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Wolfram (W) Sputtertargets

Tungsten (W) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here.

Tungsten (W) General Information

Wolfram ist eines der dichtesten Elemente der Welt. Es hat eine Dichte von 19,3 g/cm³, einen Schmelzpunkt von 3.410 °C und einen Dampfdruck von 10-4 Torr bei 2.757 °C. Es ist glänzend und grau-weiß. Es ist bekannt, dass es den höchsten Schmelzpunkt aller Metalle hat und seine charakteristische Härte kann es sehr schwierig machen, es in reiner Form zu bearbeiten und zu schmieden. Wolfram wird üblicherweise zur Herstellung von elektrischen Filamenten verwendet. Wolframkarbid findet man in Bohrern, Sägen und Schmuck. Wolfram wird unter Vakuum für die Herstellung von Halbleitern, Brennstoffzellen und Sensoren verdampft.

Tungsten (W) Specifications

WerkstofftypWolfram
SymbolW
Atomares Gewicht183,84
Ordnungszahl74
Farbe und AussehenGrauweiß, glänzend, metallic
Wärmeleitfähigkeit174 W/m.K
Schmelzpunkt (°C)3.410
Wärmeausdehnungskoeffizient4,5 x 10-6/K
Theoretische Dichte (g/cm³)19,25
Z-Verhältnis0,163
SputterGleichspannung
Max. Leistungsdichte*
(Watt/Quadratzoll)
100*
Art des BondingIndium, Elastomer
BemerkungenBildet flüchtige Oxide. Dünnfilme sind hart und haften gut.

* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.

* Suggested maximum power densities are based on using a sputter up orientation with optimal thermal transfer from target to the sputter cathode cooling well. Using other sputtering orientations or if there is a poor thermal interface between target to sputter cathode cooling well may require a reduction in suggested maximum power density and/or application of a thermal transfer paste. Please contact techinfo@lesker.com for specific power recommendations.


Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

SDS
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FAQ zu den Depositionsmaterialien
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Process Equipment Expertise
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By staying on the leading edge of engineering and technology, we offer our customers the advantage of unparalleled knowledge and expertise in the manufacturing of TORUS® Magnetron Sputtering Cathodes and Thin Film Deposition Vacuum Systems.

Bestelltabelle

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Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Wolfram WOLFRAM TARGET, W , 99,95 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTWXXX351A2 $84,00 Auf Lager
Wolfram WOLFRAM TARGET, W, 99,95 % REIN, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTWXXX351A4 $123,00 Contact KJLC for Availability
Wolfram WOLFRAM TARGET, W, 99,95 % REIN, 2,00"DURCHMESSER X 0,125"DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTWXXX352A2 $209,00 Auf Lager
Wolfram WOLFRAM TARGET, W, 99,95 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTWXXX352A4 $289,00 Auf Lager
Wolfram WOLFRAM TARGET, W, 99,95 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTWXXX353A2 $245,00 Auf Lager
Wolfram WOLFRAM TARGET, W, 99,95 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTWXXX353A4 $333,00 Auf Lager
Wolfram WOLFRAM TARGET, W, 99,95 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTWXXX354A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Wolfram WOLFRAM TARGET, W, 99,95 % REIN, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTWXXX354A4 $575,00 Auf Lager
Wolfram WOLFRAM TARGET, W, 99,95 % REIN, FOR KJL 108, 57 MM DIA X 0.2 MM THK, +/-0.25 MM DM, +0.125MM/-0 DICKE 57 mm Dia. x 0,2 mm Thick 99,95 % KJL81025 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Wolfram WOLFRAM TARGET, W, 99,95 % REIN, 6,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 6,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTWXXX356A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Wolfram WOLFRAM TARGET, W, 99,95 % REIN, 8,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 8,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTWXXX358A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Wolfram WOLFRAM TARGET, W, 99,95 % REIN, 8,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 8,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,95 % die meisten Standardkanonen 1 EJTWXXX358A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.

Bestelltabelle für gebondete Baugruppen

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Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Targetgröße Reinheit Art des Bonding Backing Plate Size Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Wolfram WOLFRAM TARGET, W, 99,95 % REIN, 2,00"DURCHMESSER X 0,125"DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Indium 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUWXXX352A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Wolfram WOLFRAM TARGET, W, 99,95 % REIN, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR TORUS MAG KEEPER 2, PRO ZEICHNUNG 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Elastomer 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 2 2 EJUWXXX352TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Wolfram WOLFRAM TARGET, W, 99,95 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, INDIUM GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Indium 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke die meisten Standardkanonen 1 EJUWXXX353A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Wolfram WOLFRAM TARGET, W, 99,95 % REIN, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, ELASTOMER GEBUNDEN AN KUPFERTRÄGERPLATTE, OFHC 101, Cu, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, MIT HALTER UND SCHRAUBE, FÜR 3" TORUS MAG KEEPER 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,95 % Elastomer 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke TORUS Mag Keeper 3 2 EJUWXXX353TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability

 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
2.
Gebundene Baugruppen zur Verwendung in TORUS Mag Keeper Pistolen erfordern Elastomer-Verbindungen.
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