Schließen

Bitte wählen Sie das von Ihnen gewünschte Land oder die Region aus,
um auf die entsprechende Website von Lesker weitergeleitet zu werden.

Representative Image

Vanadium (V) Sputtertargets

Vanadium (V) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here.

Vanadium (V) Specifications

WerkstofftypVanadium
SymbolV
Atomares Gewicht50,9415
Ordnungszahl23
Farbe und AussehenSilbergrau metallisch
Wärmeleitfähigkeit30,7 W/m.K
Schmelzpunkt (°C)1.890
Wärmeausdehnungskoeffizient8,4 x 10-6/K
Theoretische Dichte (g/cm³)6,11
Z-Verhältnis0,53
SputterGleichspannung
Max. Leistungsdichte*
(Watt/Quadratzoll)
50*
Art des BondingIndium, Elastomer
BemerkungenBenetzt Mo. Elektronenstrahlverdampfte Schichten bevorzugt.

* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.

* Suggested maximum power densities are based on using a sputter up orientation with optimal thermal transfer from target to the sputter cathode cooling well. Using other sputtering orientations or if there is a poor thermal interface between target to sputter cathode cooling well may require a reduction in suggested maximum power density and/or application of a thermal transfer paste. Please contact techinfo@lesker.com for specific power recommendations.


Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

SDS
Click here for the Vanadium SDS.
Kostenvoranschlag erhalten
Sie können die Größe oder den Werkstoff, die/den Sie brauchen, nicht finden? Bitte nutzen Sie unser Werkstoffangebotsformular, um eine Bestellung aufzugeben.
FAQ zu den Depositionsmaterialien
Click here for answers to some of the most common questions we are asked.
Kontakt
Kontakt
To contact someone directly, please click here, or call +1 412 387 9200 to get in contact with your dedicated sales team.
Process Equipment Expertise
Process Equipment Expertise

By staying on the leading edge of engineering and technology, we offer our customers the advantage of unparalleled knowledge and expertise in the manufacturing of TORUS® Magnetron Sputtering Cathodes and Thin Film Deposition Vacuum Systems.

Bestelltabelle

X CLOSE
Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Vanadium VANADIUM TARGET, V, 99,9 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTVXXX251A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Vanadium VANADIUM TARGET, V, 99,9 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTVXXX251A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Vanadium VANADIUM TARGET, V, 99,9 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTVXXX252A2 $210,00 Auf Lager
Vanadium VANADIUM TARGET, V, 99,9 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTVXXX252A4 $318,00 Contact KJLC for Availability
Vanadium VANADIUM TARGET, V, 99,5 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, D&T 2−56 CENTER HOLE, 0,133" TIEF, +/−0,010" ALL, MIT SCHLÜSSEL 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % US-Pistolen EJTVXXX252K4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Vanadium VANADIUM TARGET, V, 99,9 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT SCHLÜSSEL, FÜR 2" TORUS MAG KEEPER 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % TORUS Mag Keeper 2 2 EJTVXXX252TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Vanadium VANADIUM TARGET, V, 99,9 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTVXXX253A2 $317,00 Auf Lager
Vanadium VANADIUM TARGET, V, 99,9 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTVXXX253A4 $414,00 Contact KJLC for Availability
Vanadium VANADIUM TARGET, V, 99,9 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTVXXX254A2 $459,00 Contact KJLC for Availability
Vanadium VANADIUM TARGET, V, 99,9 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTVXXX254A4 $556,00 Contact KJLC for Availability
Vanadium VANADIUM TARGET, V, 99,9 % REIN, 8,00" DURCHMESSER X 0,25" DICKE, +/- 0,010" ALLE 8,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTVXXX258A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
X CLOSE

 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
2.
Gebundene Baugruppen zur Verwendung in TORUS Mag Keeper Pistolen erfordern Elastomer-Verbindungen.

Bestelltabelle für gebondete Baugruppen

X CLOSE
Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Vanadium VANADIUM TARGET, V, 99,5 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,5 % Indium 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUVXXX253A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability

 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
Contact Us - Vanadium V Sputtering Targets
Powered by Translations.com GlobalLink OneLink SoftwarePowered By OneLink