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Iridium (Ir) Sputtertargets

Iridium (Ir) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here.

Iridium (Ir) General Information

Iridium is a rare metal which belongs to the platinum group of elements on the Periodic Table. Es hat einen Schmelzpunkt von 2.410 °C, eine Dichte von 22,42 g/cc und einen Dampfdruck von 10-4 Torr bei 2.380 °C. It is silvery white in appearance and considered to be very corrosion resistant. Its main application is as a hardening agent for platinum alloys, but it can also be found in devices used in high temperature environments. It is evaporated under vacuum to make particle and surface modification coatings, data storage devices, and fuel cells.

Iridium (Ir) Specifications

WerkstofftypIridium
SymbolIr
Atomares Gewicht192,217
Ordnungszahl77
Farbe und AussehenSilbrig weiß, metallisch
Wärmeleitfähigkeit150 W/m.K
Schmelzpunkt (°C)2.410
Wärmeausdehnungskoeffizient6,4 x 10-6/K
Theoretische Dichte (g/cm³)22,42
Z-Verhältnis0,129
SputterGleichspannung
Max. Leistungsdichte*
(Watt/Quadratzoll)
100*
Art des BondingIndium, Elastomer

* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.

* Suggested maximum power densities are based on using a sputter up orientation with optimal thermal transfer from target to the sputter cathode cooling well. Using other sputtering orientations or if there is a poor thermal interface between target to sputter cathode cooling well may require a reduction in suggested maximum power density and/or application of a thermal transfer paste. Please contact techinfo@lesker.com for specific power recommendations.


Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Hinweise:
  • Einige Materialien und Herstellungsmethoden können zu Produkten mit Oberflächenfehlern führen. In vielen Fällen sind diese Unvollkommenheiten lediglich optische Mängel. Die Leistung kann je nach Prozessanforderungen beeinträchtigt werden.
  • Einige Materialien und Herstellungsmethoden können Produkte mit einer überdurchschnittlichen Porosität ergeben. Die Leistung kann je nach Prozessanforderungen beeinträchtigt werden.

SDS
Click here for the Iridium SDS.
Edelmetalle
Aufbereitungsservice
Wir bieten ein Programm zur Aufbereitung von Edelmetallen an, mit dem Sie Ihre Materialkosten senken können.
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Sie können die Größe oder den Werkstoff, die/den Sie brauchen, nicht finden? Bitte nutzen Sie unser Werkstoffangebotsformular, um eine Bestellung aufzugeben.
FAQ zu den Depositionsmaterialien
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Kontakt
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Process Equipment Expertise
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By staying on the leading edge of engineering and technology, we offer our customers the advantage of unparalleled knowledge and expertise in the manufacturing of TORUS® Magnetron Sputtering Cathodes and Thin Film Deposition Vacuum Systems.

Bestelltabelle

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Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Iridium Iridium Target, Ir, 99,9 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/- 0,010” ALL, ARC-MELTED, KANN OBERFLÄCHENFEHLER AUFWEISEN 1,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTIRXX301A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Iridium Iridium Target, Ir, 99,9 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/- 0,010” ALL, ARC-MELTED, KANN OBERFLÄCHENFEHLER AUFWEISEN 1,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTIRXX301A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Iridium Iridium Target, Ir, 99,9 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,0625" DICKE, +0/-0,010" ALLE 2,0" Durchmesser x 0,063" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTIRXX302A1 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Iridium Iridium Target, Ir, 99,9 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +0/-0,010" ALLE, HEIß GEPRESST 2,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTIRXX302A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Iridium Iridium Target, Ir, 99,9 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE,+0/−0,010" ALL, HEIß GEPRESST 2,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTIRXX302A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Iridium Iridium Target, Ir, 99,9 % REIN, 2,00" DIAMETER X 2 MM THICK, +0/−0,010" ALL 2,0" Dia. x 2 mm Thick 99,9 % EJTIRXX302A2MM Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Iridium Iridium Target, Ir, 99,9 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +0/-0,010" ALLE 3,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTIRXX303A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Iridium Iridium Target, 99,9 % REIN 3,00"DM X 0,250"DICK,LICHTBOGENSCHMELZE KANN OBERFLÄCHENFEHLER AUFWEISEN. 3,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTIRXX303A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Iridium Iridium Target, Ir, 99,9 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTIRXX304A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Iridium Iridium Target, 99,9 % REIN, 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke, HEIß GEPRESST, +/-0,010" ALLE 4,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTIRXX304A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Iridium Iridium Target, Ir, 99,9 % REIN, 57 MM DURCHMESSER X 2 MM DICKE, +0/-0.25 MM ALL 57 mm Durchmesser x 2 mm Dicke 99,9 % KJL81064 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.

Bestelltabelle für gebondete Baugruppen

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Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Iridium Iridium Target, Ir, 99,9 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +0/-0,010" ALLE ELASTOMERE SIND MIT DER KUPFERTRÄGERPLATTE VERBUNDEN., OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR MAG KEEPER 2 PRO ZEICHNUNG 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % Elastomer 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 2 1 EJUIRXX302TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Iridium Iridium Target, Ir, 99,9 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +0/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT SCHLÜSSEL, FÜR 3" TORUS MAGKEEPER 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 3 1 EJUIRXX303TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability

 Hinweise: 
1.
Gebundene Baugruppen zur Verwendung in TORUS Mag Keeper Pistolen erfordern Elastomer-Verbindungen.
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