Permalloy (Ni/Fe/Mo/Mn) Sputtertargets
Permalloy (Ni/Fe/Mo/Mn)-Sputtertargets Überblick
Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. Klicken Sie bitte hier, wenn Sie direkt mit jemandem über die aktuellen Preise sprechen oder ein Angebot für Sputtertargets und andere nicht aufgeführte Beschichtungsprodukte anfordern möchten.
Permalloy (Ni/Fe/Mo/Mn)-Spezifikationen
| Werkstofftyp | Permalloy® † |
| Symbol | Ni/Fe/Mo/Mn |
| Schmelzpunkt (°C) | 1.395 |
| Theoretische Dichte (g/cm³) | 8,7 |
| Ferromagnetisch | Magnetischer Werkstoff |
| Z-Verhältnis | **1,00 |
| Sputter | Gleichspannung |
| Bemerkungen | abgeschiedener Film enthält wenig Ni. |
** Das Z-Verhältnis ist unbekannt. Daher empfehlen wir die Verwendung von 1,00 oder einen experimentell bestimmten Wert. Bitte klicken Sie hier, um Anweisungen zum Bestimmen dieses Werts zu erhalten.
Z-Faktoren
Empirische Bestimmung des Z-Faktors
Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:
- Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
- Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
- Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
- Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
- Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
- Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
- Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.
Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.
Bestelltabelle
| Werkstoff | Beschreibung | Größe | Kompatible(s) Sputterkanonen | Teilenummer | Preis | Auf Lager | Zum Warenkorb hinzufügen | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Werkstoff | Beschreibung | Größe | Kompatible(s) Sputterkanonen | Teilenummer | Preis | Auf Lager | Zum Warenkorb hinzufügen | |
| Permalloy |
PERMLEGIERUNG/HYMU 80 TARGET, |
2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | Siehe Handbuch für Sputterpistolen | EJTPERM252A2 | $215,00 |
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| Permalloy |
PERMLEGIERUNG/HYMU 80 TARGET, |
2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke | Siehe Handbuch für Sputterpistolen | EJTPERM252A4 | Auf Anfrage |
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| Permalloy |
PERMLEGIERUNG/HYMU 80 TARGET, |
3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | Siehe Handbuch für Sputterpistolen | EJTPERM253A2 | $360,00 |
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| Permalloy |
PERMLEGIERUNG/HYMU 80 TARGET, |
3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke | Siehe Handbuch für Sputterpistolen | EJTPERM253A4 | $370,00 |
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| Permalloy |
PERMLEGIERUNG/HYMU 80 TARGET, |
4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke | Siehe Handbuch für Sputterpistolen | EJTPERM254A2 | Auf Anfrage |
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| Permalloy |
PermLegierung-Zirkular-Sputtertarget (4,0") Durchmesser x 0,250" Dicke, |
4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke | Siehe Handbuch für Sputterpistolen | EJTPERM254A4 | Auf Anfrage |
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