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Palladium (Pd) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here .

Palladium (Pd) General Information

Palladium ist ein silbrig weißes Edelmetall, das eine starke Ähnlichkeit mit Platin aufweist. Es hat einen Schmelzpunkt von 1.554 °C, eine Dichte von 12,038 g/cc und einen Dampfdruck von 10-4 Torr bei 1.192 °C. Es gehört im Periodensystem zur Platingruppe der Metalle. Es hat den niedrigsten Schmelzpunkt der Elemente dieser Gruppe und ist am wenigsten dicht. Palladium ist bemerkenswert formbar, duktil und korrosionsbeständig. Wie Platin wird es in der Industrie vor allem als Katalysator eingesetzt. Es findet sich auch in Schmuck und chirurgischen Instrumenten. Palladium wird unter Vakuum für die Herstellung von Halbleitern, Sensoren und Datenspeichern verdampft.

Palladium (Pd) Specifications

WerkstofftypPalladium
SymbolPd
Atomares Gewicht106,42
Ordnungszahl46
Farbe und AussehenSilbrig weiß, metallisch
Wärmeleitfähigkeit72 W/m.K
Schmelzpunkt (°C)1.554
Wärmeausdehnungskoeffizient11,8 x 10-6/K
Theoretische Dichte (g/cm³)12,02
Z-Verhältnis0,357
SputterGleichspannung
Max. Leistungsdichte*
(Watt/Quadratzoll)
100*
Art des BondingIndium, Elastomer
BemerkungenLegiert mit hochschmelzenden Metallen.

* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.


Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Hinweise:
  • Volume Pricing Available: Großmengenpreise sind auf Anfrage verfügbar. Please contact us with your required quantity.
  • Precious Metals Recycling Program: Wir bieten ein Recyclingprogramm für Edelmetalle an, mit dem Sie Ihre Materialkosten senken können. Klicken Sie hier für Details.

SDS
Click here for the Palladium SDS.
Edelmetalle
Aufbereitungsservice
Wir bieten ein Programm zur Aufbereitung von Edelmetallen an, mit dem Sie Ihre Materialkosten senken können.
Kostenvoranschlag erhalten
Sie können die Größe oder den Werkstoff, die/den Sie brauchen, nicht finden? Bitte nutzen Sie unser Werkstoffangebotsformular, um eine Bestellung aufzugeben.
FAQ zu den Depositionsmaterialien
Click here for answers to some of the most common questions we are asked.
Kontakt
Kontakt
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Process Equipment Expertise
Process Equipment Expertise

By staying on the leading edge of engineering and technology, we offer our customers the advantage of unparalleled knowledge and expertise in the manufacturing of TORUS® Magnetron Sputtering Cathodes and Thin Film Deposition Vacuum Systems.

Bestelltabelle

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Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Palladium PALLADIUM TARGET, Pd, 99,95 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +0/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPDXX351A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Palladium PALLADIUM TARGET, Pd, 99,95 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPDXX351A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Palladium PALLADIUM TARGET, Pd, 99,95 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,0625" DICKE, +0/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,0625" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPDXX352A1 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Palladium PALLADIUM TARGET, Pd, 99,95 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +0/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPDXX352A2 $7.400,00 Auf Lager
Palladium PALLADIUM TARGET, Pd, 99,95 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +0/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPDXX352A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Palladium PALLADIUM TARGET, Pd, 99,95 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,0625" DICKE, +0/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,0625" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPDXX353A1 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Palladium PALLADIUM TARGET, Pd, 99,95 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +0/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPDXX353A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Palladium PALLADIUM TARGET, Pd, 99,95 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +0/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPDXX353A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Palladium PALLADIUM TARGET, Pd, 99,95 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +0/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPDXX354A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Palladium PALLADIUM TARGET, Pd, 99,95 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +0/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPDXX354A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Palladium PALLADIUM TARGET FÜR KJL108 SYSTEM, Pd, 99,95 % REIN, 57 MM DURCHMESSER x 0.1MM, +0/-0.25 MM DM, +0.125MM/-0 DICKE 57 mm Dia. x 0,1 mm Thick 99,95 % KJL81004 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Palladium PALLADIUM TARGET FOR KJL108, Pd, 99,95 % REIN, 57 MM DIAMETER x 0.2 MM THICK, +/-0.125 MM ALLE 57 mm Dia. x 0,2 mm Thick 99,95 % KJL81008 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Palladium PALLADIUM TARGET, Pd, 99,95 % REIN, 57 MM DURCHMESSER X 1 MM DICKE, +0/-0.25 MM DM, +0/-0.125 MM THK 57 mm Durchmesser x 1 mm Dicke 99,95 % KJL81031 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Palladium Palladium-Zirkular-Sputtertarget (6,0") Durchmesser x 0,125" Dicke, 99,95 % rein) 6,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPDXX356A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Palladium Palladium-Zirkular-Sputtertarget (6,0") Durchmesser x 0,250" Dicke, 99,95 % rein) 6,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPDXX356A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Palladium PALLADIUM TARGET, Pd, 99,95 % REIN, 8,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +0/-0,010" ALLE 8,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPDXX358A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Palladium PALLADIUM TARGET, Pd, 99,95 % REIN, 8,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +0/-0,010" ALLE 8,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPDXX358A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.

Bestelltabelle für gebondete Baugruppen

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Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Palladium PALLADIUM TARGET, Pd, 99,95 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +0/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Indium 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUPDXX351A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Palladium PALLADIUM TARGET, Pd, 99,95 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +0/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Indium 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUPDXX352A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Palladium PALLADIUM TARGET, Pd, 99,95 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +0/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR MAG KEEPER 2 PRO ZEICHNUNG 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Elastomer 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 2 2 EJUPDXX352TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Palladium PALLADIUM TARGET, Pd, 99,95 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Indium 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUPDXX353A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Palladium PALLADIUM TARGET, Pd, 99,95 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +0/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR 3" TORUS MAG KEEPER 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 3 2 EJUPDXX353TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Palladium PALLADIUM TARGET, Pd, 99,95 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Indium 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUPDXX354A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
2.
Gebundene Baugruppen zur Verwendung in TORUS Mag Keeper Pistolen erfordern Elastomer-Verbindungen.
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