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Vanadiumoxid (V2O5) Sputtertargets

Vanadium Oxide (V2O5) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here.

Vanadium Oxide (V2O5) Specifications

WerkstofftypVanadium-(V)-oxid
SymbolV2O5
Farbe und AussehenOrange-gelb, kristalliner Feststoff
Schmelzpunkt (°C)690
Theoretische Dichte (g/cm³)3,36
Z-Verhältnis**1,00
SputterRF
Art des BondingElastomer

** Das Z-Verhältnis ist unbekannt. Daher empfehlen wir die Verwendung von 1,00 oder einen experimentell bestimmten Wert. Bitte klicken Sie hier, um Anweisungen zum Bestimmen dieses Werts zu erhalten.

Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Hinweise:
  • Für diese Materialien wird ein Bonding empfohlen. Viele Materialien haben Eigenschaften, die für Sputtern nicht geeignet sind, wie z. B. Sprödigkeit und geringe Wärmeleitfähigkeit. Um mehr Informationen zu erhalten, klicken Sie bitte hier.
  • Dieses Material kann spezielle Verfahren zum Hochfahren und Runterfahren erfordern. Dieser Vorgang kann bei anderen Materialien entfallen. Targets mit geringer Wärmeleitfähigkeit sind anfällig für Temperaturschocks. Bitte klicken Sie hier, für nähere Informationen zum Rampenverfahrenn für die Konditionierung keramischer Targets.

SDS
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FAQ zu den Depositionsmaterialien
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Bestelltabelle

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Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Vanadiumoxid VANADIUMOXID TRAGET, V2O5, 99,9 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, GEPRESST,+/-0,020"ALLE, KANN LEICHTE VERFÄRBUNGEN AUFWEISEN 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTVOXX301A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Vanadiumoxid VANADIUMOXID TRAGET, V2O5, 99,9 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, GEPRESST, +/-0,020" ALLE, KANN LEICHTE VERFÄRBUNGEN AUFWEISEN 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTVOXX301A4 Auf Anfrage Auf Lager
Vanadiumoxid VANADIUMOXID TRAGET, V2O5, 99,9 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, GEPRESST,+/-0,020" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTVOXX302A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Vanadiumoxid VANADIUMOXID TRAGET, V2O5, 99,9 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, GEPRESST, +/-0,020" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTVOXX302A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Vanadiumoxid VANADIUMOXID TRAGET, V2O5, 99,9 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, GEPRESST,+/-0,020" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTVOXX303A2 Auf Anfrage Auf Lager
Vanadiumoxid VANADIUMOXID TRAGET, V2O5, 99,9 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, GEPRESST, +/-0,020" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTVOXX303A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Vanadiumoxid VANADIUMOXID TRAGET, V2O5, 99,9 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, GEPRESST, +/-0,020" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTVOXX304A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Vanadiumoxid VANADIUMOXID TRAGET, V2O5, 99,9 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, GEPRESST, +/-0,020" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTVOXX304A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Vanadiumoxid VANADIUMOXID TRAGET, V2O5, 99,9 % REIN, 6,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, GEPRESST, +/-0,020" ALLE 6,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTVOXX306A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Vanadiumoxid VANADIUMOXID TRAGET, 99,9% 8,00" DURCHM. X 0,250" DICK, V2O5, GEPRESST, +/-0,020" ALLE 8,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTVOXX308A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.

Bestelltabelle für gebondete Baugruppen

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Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Vanadiumoxid VANADIUMOXID TRAGET, V2O5, 99,9 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % Elastomer 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUVOXX302A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Vanadiumoxid VANADIUMOXID TRAGET, V2O5, 99,9 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, GEPRESST,+/-0,020" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,092" DICKE, +/-0,010" DM, +0/-0,010" DICK, FÜR TORUS 2 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % Elastomer 2,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Standard TORUS 2 EJUVOXX302T4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Vanadiumoxid VANADIUMOXID TRAGET, V2O5, 99,9 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUVOXX303A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Vanadiumoxid VANADIUMOXID TRAGET, V2O5, 99,9 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, GEPRESST, +/-0,020" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,092" DICKE, +/-0,010" DM, +0/-0,010" DICK, FÜR TORUS 3 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,092" Dicke Standard TORUS 3 EJUVOXX303T4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Vanadiumoxid VANADIUMOXID TRAGET, V2O5, 99,9 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR 3" TORUS MAG KEEPER 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 3 2 EJUVOXX303TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Vanadiumoxid VANADIUMOXID TRAGET, V2O5, 99,9 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, GEPRESST, +/-0,020" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % Elastomer 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUVOXX304A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
2.
Gebundene Baugruppen zur Verwendung in TORUS Mag Keeper Pistolen erfordern Elastomer-Verbindungen.
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