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Selen (Se) Sputtertargets

Selenium (Se) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here.

Selenium (Se) Specifications

WerkstofftypSelen
SymbolSe
Atomares Gewicht78,96
Ordnungszahl34
Farbe und AussehenGrau, metallischer Glanz, nichtmetallisch
Wärmeleitfähigkeit0,52 W/m.K
Schmelzpunkt (°C)217
Theoretische Dichte (g/cm³)4,81
Z-Verhältnis0,864
UN-Nummer 3283
BemerkungenSchlecht für Vakuumsysteme. Materialien mit hohem Dampfdruck und niedrigem Schmelzpunkt sind nicht ideal für das Sputtern.

Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Hinweise:
  • Einige Materialien und Herstellungsmethoden können zu Produkten mit Oberflächenfehlern führen. In vielen Fällen sind diese Unvollkommenheiten lediglich optische Mängel. Die Leistung kann je nach Prozessanforderungen beeinträchtigt werden.
  • Einige Materialien und Herstellungsmethoden können Produkte mit einer überdurchschnittlichen Porosität ergeben. Die Leistung kann je nach Prozessanforderungen beeinträchtigt werden.
  • This material has a relatively high vapor pressure at low temperatures which can cause ppm level contamination in the chamber and subsequent films. Careful consideration should be taken before this material is used in any deposition system. For this reason, some users prefer to use only dedicated vacuum chambers for deposition.

Hazard Notes:
  • Hazardous Materials: Es können Gebühren für das Versenden von Gefahrengut anfallen.
SDS
Click here for the Selenium SDS.
Kostenvoranschlag erhalten
Sie können die Größe oder den Werkstoff, die/den Sie brauchen, nicht finden? Bitte nutzen Sie unser Werkstoffangebotsformular, um eine Bestellung aufzugeben.
FAQ zu den Depositionsmaterialien
Click here for answers to some of the most common questions we are asked.
Kontakt
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Process Equipment Expertise
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By staying on the leading edge of engineering and technology, we offer our customers the advantage of unparalleled knowledge and expertise in the manufacturing of TORUS® Magnetron Sputtering Cathodes and Thin Film Deposition Vacuum Systems.

Bestelltabelle

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Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Selen SELEN TARGET, Se, 99,999 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, GEFAHRGUTTRANSPORT, BESTE MAßNAHMEN FÜR DAS ERSCHEINUNGSBILD GETROFFEN 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSEXX501A2 $343,00 Contact KJLC for Availability
Selen SELEN TARGET, Se, 99,999 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, GEFAHRGUTTRANSPORT, BESTE MAßNAHMEN FÜR DAS ERSCHEINUNGSBILD GETROFFEN 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSEXX501A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Selen SELEN TARGET, Se, 99,999 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, GEFAHRGUTTRANSPORT, BESTE MAßNAHMEN FÜR DAS ERSCHEINUNGSBILD GETROFFEN 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSEXX502A2 $425,00 Auf Lager
Selen SELEN TARGET, Se, 99,999 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, GEFAHRGUTTRANSPORT, BESTE MAßNAHMEN FÜR DAS ERSCHEINUNGSBILD GETROFFEN 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSEXX502A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Selen SELEN TARGET, Se, 99,999 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, GEFAHRGUTTRANSPORT, BESTE MAßNAHMEN FÜR DAS ERSCHEINUNGSBILD GETROFFEN 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSEXX503A2 $750,00 Contact KJLC for Availability
Selen SELEN TARGET, Se, 99,999 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, GEFAHRGUTTRANSPORT, BESTE MAßNAHMEN FÜR DAS ERSCHEINUNGSBILD GETROFFEN 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSEXX503A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Selen SELEN TARGET, Se, 99,999 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, GEFAHRGUTTRANSPORT, BESTE MAßNAHMEN FÜR DAS ERSCHEINUNGSBILD GETROFFEN 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSEXX504A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Selen Selen-Zirkular-Sputtertarget (4,0") Durchmesser x 0,250" Dicke, 99,999 % rein) 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSEXX504A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.

Bestelltabelle für gebondete Baugruppen

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Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Selen SELEN TARGET, Se, 99,999 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, GEFAHRGUTTRANSPORT, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR TORUS MAG KEEPER 2, PRO ZEICHNUNG 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % Elastomer 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 2 1 EJUSEXX502TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability

 Hinweise: 
1.
Gebundene Baugruppen zur Verwendung in TORUS Mag Keeper Pistolen erfordern Elastomer-Verbindungen.
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