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Silizium (Si (N-Typ)) Sputtertargets

Silicon (Si (N-type)) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here .

Silicon (Si (N-type)) Specifications

WerkstofftypSilicium (N-Typ)
SymbolSi (N-Typ)
Atomares Gewicht28,0855
Ordnungszahl14
Farbe und AussehenDunkelgrau mit bläulicher Färbung, halbmetallisch
Wärmeleitfähigkeit150 W/m.K
Schmelzpunkt (°C)1.410
Massenwiderstand<0.1 OHM-CM
Wärmeausdehnungskoeffizient2,6 x 10-6/K
Theoretische Dichte (g/cm³)2,32
DotierstoffPhosphor, Arsen oder Antimon
Z-Verhältnis0,712
SputterDC, RF
Max. Leistungsdichte*
(Watt/Quadratzoll)
40*
Art des BondingIndium, Elastomer

* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.


Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Hinweise:
  • Für diese Materialien wird ein Bonding empfohlen. Viele Materialien haben Eigenschaften, die für Sputtern nicht geeignet sind, wie z. B. Sprödigkeit und geringe Wärmeleitfähigkeit. Um mehr Informationen zu erhalten, klicken Sie bitte hier.
  • Dieses Material kann spezielle Verfahren zum Hochfahren und Runterfahren erfordern. Dieser Vorgang kann bei anderen Materialien entfallen. Targets mit geringer Wärmeleitfähigkeit sind anfällig für Temperaturschocks. Bitte klicken Sie hier, für nähere Informationen zum Rampenverfahrenn für die Konditionierung keramischer Targets.

SDS
Click here for the Silicon SDS.
Produktdatenblatt
Klicken Sie hier für ein herunterladbares Datenblatt über die Silizium Si (N-Typ) Sputtertargets.
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FAQ zu den Depositionsmaterialien
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Process Equipment Expertise
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By staying on the leading edge of engineering and technology, we offer our customers the advantage of unparalleled knowledge and expertise in the manufacturing of TORUS® Magnetron Sputtering Cathodes and Thin Film Deposition Vacuum Systems.

Bestelltabelle

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Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Silizium Silikon Target, Si, N-TYP <0,1 OHM-CM, 99,999 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTNSIX501A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Silizium Silikon Target, Si, N-TYP <0,1 OHM-CM, 99,999 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTNSIX501A4 $204,00 Auf Lager
Silizium Silikon Target, Si, N-TYP <0,1 OHM-CM, 99,999 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTNSIX502A2 $199,00 Auf Lager
Silizium Silikon Target, Si, N-TYP <0,1 OHM-CM, 99,999 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTNSIX502A4 $286,00 Auf Lager
Silizium Silikon Target, Si, N-TYP <0,1 OHM-CM, 99,999 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTNSIX503A2 $378,00 Auf Lager
Silizium Silikon Target, Si, N-TYP <0,1 OHM-CM, 99,999 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTNSIX503A4 $383,00 Auf Lager
Silizium Silikon Target, Si, N-TYP <0,1 OHM-CM, 99,999 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTNSIX504A2 $306,00 Auf Lager
Silizium Silikon Target, Si, N-TYP <0,1 OHM-CM, 99,999 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTNSIX504A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Silizium Silikon (Si) Zirkular-Sputtertarget (4,75" x 14,875" x 0,250", 99,9999 % rein) 4,75" x 14,875" x 0,250" 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTNSIXMRCA4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Silizium Silikon Target, Si, N-TYP <0,1 OHM-CM, 99,999 % REIN, 5,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 5,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTNSIX505A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Silizium Silikon-Zirkular-Sputtertarget (5,0" Durchmesser x 0,250" Dicke, 99,9999 % rein) 5,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTNSIX505A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Silizium Silikon Target, Si, N-TYP <0,1 OHM-CM, 99,999 % REIN, 6,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 6,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 Begrenzte Verfügbarkeit und besonders günstig. EJTNSIX506A2 Auf Anfrage Auf Lager
Silizium Silikon Target, Si, 99,999 % REIN, N-TYP, MONOKRISTALLIN, 0,005-0,020 OHM-CM, 6,00" DURCHMESSER X 0,25" DICKE, +/-0,010" ALLE 6,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTNSIX506A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Silizium Silikon-Zirkular-Sputtertarget (8,0" Durchmesser x 0,125" Dicke, 99,9999 % rein) 8,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTNSIX508A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Silizium Silikon Target, Si, 99,999 % REIN, N-TYP, MONOKRISTALLIN, <0.1OHM-CM, 8,00" DURCHMESSER X 0,25" DICKE , +/-0,010" ALLE 8,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,999 % die meisten Standardkanonen 1 EJTNSIX508A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
Begrenzte Verfügbarkeit und besonders günstig.

Bestelltabelle für gebondete Baugruppen

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Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Silizium Silikon Target, Si, N-TYP <0,1 OHM-CM, 99,999 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % Indium 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUNSIX501A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Silizium Silikon Target, Si, N-TYP <0,1 OHM-CM, 99,999 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % Indium 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUNSIX502A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Silizium Silikon Target, Si, N-TYP <0,1 OHM-CM, 99,999 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,092" DICKE, +/-0,010" DM, +0/-0,010" DICK, FÜR TORUS 2 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % Indium 2,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Standard TORUS 2 EJUNSIX502T4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Silizium Silikon Target, Si, N-TYP <0,1 OHM-CM, 99,999 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % Indium 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUNSIX503A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Silizium Silikon Target, Si, N-TYP <0,1 OHM-CM, 99,999 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUNSIX503E4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Silizium Silikon Target, Si, N-TYP <0,1 OHM-CM, 99,999 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,999 % Indium 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUNSIX504A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
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