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Niobium (Nb) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here .

Niobium (Nb) Specifications

WerkstofftypNiob
SymbolNb
Atomares Gewicht92,90638
Ordnungszahl41
Farbe und AussehenGrau, metallisch
Wärmeleitfähigkeit54 W/m.K
Schmelzpunkt (°C)2.468
Wärmeausdehnungskoeffizient7,3 x 10-6/K
Theoretische Dichte (g/cm³)8,57
Z-Verhältnis0,492
SputterGleichspannung
Max. Leistungsdichte*
(Watt/Quadratzoll)
100*
Art des BondingIndium, Elastomer
BemerkungenGreift Wolfram an

* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.


Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

SDS
Click here for the Niobium SDS.
Produktdatenblatt
Klicken Sie hier für ein herunterladbares Datenblatt über die Niob Nb Sputtertargets.
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FAQ zu den Depositionsmaterialien
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Kontakt
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Process Equipment Expertise
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By staying on the leading edge of engineering and technology, we offer our customers the advantage of unparalleled knowledge and expertise in the manufacturing of TORUS® Magnetron Sputtering Cathodes and Thin Film Deposition Vacuum Systems.

Bestelltabelle

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Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Niob Niob Target, Nb, 99,95 % rein EX Ta, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % pur Ex Ta die meisten Standardkanonen 1 EJTNBXX351A2 Auf Anfrage Auf Lager
Niob Niob Target, Nb, 99,95 % rein EX Ta, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010' ALLE 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % pur Ex Ta die meisten Standardkanonen 1 EJTNBXX351A4 Auf Anfrage Auf Lager
Niob Niob Target, Nb, 99,95 % rein EX Ta, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % pur Ex Ta die meisten Standardkanonen 1 EJTNBXX352A2 Auf Anfrage Auf Lager
Niob Niob Target, Nb, 99,95 % rein EX Ta, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % pur Ex Ta die meisten Standardkanonen 1 EJTNBXX352A4 Auf Anfrage Auf Lager
Niob Niob Target, Nb, 99,95 % rein EX Ta, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, D&T 2-56 ZENTRALES LOCH, 0,133" TIEF, +/-0,010" ALLE, MIT SCHLÜSSEL 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % pur Ex Ta US-Pistolen EJTNBXX352K4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Niob Niob Target, Nb, 99,95 % rein EX Ta, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT SCHLÜSSEL, FÜR 2" TORUS MAG KEEPER 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % pur Ex Ta TORUS Mag Keeper 2 2 EJTNBXX352TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Niob Niob Target, Nb, 99,95 % rein EX Ta, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % pur Ex Ta die meisten Standardkanonen 1 EJTNBXX353A2 Auf Anfrage Auf Lager
Niob Niob Target, Nb, 99,95 % rein EX Ta, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % pur Ex Ta die meisten Standardkanonen 1 EJTNBXX353A4 Auf Anfrage Auf Lager
Niob Niob Target, Nb, 99,95 % rein EX Ta, 3,00" DURCHMESSER X 0,25" DICKE, +/-0,010" ALLE, GEBOHRT UND GEWINDEGEBOHRT 6-32 ZENTRALES LOCH, 0,133" TIEF, MIT SCHLÜSSEL 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % pur Ex Ta US-Pistolen EJTNBXX353K4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Niob Niob Target, Nb, 99,95 % rein EX Ta, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT SCHLÜSSEL, FÜR 3" TORUS MAG KEEPER 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % pur Ex Ta TORUS Mag Keeper 3 2 EJTNBXX353TK4 Auf Anfrage Auf Lager
Niob Niob Target, Nb, 99,99 % rein EX Ta, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT SCHLÜSSEL, FÜR 3" TORUS MAG KEEPER 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,99% pur Ex Ta TORUS Mag Keeper 3 2 EJTNBXX403TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Niob Niob Target, Nb, 99,95 % rein EX Ta, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % pur Ex Ta die meisten Standardkanonen 1 EJTNBXX354A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Niob Niob Target, Nb, 99,95 % rein EX Ta, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % pur Ex Ta die meisten Standardkanonen 1 EJTNBXX354A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Niob Niob Target, Nb, 99,95 % rein EX Ta, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" DURCHMESSER, +0,010"/-0 DICKE, MIT SCHLÜSSEL, FÜR 4" TORUS MAG KEEPER 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % pur Ex Ta TORUS Mag Keeper 4 2 EJTNBXX354TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Niob NIOBIUM FOLIE, Nb, 99,95 % rein EX Ta, 57 MM DURCHMESSER X 0.3 MM DICKE, +/-0.25 MM DM, +/-0.038 MM THICKNESS 57 mm Dia. x 0,3 mm Thick 99,95 % pur Ex Ta KJL81086 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Niob Niob Target, Nb, 99,95 % rein EX Ta, 6,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 6,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % pur Ex Ta die meisten Standardkanonen 1 EJTNBXX356A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Niob Niob Target, Nb, 99,95 % rein (Ex Ta), 6,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 6,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % pur Ex Ta die meisten Standardkanonen 1 EJTNBXX356A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Niob Niob Target, Nb, 99,95 % rein (EX Ta), 8,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 8,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % pur Ex Ta die meisten Standardkanonen 1 EJTNBXX358A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Niob Niob Target, Nb, 99,95 % PURE (Ex. Ta), 8,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/- 0,010" ALLE 8,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % pur Ex Ta die meisten Standardkanonen 1 EJTNBXX358A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
2.
Gebundene Baugruppen zur Verwendung in TORUS Mag Keeper Pistolen erfordern Elastomer-Verbindungen.

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