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Siliziumnitrid (Si3N4) Sputtertargets

Silicon Nitride (Si3N4) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here .

Silicon Nitride (Si3N4) Specifications

WerkstofftypSiliziumnitrid
SymbolSi3N4
Farbe und AussehenWeiß bis grau oder dunkelgrau bis schwarz, kristalliner Festkörper
Schmelzpunkt (°C)1.900
Theoretische Dichte (g/cm³)3,44
Z-Verhältnis**1,00
SputterRF, RF-R
Max. Leistungsdichte*
(Watt/Quadratzoll)
20*
Art des BondingIndium, Elastomer

* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.

** Das Z-Verhältnis ist unbekannt. Daher empfehlen wir die Verwendung von 1,00 oder einen experimentell bestimmten Wert. Bitte klicken Sie hier, um Anweisungen zum Bestimmen dieses Werts zu erhalten.

Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Hinweise:
  • Für diese Materialien wird ein Bonding empfohlen. Viele Materialien haben Eigenschaften, die für Sputtern nicht geeignet sind, wie z. B. Sprödigkeit und geringe Wärmeleitfähigkeit. Um mehr Informationen zu erhalten, klicken Sie bitte hier.
  • Dieses Material kann spezielle Verfahren zum Hochfahren und Runterfahren erfordern. Dieser Vorgang kann bei anderen Materialien entfallen. Targets mit geringer Wärmeleitfähigkeit sind anfällig für Temperaturschocks. Bitte klicken Sie hier, für nähere Informationen zum Rampenverfahrenn für die Konditionierung keramischer Targets.

SDS
Click here for the Silicon Nitride SDS.
Produktdatenblatt
Klicken Sie hier für ein herunterladbares Datenblatt über die Silizium Nitrit Si3N4 Sputtertargets.
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FAQ zu den Depositionsmaterialien
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Process Equipment Expertise
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By staying on the leading edge of engineering and technology, we offer our customers the advantage of unparalleled knowledge and expertise in the manufacturing of TORUS® Magnetron Sputtering Cathodes and Thin Film Deposition Vacuum Systems.

Bestelltabelle

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Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Farbe Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Farbe Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Siliziumnitrid SILIZIUMNITRID TARGET, Si3N4, 99,5 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, DUNNKELGRAU-SCHWARZ, KANN EIN UNEINHEITLICHES AUSSEHEN AUFWEISEN 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,5 % Dunkelgrau bis schwarz die meisten Standardkanonen 1 EJTSINX251A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Siliziumnitrid SILIZIUMNITRID TARGET, Si3N4, 99,9% REIN EX MgO, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,020" ALLE,WEISS-SILBERNE FARBE, HEIß GEPRESST, UNEINHEITLICHES ERSCHEINUNGSBILD 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % Weiß bis grau die meisten Standardkanonen 1 EJTSINX301A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Siliziumnitrid SILIZIUMNITRID TARGET, Si3N4, 99,5 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, DUNNKELGRAU-SCHWARZ, KANN EIN UNEINHEITLICHES AUSSEHEN AUFWEISEN 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,5 % Dunkelgrau bis schwarz die meisten Standardkanonen 1 EJTSINX251A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Siliziumnitrid SILIZIUMNITRID TARGET, Si3N4, 99,9% REIN EX MgO, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,020" ALLE, WEISS-SILBERNE FARBE, HEIß GEPRESST, UNEINHEITLICHES ERSCHEINUNGSBILD 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % Weiß bis grau die meisten Standardkanonen 1 EJTSINX301A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Siliziumnitrid SILIZIUMNITRID TARGET, Si3N4, 99,5 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, DUNNKELGRAU-SCHWARZ, KANN EIN UNEINHEITLICHES AUSSEHEN AUFWEISEN 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,5 % Dunkelgrau bis schwarz die meisten Standardkanonen 1 EJTSINX252A2 Auf Anfrage Auf Lager
Siliziumnitrid SILIZIUMNITRID TARGET, Si3N4, 99,9% REIN EX MgO, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,020" ALLE, WEISS-SILBERNE FARBE, HEIß GEPRESST, UNEINHEITLICHES ERSCHEINUNGSBILD 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % Weiß bis grau die meisten Standardkanonen 1 EJTSINX302A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Siliziumnitrid SILIZIUMNITRID TARGET, Si3N4, 99,5 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, DUNNKELGRAU-SCHWARZ, KANN EIN UNEINHEITLICHES AUSSEHEN AUFWEISEN 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,5 % Dunkelgrau bis schwarz die meisten Standardkanonen 1 EJTSINX252A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Siliziumnitrid SILIZIUMNITRID TARGET, Si3N4, 99,9% REIN EX MgO, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,020" ALLE, WEISS-SILBERNE FARBE, HEIß GEPRESST, UNEINHEITLICHES ERSCHEINUNGSBILD 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % Weiß bis grau die meisten Standardkanonen 1 EJTSINX302A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Siliziumnitrid SILIZIUMNITRID TARGET, Si3N4, 99,5 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, DUNNKELGRAU-SCHWARZ, KANN EIN UNEINHEITLICHES AUSSEHEN AUFWEISEN 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,5 % Dunkelgrau bis schwarz die meisten Standardkanonen 1 EJTSINX253A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Siliziumnitrid SILIZIUMNITRID TARGET, Si3N4, 99,9% REIN EX MgO, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,020" ALLE, WEISS-SILBERNE FARBE, HEIß GEPRESST, UNEINHEITLICHES ERSCHEINUNGSBILD 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % Weiß bis grau die meisten Standardkanonen 1 EJTSINX303A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Siliziumnitrid SILIZIUMNITRID TARGET, Si3N4, 99,5 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, DUNNKELGRAU-SCHWARZ, KANN EIN UNEINHEITLICHES AUSSEHEN AUFWEISEN 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,5 % Dunkelgrau bis schwarz die meisten Standardkanonen 1 EJTSINX253A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Siliziumnitrid SILIZIUMNITRID TARGET, Si3N4, 99,9% REIN EX MgO, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,020" ALLE, WEISS-SILBERNE FARBE, HEIß GEPRESST, UNEINHEITLICHES ERSCHEINUNGSBILD 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % Weiß bis grau die meisten Standardkanonen 1 EJTSINX303A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Siliziumnitrid SILIZIUMNITRID TARGET, Si3N4, 99,9% REIN EX MgO, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,020" ALLE, WEISS-SILBERNE FARBE, HEIß GEPRESST, UNEINHEITLICHES ERSCHEINUNGSBILD 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % Weiß bis grau die meisten Standardkanonen 1 EJTSINX304A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Siliziumnitrid SILIZIUMNITRID TARGET, Si3N4, 99,9% REIN EX MgO, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,020" ALLE, WEISS-SILBERNE FARBE, HEIß GEPRESST, UNEINHEITLICHES ERSCHEINUNGSBILD 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % Weiß bis grau die meisten Standardkanonen 1 EJTSINX304A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.

Bestelltabelle für gebondete Baugruppen

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Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Farbe Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Farbe Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Siliziumnitrid SILIZIUMNITRID TARGET, Si3N4, 99,5 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, DUNNKELGRAU-SCHWARZ, KANN EIN UNEINHEITLICHES AUSSEHEN AUFWEISEN, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT SCHLÜSSEL, 2-5 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,5 % Elastomer 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke Dunkelgrau bis schwarz US-Pistolen EJUSINX252K4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Siliziumnitrid SILIZIUMNITRID TARGET, Si3N4, 99,5 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, DUNNKELGRAU-SCHWARZ, KANN EIN UNEINHEITLICHES AUSSEHEN AUFWEISEN, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,092" DICKE, +/-0,010" DM, +0/-0,010" DICK 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,5 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Dunkelgrau bis schwarz Standard TORUS 3 EJUSINX253ET4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Siliziumnitrid SILIZIUMNITRID TARGET, Si3N4, 99,5 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, DUNNKELGRAU-SCHWARZ, KANN EIN UNEINHEITLICHES AUSSEHEN AUFWEISEN, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,092" DICKE, +/-0,010" DM, +0/-0,010" DICK 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,5 % Indium 3,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Dunkelgrau bis schwarz Standard TORUS 3 EJUSINX253T4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Siliziumnitrid SILIZIUMNITRID TARGET, Si3N4, 99,5 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, DUNNKELGRAU-SCHWARZ, KANN EIN UNEINHEITLICHES AUSSEHEN AUFWEISEN, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,5 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke Dunkelgrau bis schwarz TORUS Mag Keeper 3 1 EJUSINX253TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Siliziumnitrid SILIZIUMNITRID TARGET, Si3N4, 99,9% REIN EX MgO, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, WEISS-SILBERNE FARBE, HEIß GEPRESST, UNEINHEITLICHES ERSCHEINUNGSBILD, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % Indium 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke Weiß bis grau die meisten Standardkanonen 2 EJUSINX302A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Siliziumnitrid SILIZIUMNITRID TARGET, Si3N4, 99,9% REIN EX MgO, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, WEISS-SILBERNE FARBE, HEIß GEPRESST, UNEINHEITLICHES ERSCHEINUNGSBILD, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, Cu 101, 2,00" DURCHMESSER X 0,092" DICKE, +/-0,010" DM, +0/-0,010 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % Indium 2,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Weiß bis grau Standard TORUS 2 EJUSINX302T4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Siliziumnitrid SILIZIUMNITRID TARGET, Si3N4, 99,9% REIN EX MgO, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, WEISS-SILBERNE FARBE, HEIß GEPRESST, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % Indium 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke Weiß bis grau die meisten Standardkanonen 2 EJUSINX303A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Siliziumnitrid SILIZIUMNITRID TARGET, Si3N4, 99,9% REIN EX MgO, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, WEISS-SILBERNE FARBE, HEIß GEPRESST, UNEINHEITLICHES ERSCHEINUNGSBILD, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke Weiß bis grau die meisten Standardkanonen 2 EJUSINX303E4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Siliziumnitrid SILIZIUMNITRID TARGET, Si3N4, 99,9% REIN EX MgO, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,020" ALLE, WEISS-SILBERNE FARBE, HEIß GEPRESST, UNEINHEITLICHES ERSCHEINUNGSBILD, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,092" DICKE, +/-0,010" DM, 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Weiß bis grau Standard TORUS 3 EJUSINX303ET4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Siliziumnitrid SILIZIUMNITRID TARGET, Si3N4, 99,9% REIN EX MgO, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,020" ALLE, WEISS-SILBERNE FARBE, HEIß GEPRESST, UNEINHEITLICHES ERSCHEINUNGSBILD, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke Weiß bis grau US-Pistolen EJUSINX303K4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Siliziumnitrid SILIZIUMNITRID TARGET, Si3N4, 99,9% REIN EX MgO, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, WEISS-SILBERNE FARBE, HEIß GEPRESST, UNEINHEITLICHES ERSCHEINUNGSBILD, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,092" DICKE, +/-0,010" DM, +0/ 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % Indium 3,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Weiß bis grau Standard TORUS 3 EJUSINX303T4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Siliziumnitrid SILIZIUMNITRID TARGET, Si3N4, 99,9% REIN EX MgO, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, WEISS-SILBERNE FARBE, HEIß GEPRESST, UNEINHEITLICHES ERSCHEINUNGSBILD, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % Indium 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke Weiß bis grau die meisten Standardkanonen 2 EJUSINX304A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Siliziumnitrid SILIZIUMNITRID TARGET, Si3N4, 99,9% REIN EX MgO, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, WEISS-SILBERNE FARBE, HEIß GEPRESST, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 4,00" DURCHMESSER X 0,092" DICKE, +/-0,010" ALLE, FÜR TORUS 4 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % Indium 4,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Weiß bis grau Standard TORUS 4 EJUSINXSPL01 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Gebundene Baugruppen zur Verwendung in TORUS Mag Keeper Pistolen erfordern Elastomer-Verbindungen.
2.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
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