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Siliziumdioxid (Quarzglas) (SiO2) Sputtertargets

Silicon Dioxide (Fused Quartz) (SiO2) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here .

Silicon Dioxide (Fused Quartz) (SiO2) General Information

Siliziumdioxid, auch Kieselsäure genannt, hat die chemische Formel SiO2. Es hat einen Schmelzpunkt von 1.610 °C, eine Dichte von 2,648 g/cc und einen Dampfdruck von 10-4 Torr bei 1.025 °C. Siliziumdioxid kommt in der Natur häufig als Sand oder Quarz vor. Es wird vor allem bei der Herstellung von Glas für Fenster und Getränkeflaschen eingesetzt. Es wird unter Vakuum für die Herstellung von optoelektronischen Geräten und Schaltkreisen verdampft.

Silicon Dioxide (Fused Quartz) (SiO2) Specifications

WerkstofftypSilicium-(IV)-oxid
SymbolSiO2
Farbe und AussehenWeißer, kristalliner Feststoff
Schmelzpunkt (°C)1.610
Theoretische Dichte (g/cm³)~2,65
Z-Verhältnis**1,00
SputterRF
Max. Leistungsdichte*
(Watt/Quadratzoll)
30*
Art des BondingIndium, Elastomer
BemerkungenQuarz eignet sich ausgezeichnet zum Elektronenstrahlverdampfen.

* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.

** Das Z-Verhältnis ist unbekannt. Daher empfehlen wir die Verwendung von 1,00 oder einen experimentell bestimmten Wert. Bitte klicken Sie hier, um Anweisungen zum Bestimmen dieses Werts zu erhalten.

Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Hinweis:
  • Dieses Material kann spezielle Verfahren zum Hochfahren und Runterfahren erfordern. Dieser Vorgang kann bei anderen Materialien entfallen. Targets mit geringer Wärmeleitfähigkeit sind anfällig für Temperaturschocks. Bitte klicken Sie hier, für nähere Informationen zum Rampenverfahrenn für die Konditionierung keramischer Targets.

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FAQ zu den Depositionsmaterialien
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Process Equipment Expertise
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Bestelltabelle

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Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Silizium Dioxid (Quarzglas) SILIZIUMDIOXID TARGET, SiO2, 99,995 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010", BODENOBERFLÄCHE 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,995 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSIO2451A2 $51,00 Auf Lager
Silizium Dioxid (Quarzglas) SILIZIUMDIOXID TARGET, SiO2, 99,995 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010", BODENOBERFLÄCHE 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,995 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSIO2451A4 $67,00 Auf Lager
Silizium Dioxid (Quarzglas) SILIZIUMDIOXID TARGET, SiO2, 99,995 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010", BODENOBERFLÄCHE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,995 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSIO2452A2 $97,00 Auf Lager
Silizium Dioxid (Quarzglas) SILIZIUMDIOXID TARGET, SiO2, 99,995 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010", BODENOBERFLÄCHE 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,995 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSIO2452A4 $128,00 Auf Lager
Silizium Dioxid (Quarzglas) SILIZIUMDIOXID TARGET, SiO2, 99,995 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, BODENOBERFLÄCHE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,995 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSIO2453A2 $153,00 Auf Lager
Silizium Dioxid (Quarzglas) SILIZIUMDIOXID TARGET, SIO2, 99,995 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010", BODENOBERFLÄCHE 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,995 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSIO2453A4 $179,00 Auf Lager
Silizium Dioxid (Quarzglas) SILIZIUMDIOXID TARGET, SiO2, 99,995 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, BODENOBERFLÄCHE 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,995 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSIO2454A2 $225,00 Auf Lager
Silizium Dioxid (Quarzglas) SILIZIUMDIOXID TARGET, SiO2, 99,995 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, BODENOBERFLÄCHE 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,995 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSIO2454A4 $250,00 Contact KJLC for Availability
Silizium Dioxid (Quarzglas) SILIZIUMDIOXID TARGET, SiO2, 99,995 % REIN, 5,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010", BODENOBERFLÄCHE 5,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,995 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSIO2455A4 $255,00 Contact KJLC for Availability
Silizium Dioxid (Quarzglas) SILIZIUMDIOXID TARGET, SiO2, 99,995 % REIN, 57 MM DIAMETER X 0,0625" THICK, +/-0.25 MM ALLE, BODENOBERFLÄCHE 57 mm Dia. x 0,0625" Thick 99,995 % KJL81077 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Silizium Dioxid (Quarzglas) SILIZIUMDIOXID TARGET, SiO2, 99,995 % REIN, 6,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010", BODENOBERFLÄCHE 6,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,995 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSIO2456A2 $281,00 Contact KJLC for Availability
Silizium Dioxid (Quarzglas) SILIZIUMDIOXID TARGET, SiO2, 99,995 % REIN, 6,00" DURCHMESSER X 0,25" DICKE, +/-0,010", BODENOBERFLÄCHENBEHANDLUNG 6,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,995 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSIO2456A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Silizium Dioxid (Quarzglas) SILIZIUMDIOXID TARGET, SiO2, 99,995 % REIN, 8,00" DURCHMESSER X 0,25" DICKE, +/-0,010" ALLE, BODENOBERFLÄCHENBEHANDLUNG 8,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,995 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSIO2458A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.

Bestelltabelle für gebondete Baugruppen

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Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Silizium Dioxid (Quarzglas) SILIZIUMDIOXID TARGET, SiO2, 99,995 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010", INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,995 % Indium 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUSIO2451A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Silizium Dioxid (Quarzglas) SILIZIUMDIOXID TARGET, SiO2, 99,995 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010", INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,995 % Indium 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUSIO2452A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Silizium Dioxid (Quarzglas) SILIZIUMDIOXID TARGET, SiO2, 99,995 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010", ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,995 % Elastomer 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUSIO2452E4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Silizium Dioxid (Quarzglas) SILIZIUMDIOXID TARGET, SiO2, 99,995 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010", INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,092" DICKE, +/-0,010" DM, +0/-0,010" DICK, FÜR TORUS 2 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,995 % Indium 2,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Standard TORUS 2 EJUSIO2452T4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Silizium Dioxid (Quarzglas) SILIZIUMDIOXID TARGET, SiO2, 99,995 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010", ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR TORUS MAG KEEPER 2, PRO ZEICHNUNG 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,995 % Elastomer 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 2 2 EJUSIO2452TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Silizium Dioxid (Quarzglas) SILIZIUMDIOXID TARGET, SiO2, 99,995 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,995 % Indium 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUSIO2453A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Silizium Dioxid (Quarzglas) SILIZIUMDIOXID TARGET, SiO2, 99,995 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT SCHLÜSSEL, 6-32 SCHRAUBE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,995 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke US-Pistolen EJUSIO2453K4 Auf Anfrage Auf Lager
Silizium Dioxid (Quarzglas) SILIZIUMDIOXID TARGET, SiO2, 99,995 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010", INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,092" DICKE, +/-0,010" DM, +0/-0,010" DICK, FÜR TORUS 3 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,995 % Indium 3,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Standard TORUS 3 EJUSIO2453T4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Silizium Dioxid (Quarzglas) SILIZIUMDIOXID TARGET, SiO2, 99,995 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR 3" TORUS MAG KEEPER 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,995 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 3 2 EJUSIO2453TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Silizium Dioxid (Quarzglas) SILIZIUMDIOXID TARGET, SiO2, 99,995 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,995 % Indium 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUSIO2454A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Silizium Dioxid (Quarzglas) SILIZIUMDIOXID TARGET, SiO2, 99,995 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR 4" TORUS MAG KEEPER 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,995 % Elastomer 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 4 2 EJUSIO2454TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Silizium Dioxid (Quarzglas) SILIZIUMDIOXID TARGET, SiO2 99,995% REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE +/- 0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 4,00" DURCHMESSER X 0,092" DICKE, +/-0,010" DM, +0/-0,010" DICK, FÜR TORUS 4 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,995 % Indium 4,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Standard TORUS 4 EJUSIO2SPL01 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
2.
Gebundene Baugruppen zur Verwendung in TORUS Mag Keeper Pistolen erfordern Elastomer-Verbindungen.
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