Schließen

Bitte wählen Sie das von Ihnen gewünschte Land oder die Region aus,
um auf die entsprechende Website von Lesker weitergeleitet zu werden.

Representative Image

Tantal (Ta) Sputtertargets

Tantalum (Ta) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here.

Tantalum (Ta) General Information

Tantal wird im Periodensystem als Übergangsmetall eingestuft und gilt als eines der hochkorrosionsbeständigen Refraktärmetalle. Tantal hat einen Schmelzpunkt von 3.017 °C, eine Dichte von 16,6 g/cc und einen Dampfdruck von 10-4 Torr bei 2.590 °C. Es ist metallisch grau-blau mit auffallend ähnlichen chemischen Eigenschaften wie Niob. Es wird hauptsächlich zur Herstellung von chirurgischen Implantaten verwendet, da es nicht toxisch ist. Es wird auch als Kondensator für die Elektronik verwendet und kann mit anderen Metallen legiert werden, um Festigkeit und Haltbarkeit zu erhöhen. Tantal wird zusammen mit seinen Legierungen und Verbindungen unter Vakuum zu Halbleitern, optischen Beschichtungen, magnetischen Speichermedien sowie verschleiß- und korrosionsbeständigen Beschichtungen verdampft.

Tantalum (Ta) Specifications

WerkstofftypTantal
SymbolTa
Atomares Gewicht180,94788
Ordnungszahl73
Farbe und AussehenGraublau, metallisch
Wärmeleitfähigkeit57 W/m.K
Schmelzpunkt (°C)3.017
Wärmeausdehnungskoeffizient6,3 x 10-6/K
Theoretische Dichte (g/cm³)16,6
Z-Verhältnis0,262
SputterGleichspannung
Max. Leistungsdichte*
(Watt/Quadratzoll)
100*
Art des BondingIndium, Elastomer
BemerkungenBildet gute Schichten.

* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.

* Suggested maximum power densities are based on using a sputter up orientation with optimal thermal transfer from target to the sputter cathode cooling well. Using other sputtering orientations or if there is a poor thermal interface between target to sputter cathode cooling well may require a reduction in suggested maximum power density and/or application of a thermal transfer paste. Please contact techinfo@lesker.com for specific power recommendations.


Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

SDS
Click here for the Tantalum SDS.
Produktdatenblatt
Klicken Sie hier für ein herunterladbares Datenblatt über die Tantal Ta Sputtertargets.
Kostenvoranschlag erhalten
Sie können die Größe oder den Werkstoff, die/den Sie brauchen, nicht finden? Bitte nutzen Sie unser Werkstoffangebotsformular, um eine Bestellung aufzugeben.
FAQ zu den Depositionsmaterialien
Click here for answers to some of the most common questions we are asked.
Kontakt
Kontakt
To contact someone directly, please click here, or call +1 412 387 9200 to get in contact with your dedicated sales team.
Process Equipment Expertise
Process Equipment Expertise

By staying on the leading edge of engineering and technology, we offer our customers the advantage of unparalleled knowledge and expertise in the manufacturing of TORUS® Magnetron Sputtering Cathodes and Thin Film Deposition Vacuum Systems.

Bestelltabelle

X CLOSE
Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Tantal TANTAL TARGET, Ta, 99,95 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTAXX351A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Tantal TANTAL TARGET, Ta, 99,95 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTAXX351A4 $217,00 Auf Lager
Tantal TANTAL TARGET, Ta, 99,95% REIN 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICK, +/- 0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTAXX352A2 $163,00 Auf Lager
Tantal TANTAL TARGET, Ta, 99,95 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTAXX352A4 $292,00 Contact KJLC for Availability
Tantal TANTAL TARGET, Ta, 99,95% REIN 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICK, +/- 0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTAXX353A2 $356,00 Auf Lager
Tantal TANTAL TARGET, Ta, 99,95 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTAXX353A4 $565,00 Auf Lager
Tantal TANTAL TARGET, Ta, 99,95 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTAXX354A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Tantal TANTAL TARGET, Ta, 99,95 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTAXX354A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Tantal TANTAL TARGET, Ta, 99,95 % REIN, 6,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/- 0,010" ALLE, NACH BESCHREIBUNG 6,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTAXX356A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Tantal TANTAL TARGET, Ta, 99,95 % REIN, 8,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, BEARBEITETE BESCHICHTUNGEN, +/- 0,010" ALLE 8,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTAXX358A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Tantal TANTAL TARGET, Ta, 99,95 % REIN, 8,00" DURCHMESSER X 0,25" DICKE, +/- 0,010" ALLE 8,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTAXX358A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
X CLOSE

 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.

Bestelltabelle für gebondete Baugruppen

X CLOSE
Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Tantal TANTAL TARGET, Ta, 99,95% REIN 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICK, +/- 0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR TORUS MAG KEEPER 2, PRO ZEICHNUNG 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Elastomer 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 2 1 EJUTAXX352TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Tantal TANTAL TARGET, Ta, 99,95% REIN 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICK, +/- 0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT SCHLÜSSEL, 6-32 SCHRAUBE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke US-Pistolen EJUTAXX353K4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Tantal TANTAL TARGET, Ta, 99,95% REIN 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICK, +/- 0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR 3" TORUS MAG KEEPER 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 3 1 EJUTAXX353TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Tantal TANTAL TARGET, Ta, 99,95% REIN 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICK, +/- 0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR 4" TORUS MAG KEEPER 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Elastomer 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 4 1 EJUTAXX354TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Tantal TANTAL TARGET, Ta, 99,95 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR 4" TORUS MAG KEEPER 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % Elastomer 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 4 1 Begrenzte Verfügbarkeit und besonders günstig. EJUTAXX354TK6 Auf Anfrage Auf Lager
X CLOSE

 Hinweise: 
1.
Gebundene Baugruppen zur Verwendung in TORUS Mag Keeper Pistolen erfordern Elastomer-Verbindungen.
Begrenzte Verfügbarkeit und besonders günstig.
Contact Us - Tantalum Ta Sputtering Targets
Powered by Translations.com GlobalLink OneLink SoftwarePowered By OneLink