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Molybdän (Mo) Sputtertargets

Molybdenum (Mo) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here.

Molybdenum (Mo) General Information

Molybdän wird im Periodensystem als Übergangsmetall eingestuft. Es ist metallisch grau mit einem Schmelzpunkt von 2.617 °C, einer Dichte von 10,2 g/cc und einem Dampfdruck von 10-4 Torr bei 2.117 °C. Aufgrund seiner Festigkeit und seines hohen Schmelzpunktes wird Molybdän hauptsächlich mit anderen Metallen zu korrosionsbeständigen Werkstoffen legiert und findet sich in Werkzeugen, Flugzeugteilen und elektrischen Kontakten wieder. Molybdän wird unter Vakuum verdampft, um moderne Displays, Halbleiter und Sensoren herzustellen.

Molybdenum (Mo) Specifications

WerkstofftypMolybdän
SymbolMo
Atomares Gewicht95,96
Ordnungszahl42
Farbe und AussehenGrau, metallisch
Wärmeleitfähigkeit139 W/m.K
Schmelzpunkt (°C)2.617
Wärmeausdehnungskoeffizient4,8 x 10-6/K
Theoretische Dichte (g/cm³)10,2
Z-Verhältnis0,257
SputterGleichspannung
Max. Leistungsdichte*
(Watt/Quadratzoll)
150*
Art des BondingIndium, Elastomer
BemerkungenSchichten glatt, hart. Sorgfältiges Ausgasen erforderlich.

* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.

* Suggested maximum power densities are based on using a sputter up orientation with optimal thermal transfer from target to the sputter cathode cooling well. Using other sputtering orientations or if there is a poor thermal interface between target to sputter cathode cooling well may require a reduction in suggested maximum power density and/or application of a thermal transfer paste. Please contact techinfo@lesker.com for specific power recommendations.


Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

SDS
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Bestelltabelle

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Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Molybdän Molybdän Target, Mo, 99,95 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTMOXX351A2 Auf Anfrage Auf Lager
Molybdän Molybdän Target, Mo, 99,95 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTMOXX351A4 Auf Anfrage Auf Lager
Molybdän Molybdän Target, Mo, 99,95 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTMOXX352A2 $157,00 Auf Lager
Molybdän Molybdän Target, Mo, 99,95 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTMOXX352A4 $177,00 Auf Lager
Molybdän Molybdän Target, Mo, 99,95 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, D&T 2−56 CENTER HOLE, 0,133" TIEF, +/−0,010" ALL, MIT SCHLÜSSEL 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % US-Pistolen EJTMOXX352K4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Molybdän Molybdän Target, Mo, 99,95 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT SCHLÜSSEL, FÜR 2" TORUS MAG KEEPER 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % TORUS Mag Keeper 2 2 EJTMOXX352TK4 Auf Anfrage Auf Lager
Molybdän Molybdän Target, Mo, 99,95 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTMOXX353A2 $162,00 Auf Lager
Molybdän Molybdän Target, Mo, 99,95 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTMOXX353A4 $189,00 Auf Lager
Molybdän Molybdän Target, Mo, 99,95 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, W/ 6-32 ZENTRALES LOCH, 0,133" TIEF, MIT SCHLÜSSEL, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % US-Pistolen EJTMOXX353K4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Molybdän Molybdän Target, Mo, 99,95 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT SCHLÜSSEL, FÜR 3" TORUS MAG KEEPER 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % TORUS Mag Keeper 3 2 EJTMOXX353TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Molybdän Molybdän Target, Mo, 99,95 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTMOXX354A2 $166,00 Contact KJLC for Availability
Molybdän Molybdän Target, Mo, 99,95 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTMOXX354A4 $238,00 Contact KJLC for Availability
Molybdän Molybdän Target, Mo, 99,95 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT SCHLÜSSEL, FÜR 4" TORUS MAG KEEPER 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % TORUS Mag Keeper 4 2 EJTMOXX354TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Molybdän Molybdän Target, 99,95 % PURE FOR KJL108, 57 MM DIA X .254 MM 57 mm Dia. x 0,25 mm Thick 99,95 % KJL81020 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Molybdän Molybdän Target, Mo, 99,95 % REIN, 6,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 6,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTMOXX356A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Molybdän Molybdän Target, Mo, 99,95 % REIN, 6,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 6,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTMOXX356A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Molybdän Molybdän Target, 99,95 % REIN, 8,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/- 0,010" ALLE 8,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTMOXX358A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Molybdän Molybdän Target, Mo, 99,95 % REIN, 8,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/- 0,010" ALLE 8,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTMOXX358A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
2.
Gebundene Baugruppen zur Verwendung in TORUS Mag Keeper Pistolen erfordern Elastomer-Verbindungen.

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