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Titan (Ti) Sputtertargets

Titanium (Ti) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here.

Titanium (Ti) General Information

Titan ist ein gängiges Material, das in einer Vielzahl von Produkten wie Uhren, Bohrern, Laptops und Fahrrädern zu finden ist, um nur einige zu nennen. In reiner Form ist es glänzend und silbrig weiß. Es hat einen Schmelzpunkt von 1.660 °C, eine Dichte von 4,5 g/cc und einen Dampfdruck von 10-4 Torr bei 1.453 °C. Es ist ein robustes Material, das sich bei Wärmeeinwirkung leicht verarbeiten lässt. Seine Härte-Eigenschaften in Kombination mit der geringen Dichte und ausgezeichneter Korrosionsbeständigkeit machen es ideal für den Einstz in Schifffahrt, Flugzeugmotoren und Designerschmuck. Titan ist biokompatibel, so dass es in chirurgischen Instrumenten und Implantaten zu finden ist. Titan wird in der Regel im Vakuum für Verschleiß- und Dekorationszwecke, Halbleiter- und optische Beschichtungen verdampft.

Titanium (Ti) Specifications

WerkstofftypTitan
SymbolTi
Atomares Gewicht47,867
Ordnungszahl22
Farbe und AussehenSilbrig metallisch
Wärmeleitfähigkeit21,9 W/m.K
Schmelzpunkt (°C)1.660
Wärmeausdehnungskoeffizient8,6 x 10-6/K
Theoretische Dichte (g/cm³)4,5
Z-Verhältnis0,628
SputterGleichspannung
Max. Leistungsdichte*
(Watt/Quadratzoll)
50*
Art des BondingIndium, Elastomer
BemerkungenLegiert mit W/Ta/Mo; Ausgasen beim ersten Erhitzen.

* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.

* Suggested maximum power densities are based on using a sputter up orientation with optimal thermal transfer from target to the sputter cathode cooling well. Using other sputtering orientations or if there is a poor thermal interface between target to sputter cathode cooling well may require a reduction in suggested maximum power density and/or application of a thermal transfer paste. Please contact techinfo@lesker.com for specific power recommendations.


Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

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FAQ zu den Depositionsmaterialien
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Process Equipment Expertise
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Bestelltabelle

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Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Titan TITAN TARGET, Ti GRAD 2, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,2%-99,7% die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX271A2 $75,00 Auf Lager
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,97 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,97% die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX371A2 $95,00 Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,995 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125"DICKE, +/- 0,010" ALLE 1,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,995 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX451A2 $93,00 Auf Lager
Titan TITAN TARGET, Ti, GRAD 2, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/- 0,010" ALLE 1,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,2%-99,7% die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX271A4 $60,00 Auf Lager
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,97 % REIN, 1,00"DURCHMESSER X 0,250"DICKE, +/- 0,010" ALLE 1,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,97% die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX371A4 $104,00 Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,995 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/- 0,010" ALLE 1,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,995 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX451A4 $100,00 Auf Lager
Titan TITAN TARGET, Ti, GRAD 2, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/- 0,010" ALLE 2,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,2%-99,7% die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX272A2 $85,00 Auf Lager
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,97 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/- 0,010" ALLE 2,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,97% die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX372A2 $105,00 Auf Lager
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,995 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/- 0,010" ALLE 2,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,995 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX452A2 $113,00 Auf Lager
Titan TITAN TARGET, Ti, GRAD 2, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/- 0,010" ALLE 2,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,2%-99,7% die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX272A4 $90,00 Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,97 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0.250"DICKE, +/- 0,010" ALLE 2,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,97% die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX372A4 $133,00 Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,995 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,995 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX452A4 $133,00 Auf Lager
Titan TITAN TARGET, Ti, GRAD 2, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, D & T FÜR 2-56 BOHRUNG MIT HALTER UND SCHRAUBE, 0,133" TIEF 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,2%-99,7% US-Pistolen EJTTIXX272K4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,97 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, D & T FÜR 2-56 SCHRAUBE MIT HALTER, 0,133" TIEF 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,97% US-Pistolen EJTTIXX372K4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,995 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/- 0,010" ALLE, D&T FÜR 2-56 LOCH, 0,133" TIEF, MIT HALTER 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,995 % US-Pistolen EJTTIXX452K4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,995 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/- 0,010" ALLE, MIT SCHLÜSSEL, FÜR 2" TORUS MAG KEEPER 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,995 % TORUS Mag Keeper 2 2 EJTTIXX452TK4 Auf Anfrage Auf Lager
Titan TITAN TARGET, Ti, GRAD 2, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/- 0,010" ALLE 3,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,2%-99,7% die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX273A2 $89,00 Auf Lager
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,97 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,97% die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX373A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,995 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/- 0,010" ALLE 3,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,995 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX453A2 $159,00 Auf Lager
Titan TITAN TARGET, Ti, GRAD 2, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/- 0,010" ALLE 3,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,2%-99,7% die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX273A4 $95,00 Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,97 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,97% die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX373A4 $168,00 Auf Lager
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,995 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,995 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX453A4 $180,00 Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,995 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, W/ 6-32 ZENTRALES LOCH, 0,133" TIEF, MIT HALTER UND SCHRAUBE 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,995 % US-Pistolen EJTTIXX453K4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,995 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT SCHLÜSSEL, FÜR 3" TORUS MAG KEEPER 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,995 % TORUS Mag Keeper 3 2 EJTTIXX453TK4 Auf Anfrage Auf Lager
Titan TITAN TARGET, Ti, GRAD 2, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/- 0,010" ALLE 4,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,2%-99,7% die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX274A2 $131,00 Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,97 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/- 0,010" ALLE 4,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,97% die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX374A2 $158,00 Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,995 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,995 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX454A2 $274,00 Auf Lager
Titan TITAN TARGET, Ti, GRAD 2, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE,+/-0,010" ALLE 4,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,2%-99,7% die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX274A4 $220,00 Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,97 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/- 0,010" ALLE 4,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,97% die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX374A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,995 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,995 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX454A4 $291,00 Auf Lager
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,995 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT SCHLÜSSEL, FÜR 4" TORUS MAG KEEPER 4,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,995 % TORUS Mag Keeper 4 2 EJTTIXX454TK4 Auf Anfrage Auf Lager
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,97 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/- 0,010" ALLE, MIT SCHLÜSSEL, FÜR 4" TORUS MAG KEEPER 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,97% TORUS Mag Keeper 4 2 EJTTIXX374TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,99 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT SCHLÜSSEL, FÜR 4" TORUS MAG KEEPER 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,99 % TORUS Mag Keeper 4 2 EJTTIXX404TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,995 % REIN, 5,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 5,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,995 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX455A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,97 % REIN, 57 MM DIAMETER X 0,125" THICK, +/- 0.25 MM ALL 57 mm Dia. x 0,125" Dicke 99,97% EJTTIXXSPL76 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,99 % REIN, 57 MM DURCHMESSER X 0.1 MM DICKE, +/-0.25 MM DM, +/-0.02 MM DICKE 57 mm Dia. x 0,1 mm Thick 99,99 % KJL81050 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,995 % REIN, FOR KJL 108, 57 MM DIA X 0.2 MM THK, +/-0.25 MM DM, +/-0.025 MM DICKE 57 mm Dia. x 0,2 mm Thick 99,995 % KJL81024 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, 99,995 % REIN, 57 MM DURCHMESSER X 0.3 MM DICKE, +/- 0.25 MM DIA, +/-0.025 MM THICKNESS 57 mm Dia. x 0,3 mm Thick 99,995 % KJL81044 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,97 % REIN, 57 MM DURCHMESSER X 0.3 MM DICKE, +/- 0,25.25 MM ALL 57 mm Dia. x 0,3 mm Thick 99,97% KJL81072 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,995 % REIN, 57 MM DURCHMESSER X 0.5 MM DICKE, +/- 0,25.25 MM DIA, +/-0.05 MM THICK 57 mm Dia. x 0,5 mm Thick 99,995 % KJL81066 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,9 % PURE 57 MM DIAMETER X 2 MM THICK, +/-0.25 MM ALLE 57 mm Durchmesser x 2 mm Dicke 99,9 % KJL81021 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,97 % REIN, 57 MM DURCHMESSER X 3 MM DICKE, +/- 0,25.25 MM ALL 57 mm Durchmesser x 3 mm Dicke 99,97% EJTTIXXSPL21 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,995 % REIN, 6,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/- 0,010" ALLE 6,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,995 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX456A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, GRAD 2, 6,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/- 0,010" ALLE 6,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,2%-99,7% die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX276A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,97 % REIN, 6,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/- 0,010" ALLE, FLACH MIT IN 0,010“ 6,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,97% die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX376A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,995 % REIN, 6,00" DURCHMESSER X 0,25" DICKE, +/- 0,010" ALLE 6,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,995 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX456A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,995 % REIN, 8,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/- 0,010" ALLE 8,0" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,995 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX458A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, CP GRAD 2, 8,00" DURCHMESSER X 0,25" DICKE, +/- 0,010" ALLE 8,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,2%-99,7% die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX278A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,97 % REIN, 8,00" DIAMETER. X 0,25" THICK, +/- 0,010" ALLE 8,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,97% die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX378A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Titan TITAN TARGET, Ti, 99,995 % REIN, 8,00" DURCHMESSER X 0,25" DICKE, +/- 0,010" ALLE 8,0" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,995 % die meisten Standardkanonen 1 EJTTIXX458A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
2.
Gebundene Baugruppen zur Verwendung in TORUS Mag Keeper Pistolen erfordern Elastomer-Verbindungen.

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