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Strontium Titanat (SrTiO3) Sputtertargets

Strontium-Titanat (SrTiO3)-Sputtertargets Überblick

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. Klicken Sie bitte hier, wenn Sie direkt mit jemandem über die aktuellen Preise sprechen oder ein Angebot für Sputtertargets und andere nicht aufgeführte Beschichtungsprodukte anfordern möchten.

Strontium-Titanat (SrTiO3)-Spezifikationen

WerkstofftypStrontiumtitanat
SymbolSrTiO3
Theoretische Dichte (g/cm³)4,81
Z-Verhältnis0,31
Max. Leistungsdichte*
(Watt/Quadratzoll)
20*
Art des BondingElastomer

* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.

* Die vorgeschlagenen maximalen Leistungsdichten basieren auf einer Sputterausrichtung mit optimaler Wärmeübertragung vom Target zur Sputterkathoden-Kühlwanne. Die Verwendung anderer Sputterausrichtungen oder eine schlechte thermische Schnittstelle zwischen Target und Sputterkathodenkühlung kann eine Reduzierung der vorgeschlagenen maximalen Leistungsdichte bzw. die Verwendung einer Wärmeleitpaste erfordern. Bitte kontaktieren Sie techinfo@lesker.com für spezifische Leistungsempfehlungen.

Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Hinweise:
  • special case note
    Für diese Materialien wird ein „Elastomer-Bonding“ empfohlen. Viele Materialien haben Eigenschaften, die für Sputtern nicht geeignet sind, wie z. B. Sprödigkeit und geringe Wärmeleitfähigkeit. Um mehr Informationen zu erhalten, klicken Sie bitte hier.
  • special case note
    Dieses Material kann spezielle Verfahren zum Hochfahren und Runterfahren erfordern. Dieser Vorgang kann bei anderen Materialien entfallen. Targets mit geringer Wärmeleitfähigkeit sind anfällig für Temperaturschocks. Bitte klicken Sie hier, für nähere Informationen zum Rampenverfahren für die Konditionierung keramischer Targets.
  • special case note
    Dieser Werkstoff hat einen relativ hohen Dampfdruck bei niedrigen Temperaturen, was zu Verunreinigungen im ppm-Bereich in der Kammer und den nachfolgenden Schichten führen kann. Bevor Sie diesen Werkstoff in einem Depositionssystem verwenden, sollten Sie ihn sorgfältig prüfen. Aus diesem Grund ziehen es einige Kunden vor, nur dedizierte Vakuumkammern für die Deposition zu verwenden.

SDS
Produktdatenblatt
Klicken Sie hier für ein herunterladbares Datenblatt über die Strontium Titanat SrTiO3 Sputtertargets.
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FAQ zu den Depositionsmaterialien
Klicken Sie hier für Antworten auf einige der häufigsten Fragen, die uns gestellt werden.
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Unser Team freut sich auf ihren Anruf.
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Bestelltabelle

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Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Strontiumtitanat Strontiumtitan Target, SrTiO3, 99,9 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/- 0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSRTO301A2 $678,00 Kontaktieren Sie KJLC für die Verfügbarkeit
Strontiumtitanat Strontiumtitan Target SrTiO3, 99,9 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSRTO301A4 Auf Anfrage Kontaktieren Sie KJLC für die Verfügbarkeit
Strontiumtitanat Strontiumtitan Target, SrTiO3, 99,9 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSRTO302A2 $878,00 Auf Lager
Strontiumtitanat Strontiumtitan Target, SrTiO3, 99,9 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSRTO302A4 $895,00 Kontaktieren Sie KJLC für die Verfügbarkeit
Strontiumtitanat Strontiumtitan Target, SrTiO3, 99,9 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSRTO303A2 $1.022,00 Auf Lager
Strontiumtitanat Strontiumtitan Target, SrTiO3, 99,9 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSRTO303A4 Auf Anfrage Kontaktieren Sie KJLC für die Verfügbarkeit
Strontiumtitanat Strontiumtitan Target, SrTiO3, 99,9 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSRTO304A2 Auf Anfrage Kontaktieren Sie KJLC für die Verfügbarkeit
Strontiumtitanat Strontiumtitan Target, SrTiO3, 99,9 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSRTO304A4 Auf Anfrage Kontaktieren Sie KJLC für die Verfügbarkeit
Strontiumtitanat Strontiumtitan Target, SrTiO3, 99,9 % REIN, 5,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" 5,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSRTO305A2 Auf Anfrage Kontaktieren Sie KJLC für die Verfügbarkeit
Strontiumtitanat Strontiumtitan Target, SrTiO3, 99,9 % REIN, 5,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" 5,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSRTO305A4 Auf Anfrage Kontaktieren Sie KJLC für die Verfügbarkeit
Strontiumtitanat Strontiumtitan Target, SrTiO3, 99,9 % REIN, 6,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" 6,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSRTO306A2 Auf Anfrage Kontaktieren Sie KJLC für die Verfügbarkeit
Strontiumtitanat Strontiumtitan Target, SrTiO3, 99,9 % REIN, 6,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" 6,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSRTO306A4 Auf Anfrage Kontaktieren Sie KJLC für die Verfügbarkeit
Strontiumtitanat Strontiumtitan Target, SrTiO3, 99,9 % REIN, 7,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" DICKE 7,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSRTO307A2 Auf Anfrage Kontaktieren Sie KJLC für die Verfügbarkeit
Strontiumtitanat Strontiumtitan Target, SrTiO3, 99,9 % REIN, 7,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" 7,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSRTO307A4 Auf Anfrage Kontaktieren Sie KJLC für die Verfügbarkeit
Strontiumtitanat Strontiumtitan Target, SrTiO3, 99,9 % REIN, 8,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" 8,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSRTO308A2 Auf Anfrage Kontaktieren Sie KJLC für die Verfügbarkeit
Strontiumtitanat Strontiumtitan Target, SrTiO3, 99,9 % REIN, 8,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 8,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTSRTO308A4 Auf Anfrage Kontaktieren Sie KJLC für die Verfügbarkeit
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterkanone. Lesen Sie das Handbuch der Sputterkanone, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.

Bestelltabelle für gebondete Baugruppen

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Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Größe der Trägerplatte Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Größe der Trägerplatte Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Strontiumtitanat Strontiumtitan Target, SrTiO3, 99,9 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/- 0,010", ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % Elastomer 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUSRTO301A4 Auf Anfrage Kontaktieren Sie KJLC für die Verfügbarkeit
Strontiumtitanat Strontiumtitan Target, SrTiO3, 99,9 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/- 0,010", ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % Elastomer 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUSRTO302A4 $1.282,00 Kontaktieren Sie KJLC für die Verfügbarkeit
Strontiumtitanat Strontiumtitan Target, SrTiO3, 99,9 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010", ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUSRTO303A4 $1.573,00 Kontaktieren Sie KJLC für die Verfügbarkeit
Strontiumtitanat Strontiumtitan Target, SrTiO3, 99,9 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010", ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,092" DICKE, +/-0,010" DM, +0/-0,010" DICK, FÜR TORUS 3 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Standard TORUS 3 EJUSRTO303T4 $1.573,00 Kontaktieren Sie KJLC für die Verfügbarkeit

 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterkanone. Lesen Sie das Handbuch der Sputterkanone, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
Formular für Target und Trägerplattenservice

Formular für Target und Trägerplattenservice

KJLC bietet Bonding-Dienstleistungen für sowohl von KJLC als auch vom Kunden gelieferte Targets und Trägerplatten an. Bitte füllen Sie unser Serviceformular für Target- und Trägerplatten aus, um eine Rückgabeberechtigungsnummer zu erhalten.

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