUM OXID/ZINNOXID TARGET, In2O3/SnO2 90/10 Gewichtsprozent, 99,99 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKES INDIUM, DAS MIT DER KUPFERTRÄGERPLATTE VERBUNDEN IST., OFHC 101, Cu, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Indium 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUITOX404A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Indiumzinnoxid, ITO INDIUM OXID/ZINNOXID TARGET, In2O3/SnO2 90/10 Gewichtsprozent, 99,99 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FOR 4" TORUS MAG KE. 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Elastomer 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 4 2 EJUITOX404TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Indiumzinnoxid, ITO INDIUM OXID/ZINNOXID TARGET, In2O3/SnO2 90/10 GEWICHTSPROZENT 99,99% REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE +/- 0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 4,00" DURCHMESSER X 0,092" DICKE, +/-0,010" DM, +0/-0,010" DICK, FÜR TORUS 4 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Indium 4,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Standard TORUS 4 EJUITOXSPL02 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Indiumzinnoxid, ITO INDIUM OXID/ZINNOXID TARGET, In2O3/SnO2 90/10 Gewichtsprozent, 99,99 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKES ELASTOMER, DAS MIT DER KUPFERTRÄGERPLATTE VERBUNDEN IST., OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,092" DICKE, +/-0,010" DM, +0/-0,010" DICK, FÜR TORUS 3 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Standard TORUS 3 EJUITOXSPL10 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Indiumzinnoxid, ITO INDIUM OXID/ZINNOXID TARGET, In2O3/SnO2, 90/10 Gewichtsprozent, 99,99 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,99 % Elastomer 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUITOXSPL30 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
2.
Gebundene Baugruppen zur Verwendung in TORUS Mag Keeper Pistolen erfordern Elastomer-Verbindungen.
Begrenzte Verfügbarkeit und besonders günstig.
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