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Nickel-Eisen (Ni/Fe) Sputtertargets

Nickel-Eisen (Ni/Fe)-Sputtertargets Überblick

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. Klicken Sie bitte hier, wenn Sie direkt mit jemandem über die aktuellen Preise sprechen oder ein Angebot für Sputtertargets und andere nicht aufgeführte Beschichtungsprodukte anfordern möchten.

Nickel-Eisen (Ni/Fe) Allgemeine Informationen

Nickel ist ein hartes, glänzendes, silbrig weißes Metall. Es hat eine Dichte von 8,91 g/cm³, einen Schmelzpunkt von 1.453 °C und einen Dampfdruck von 10^-4 Torr bei 1.262 °C. Eisen ist weich, grau und metallisch. Es hat eine Dichte von 7,86 g/cm³, einen Schmelzpunkt von 1.535 °C und einen Dampfdruck von 10^-4 Torr bei 1.180 °C. Die theoretische Dichte der Nickel/Eisen-Legierung 81/19 WT% beträgt 8,7 g/cc. Eisen ist sehr reaktionsfreudig gegenüber Luft und bildet Rostflecken, die abplatzen und saubere, oxidationsanfällige Oberflächen freilegen. Nickel und Eisen sind die häufigsten Elemente im Erdkern und zwei der am häufigsten verwendeten Metalle in der modernen Industrie. Beide Elemente sind ferromagnetisch, duktil und leiten Wärme und Elektrizität. Natürlich vorkommende Nickel-Eisen-Legierungen finden sich häufig in Meteoriten. Bei der Herstellung von Halbleitern und magnetischen Speichermedien werden Nickel-Eisen-Legierungen häufig im Vakuum zu Schichten verdampft.

Nickel-Eisen (Ni/Fe)-Spezifikationen

Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

• Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
• Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
• Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
• Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
• Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
• Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
• Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.