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Tantalnitrid (TaN) Sputtertargets

Tantalum Nitride (TaN) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here.

Tantalum Nitride (TaN) Specifications

WerkstofftypTantalnitrid
SymbolTaN
Farbe und AussehenSchwarzer, kristalliner Festkörper
Schmelzpunkt (°C)3.360
Theoretische Dichte (g/cm³)16,3
Z-Verhältnis**1,00
SputterRF, RF-R
Max. Leistungsdichte*
(Watt/Quadratzoll)
20*
Art des BondingIndium, Elastomer
BemerkungenVerdampft Ta in 10-3 Torr N2.

* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.

* Suggested maximum power densities are based on using a sputter up orientation with optimal thermal transfer from target to the sputter cathode cooling well. Using other sputtering orientations or if there is a poor thermal interface between target to sputter cathode cooling well may require a reduction in suggested maximum power density and/or application of a thermal transfer paste. Please contact techinfo@lesker.com for specific power recommendations.

** Das Z-Verhältnis ist unbekannt. Daher empfehlen wir die Verwendung von 1,00 oder einen experimentell bestimmten Wert. Bitte klicken Sie hier, um Anweisungen zum Bestimmen dieses Werts zu erhalten.

Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Hinweise:
  • Für diese Materialien wird ein Bonding empfohlen. Viele Materialien haben Eigenschaften, die für Sputtern nicht geeignet sind, wie z. B. Sprödigkeit und geringe Wärmeleitfähigkeit. Um mehr Informationen zu erhalten, klicken Sie bitte hier.
  • Dieses Material kann spezielle Verfahren zum Hochfahren und Runterfahren erfordern. Dieser Vorgang kann bei anderen Materialien entfallen. Targets mit geringer Wärmeleitfähigkeit sind anfällig für Temperaturschocks. Bitte klicken Sie hier, für nähere Informationen zum Rampenverfahrenn für die Konditionierung keramischer Targets.

SDS
Click here for the Tantalum Nitride SDS.
Produktdatenblatt
Klicken Sie hier für ein herunterladbares Datenblatt über die Tantal Nitrit TaN Sputtertargets.
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Sie können die Größe oder den Werkstoff, die/den Sie brauchen, nicht finden? Bitte nutzen Sie unser Werkstoffangebotsformular, um eine Bestellung aufzugeben.
FAQ zu den Depositionsmaterialien
Click here for answers to some of the most common questions we are asked.
Kontakt
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Bestelltabelle

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Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Tantalnitrid TANTAL-NITRIT-TARGET, TaN, 99,5 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,5 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTANX251A2 Auf Anfrage Auf Lager
Tantalnitrid TANTAL-NITRIT-TARGET, TaN, 99,5 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,5 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTANX251A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Tantalnitrid TANTAL-NITRIT-TARGET, TaN, 99,5 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,5 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTANX252A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Tantalnitrid TANTAL-NITRIT-TARGET, TaN, 99,5 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,5 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTANX252A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Tantalnitrid TANTAL-NITRIT-TARGET, TaN, 99,5 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,5 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTANX253A2 Auf Anfrage Auf Lager
Tantalnitrid TANTAL-NITRIT-TARGET, TaN, 99,5 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,5 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTANX253A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Tantalnitrid TANTAL-NITRIT-TARGET, TaN, 99,5 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,5 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTANX254A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Tantalnitrid TANTAL-NITRIT-TARGET, TaN, 99,5 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,5 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTANX254A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.

Bestelltabelle für gebondete Baugruppen

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Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Tantalnitrid TANTAL-NITRIT-TARGET, TaN, 99,5 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,5 % Indium 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUTANX252A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Tantalnitrid TANTAL-NITRIT-TARGET, TaN, 99,5 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,5 % Indium 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUTANX253A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Tantalnitrid TANTAL-NITRIT-TARGET, TaN, 99,5 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,092" DICKE, +/-0,010" DM, +0/-0,010" DICK, FÜR TORUS 3 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,5 % Indium 3,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Standard TORUS 3 EJUTANX253T4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Tantalnitrid TANTAL-NITRIT-TARGET, TaN, 99,5 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR 3" TORUS MAG KEEPER 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,5 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 3 2 EJUTANX253TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Tantalnitrid TANTAL-NITRIT-TARGET, TaN, 99,5 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,5 % Elastomer 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUTANX254E4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Tantalnitrid TANTAL-NITRIT-TARGET, TaN, 99,5 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,5 % Indium 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUTANX254A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
2.
Gebundene Baugruppen zur Verwendung in TORUS Mag Keeper Pistolen erfordern Elastomer-Verbindungen.
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