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Ruthenium (Ru) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here .

Ruthenium (Ru) General Information

Ruthenium is a rare metal which belongs to the platinum group of elements on the Periodic Table. Es hat einen Schmelzpunkt von 2.310 °C, eine Dichte von 12,3 g/cc und einen Dampfdruck von 10-4 Torr bei 2.260 °C. It is silvery white in appearance and typically alloyed with other metals to improve durability and corrosion resistance. Its compounds are often found in electrical contacts and computer microchips. It is evaporated under vacuum to produce semiconductors, magnetic storage media, and fuel cells.

Ruthenium (Ru) Specifications

WerkstofftypRuthenium
SymbolRu
Atomares Gewicht101,07
Ordnungszahl44
Farbe und AussehenSilbrig weiß, metallisch
Wärmeleitfähigkeit120 W/m.K
Schmelzpunkt (°C)2.310
Wärmeausdehnungskoeffizient6,4 x 10-6/K
Theoretische Dichte (g/cm³)12,3
Z-Verhältnis0,182
SputterGleichspannung
Max. Leistungsdichte*
(Watt/Quadratzoll)
100*
Art des BondingIndium, Elastomer

* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.


Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Hinweise:
  • Für diese Materialien wird ein Bonding empfohlen. Viele Materialien haben Eigenschaften, die für Sputtern nicht geeignet sind, wie z. B. Sprödigkeit und geringe Wärmeleitfähigkeit. Um mehr Informationen zu erhalten, klicken Sie bitte hier.
  • Dieses Material kann spezielle Verfahren zum Hochfahren und Runterfahren erfordern. Dieser Vorgang kann bei anderen Materialien entfallen. Targets mit geringer Wärmeleitfähigkeit sind anfällig für Temperaturschocks. Bitte klicken Sie hier, für nähere Informationen zum Rampenverfahrenn für die Konditionierung keramischer Targets.

SDS
Click here for the Ruthenium SDS.
Edelmetalle
Aufbereitungsservice
Wir bieten ein Programm zur Aufbereitung von Edelmetallen an, mit dem Sie Ihre Materialkosten senken können.
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Sie können die Größe oder den Werkstoff, die/den Sie brauchen, nicht finden? Bitte nutzen Sie unser Werkstoffangebotsformular, um eine Bestellung aufzugeben.
FAQ zu den Depositionsmaterialien
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Process Equipment Expertise
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By staying on the leading edge of engineering and technology, we offer our customers the advantage of unparalleled knowledge and expertise in the manufacturing of TORUS® Magnetron Sputtering Cathodes and Thin Film Deposition Vacuum Systems.

Bestelltabelle

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Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Ruthenium RUTHENIUM TARGET, Ru, 99,95 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTRUXX351A2 Auf Anfrage Auf Lager
Ruthenium RUTHENIUM TARGET, Ru, 99,95 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE,+/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTRUXX351A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Ruthenium RUTHENIUM TARGET, Ru, 99,95 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +0/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTRUXX352A2 Auf Anfrage Auf Lager
Ruthenium RUTHENIUM TARGET, Ru, 99,95 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +0/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTRUXX352A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Ruthenium RUTHENIUM TARGET, Ru, 99,95 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +0/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTRUXX353A2 Auf Anfrage Auf Lager
Ruthenium RUTHENIUM TARGET, Ru, 99,95 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +0/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTRUXX353A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Ruthenium RUTHENIUM TARGET, Ru, 99,95 % REIN, 3,00" DIAMETER X 6 MM THICK, +0/-0,010" ALLE 3,00” Dia. x 6 mm Thick 99,95 % EJTRUXXSPL12 Auf Anfrage Auf Lager
Ruthenium RUTHENIUM TARGET, Ru, 99,95 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +0/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTRUXX354A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Ruthenium RUTHENIUM TARGET, Ru, 99,95 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +0/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTRUXX354A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.

Bestelltabelle für gebondete Baugruppen

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Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Ruthenium RUTHENIUM TARGET, Ru, 99,95 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +0/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Indium 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJURUXX352A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Ruthenium RUTHENIUM TARGET, Ru, 99,95 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +0/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR 2" TORUS MAG KEEPER 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Elastomer 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 2 2 EJURUXX352TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Ruthenium RUTHENIUM TARGET, Ru, 99,95 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +0/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR 3" TORUS MAG KEEPER 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 3 2 EJURUXX353TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Ruthenium RUTHENIUM TARGET, Ru, 99,95 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +0/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Elastomer 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJURUXX354A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Ruthenium RUTHENIUM TARGET, Ru, 99,95 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +0/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR KJLC TORUS MAG KEEPER 4, PRO ZEICHNUNG 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Elastomer 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 4 2 EJURUXX354TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
2.
Gebundene Baugruppen zur Verwendung in TORUS Mag Keeper Pistolen erfordern Elastomer-Verbindungen.
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