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Terbium (Tb) Sputtertargets

Terbium (Tb) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here.

Terbium (Tb) Specifications

WerkstofftypTerbium
SymbolTb
Atomares Gewicht158,92535
Ordnungszahl65
Farbe und AussehenSilbrig weiß, metallisch
Wärmeleitfähigkeit11 W/m.K
Schmelzpunkt (°C)1.356
Wärmeausdehnungskoeffizient10,3 x 10-6/K
Theoretische Dichte (g/cm³)8,27
Z-Verhältnis0,66
SputterRF

Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Hinweise:
  • Bei diesem Material ist kein Bonding Service möglich.
  • Aufgrund der hohen Reaktivität dieser Materialien ist eine Einlagerung in Öl erforderlich, die das Risiko von Oxidation oder anderen Reaktionen verringert. Klicken Sie bitte hier, um den empfohlenen Reinigungsvorgang zu lesen.

SDS
Click here for the Terbium SDS.
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FAQ zu den Depositionsmaterialien
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Bestelltabelle

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Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
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Terbium TERBIUM TARGET, Tb, 99,9 % REIN TREM, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, IN MINERALÖL VERPACKT, KANN KEINE VERKLEBUNG ANBIETEN 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTBXX301A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Terbium Terbium-Zirkular-Sputtertarget (1,0") Durchmesser x 0,250" Dicke, 99,9 % rein) 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTBXX301A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Terbium TERBIUM TARGET, Tb, 99,9 % REIN TREM, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, IN MINERALÖL VERPACKT, KANN KEINE VERKLEBUNG ANBIETEN 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTBXX302A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Terbium TERBIUM TARGET, Tb, 99,9 % REIN TREM, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, IN MINERALÖL VERPACKT, KANN KEINE VERKLEBUNG ANBIETEN 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTBXX302A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Terbium TERBIUM TARGET, Tb, 99,9 % REIN TREM, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, IN MINERALÖL VERPACKT, KANN KEINE VERKLEBUNG ANBIETEN 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTBXX303A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Terbium Terbium-Zirkular-Sputtertarget (3,0") Durchmesser x 0,250" Dicke, 99,9 % rein) 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTBXX303A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Terbium TERBIUM TARGET, Tb, 99,9 % REIN TREM, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, IN MINERALÖL VERPACKT, KANN KEINE VERKLEBUNG ANBIETEN 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTBXX304A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Terbium Terbium-Zirkular-Sputtertarget (4,0") Durchmesser x 0,250" Dicke, 99,9 % rein) 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTBXX304A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.

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