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Blei-Zirkonium-Titanat (PZT, (verschiedene Kompositionen)) Sputtertargets

Lead Zirconium Titanate (PZT, (Various Compositions)) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here.


Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Hinweise:
  • Für diese Materialien wird ein „Elastomer-Bonding“ empfohlen. Viele Materialien haben Eigenschaften, die für Sputtern nicht geeignet sind, wie z. B. Sprödigkeit und geringe Wärmeleitfähigkeit. Um mehr Informationen zu erhalten, klicken Sie bitte hier.
  • Dieses Material kann spezielle Verfahren zum Hochfahren und Runterfahren erfordern. Dieser Vorgang kann bei anderen Materialien entfallen. Targets mit geringer Wärmeleitfähigkeit sind anfällig für Temperaturschocks. Bitte klicken Sie hier, für nähere Informationen zum Rampenverfahrenn für die Konditionierung keramischer Targets.

SDS
Click here for the Lead Zirconium Titanate SDS.

WARNUNG

Kalifornische Eigenschaften 65

  • Krebs
  • Reproduktionsschäden
www.p65warnings.ca.gov
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FAQ zu den Depositionsmaterialien
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Process Equipment Expertise
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By staying on the leading edge of engineering and technology, we offer our customers the advantage of unparalleled knowledge and expertise in the manufacturing of TORUS® Magnetron Sputtering Cathodes and Thin Film Deposition Vacuum Systems.

Bestelltabelle

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Werkstoff Komposition Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Komposition Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Blei-Zirkon-Titanat PbZr(.2)Ti(.8)03 BLEI-ZIRKONIUMTITANAT-TARGET, PZT, PbZr(.2)Ti(.8)03, 99,9 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL038 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat Pb10,1(Zr0,2Ti0,8)O3 BLEI-ZIRKONIUMTITANAT-TARGET, PZT, Pb10,1(Zr0,2Ti0,8)O3, 99,9 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,25" DICKE, +/-0,010" ALLE, BESTE MASSNAHMEN 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL015 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat PbZr(.20)Ti(.80)O3 BLEI-ZIRKONIUMTITANAT-TARGET, PZT, PbZr(.20)Ti(.80)O3, 99,9 % REIN,1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL017 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat Pb1.1Zr(.55)Ti(.45)O3 BLEI-ZIRKONIUMTITANAT-TARGET, PZT, Pb1.1Zr(.55)Ti(.45)O3, 99,9 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL018 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat Pb1.1Zr(.65)Ti(.35)O3 BLEI-ZIRKONIUMTITANAT-TARGET, PZT, Pb1.1Zr(.65)Ti(.35)O3, 99,9 % REIN,1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL019 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat Pb1.1Zr(.92)Ti(.08)O3 BLEI-ZIRKONIUMTITANAT-TARGET, PZT, Pb1.1Zr(.92)Ti(.08)O3, 99,9 % REIN,1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL020 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat PbZr(.30)Ti(.70)O3 BLEI-ZIRKONIUMTITANAT-TARGET, PZT, PbZr(.30)Ti(.70)O3, 99,9 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,25" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL024 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat PbZr(.70)Ti(.30)O3 BLEI-ZIRKONIUMTITANAT-TARGET, PZT, PbZr(.70)Ti(.30)O3, 99,9 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,25" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL025 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat Pb10,1(Zr0,52Ti0,48)O3 BLEI-ZIRKONIUMTITANAT-TARGET, PZT, Pb10,1(Zr0,52Ti0,48)O3, 99,9 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL027 Auf Anfrage Auf Lager
Blei-Zirkon-Titanat Pb10,1(Zr0,8Ti0,2)O3 BLEI-ZIRKONIUMTITANAT-TARGET, PZT, Pb10,1(Zr0,8Ti0,2)O3, 99,9 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL028 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat Pb10,1(Zr0,3Ti0,7)O3 BLEI-ZIRKONIUMTITANAT-TARGET, PZT, Pb10,1(Zr0,3Ti0,7)O3, 99,9 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALL **Dichte 6,6g/cc-7,5g/cc** 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL039 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat Pb1.2(Zr.46Ti.54)O3 BLEI-ZIRKONIUMTITANAT-TARGET, PZT, Pb1.2(Zr.46Ti.54)O3, 99,9 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL004 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat Pb10,1(Zr0,52Ti0,48)O3 BLEI-ZIRKONIUMTITANAT-TARGET, PZT, Pb10,1(Zr0,52Ti0,48)O3, 99,9 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, BESTE MASSNAHMEN 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL005 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat Pb1.2(Zr.53Ti.47)O3 BLEI-ZIRKONIUMTITANAT-TARGET, PZT, Pb1.2(Zr.53Ti.47)O3, 99,9 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE , +/-0,010" 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL008 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat Pb10,1(Zr0,2Ti0,8)O3 BLEI-ZIRKONAT-TITANAT-TARGET, PZT, Pb10,1(Zr0,2Ti0,8)O3, 99,9 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL016 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat PbZr(.50)Ti(.50)O3 BLEI-ZIRKONIUMTITANAT-TARGET, PZT, PbZr(.50)Ti(.50)O3, 99,9 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL021 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat PbZr(.20)Ti(.80)O3 BLEI-ZIRKONIUMTITANAT-TARGET, PZT, PbZr(.20)Ti(.80)O3, 99,9 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL023 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat Pb1,2(Zr0,3Ti0,7)O3 BLEI-ZIRKONAT-TITANAT-TARGET, PZT, Pb1,2(Zr0,3Ti0,7)O3, 99,9 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL044 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat PbZr(.35)Ti(.65)O3 BLEI-ZIRKONIUMTITANAT-TARGET, PZT, PbZr(.35)Ti(.65)O3, 99,9 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/−0,010" ALL 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL050 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat Pb10,1(Zr0,52Ti0,48)O3 BLEI-ZIRKONIUMTITANAT-TARGET, PZT, Pb10,1(Zr0,52Ti0,48)O3, 99,9 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL034 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat Pb10,1(Zr0,2Ti0,8)O3 BLEI-ZIRKONAT-TITANAT-TARGET, PZT, Pb10,1(Zr0,2Ti0,8)O3, 99,9 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, BESTE MASSNAHMEN 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL035 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat Pb1,2(Zr0,2Ti0,8)O3 BLEI-ZIRKONAT-TITANAT-TARGET, PZT, Pb1,2(Zr0,2Ti0,8)O3, 99,9 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, BESTE MASSNAHMEN 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL049 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat Pb10,1(Zr0,1Ti0,9)O3 BLEI-ZIRKONIUMTITANAT-TARGET, PZT, Pb10,1(Zr0,1Ti0,9)O3, 99,9 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, BESTE MASSNAHMEN 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL053 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat Pb1.1(Zr.52Ti.48)O3 BLEI-ZIRKONIUMTITANAT-TARGET, PZT, Pb1.1(Zr.52Ti.48)O3, 99,9 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL006 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat Pb1.2(Zr.52Ti.48)O3 W/ 1 AT% Nb BLEIZIRKONIUMTITANAT-TARGET, DOTIERT MIT NIOBIUM, Pb10,2(Zr0,52Ti,48)O3 W/1AT% Nb, 99,9 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010", DICHTE ~7,5G/CC 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL011 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat Pb1.1(Zr.30Ti.70)O3 W/1 AT% Nb BLEIZIRKONIUMTITANAT-TARGET, DOTIERT MIT NIOBIUM, Pb1,1(Zr.30Ti,70)O3 W/1AT% Nb, 99,9 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL012 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat Pb1.2(Zr.52Ti.48)O3 BLEI-ZIRKONIUMTITANAT-TARGET, PZT, Pb1.2(Zr.52Ti.48)O3, 99,9 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, BESTE MASSNAHMEN 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL51 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat Pb10,1(Zr0,2Ti0,8)O3 BLEI-ZIRKONAT-TITANAT-TARGET, PZT, Pb10,1(Zr0,2Ti0,8)O3, 99,9 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL003 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat Pb10,1(Zr0,52Ti0,48)O3 BLEI-ZIRKONIUMTITANAT-TARGET, PZT, Pb10,1(Zr0,52Ti0,48)O3, 99,9 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTPZTSPL031 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.

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Werkstoff Beschreibung Komposition Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
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Blei-Zirkon-Titanat BLEI-ZIRKONIUMTITANAT-TARGET, PZT, Pb1.2(Zr.52Ti.48)O3, 99,9 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE Pb1.2(Zr.52Ti.48)O3 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUPZTO303E4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat BLEI-ZIRKONAT-TITANAT-TARGET, PZT, Pb10,1(Zr0,2Ti0,8)O3, 99,9 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT SCHLÜSSEL, 2-56 SCHRAUBE Pb10,1(Zr0,2Ti0,8)O3 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % Elastomer 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke US-Pistolen EJUPZTSPL016K Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Blei-Zirkon-Titanat BLEI-ZIRKONIUMTITANAT-TARGET, PZT, Pb1.2(Zr.52Ti.48)O3, 99,9 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE Pb1.2(Zr.52Ti.48)O3 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % Indium 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUPZTSPL51 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability

 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
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